一种适用于外加热激活的筒状吸气剂泵制造技术

一种适用于外加热激活的筒状吸气剂泵，包括外壳、法兰和吸气剂带；外壳是一端开口、另一端封闭的筒状，法兰连接在外壳的开口端；吸气剂带上覆有吸气剂粉末；外壳中设有芯柱，芯柱的壁是网状的；芯柱的轴线方向与外壳的轴线方向相同；芯柱与外壳内壁之间的空腔为吸气剂容纳腔体，在吸气剂容纳腔体与外壳内腔之间装有滤网；所述吸气剂带绕在芯柱外，相邻层的吸气剂带之间留有间隙。本技术方案的技术特点：整体吸气剂泵安装方便；适用于采用外置的加热装置加热方式，无高压高频，不干扰磁场，不存在漏电现象，无产生寄生电容的器件等。

【技术实现步骤摘要】

：本专利技术创造属于真空
，具体是一种适用于外加热激活的筒状吸气剂泵。
技术介绍
：现有技术中，对密闭空间进行抽真空处理是采用机械泵、分子泵、离子溅射泵、钛生化泵等来完成。经过实践验证，前述方式都是动态抽真空和维持真空，在对高真空度要求的产品(例如，大功率微波管、行波管、波导管、粒子加速器、中子发生器、核科学及应用，真空排气台、超高真空系统、惰性气体纯化、氢及氢同位素的储存及释放，真空反应炉等的真空系统中)中仅采用动态抽真空和维持真空是无法满足要求的，需要一种大抽速的吸气剂泵提高真空系统的极限真空并静态维持真空，并且，大抽速的吸气剂还适用于在短时间内抽除诸如高功率微波源、粒子加速器在工作一瞬间释放的大量气体，从而维持真空，保证电真空器件的使用寿命和可靠性。同时，吸气泵还要便于安装使用。
技术实现思路
本技术方案的目的是提供一种适用于外加热激活的筒状吸气剂泵，这种吸气剂泵拥有极大有效吸气表面积，保证了吸气剂泵的超大抽速，从而用来提高真空系统的极限真空并静态维持真空，同时，尽可能减少对真空环境的影响。本技术方案具体为：一种适用于外加热激活的圆筒状吸气剂泵，包括外壳、法兰和吸气剂带；外壳是一端开口、另一端封闭的筒状，法兰连接在外壳的开口端；吸气剂带上覆有吸气剂粉末；外壳中设有芯柱，芯柱的壁是网状的；芯柱的轴线方向与外壳的轴线方向相同；芯柱与外壳内壁之间的空腔为吸气剂容纳腔体，在吸气剂容纳腔体与外壳内腔之间装有滤网；所述吸气剂带绕在芯柱外，相邻层的吸气剂带之间留有间隙。所述外壳外套有加热装置。所述吸气剂容纳腔体分为多层，吸气剂容纳腔体的各个层沿芯柱的轴线方向依次排列，吸气剂容纳腔体的各个层之间由滤网隔开；吸气剂容纳腔体的各个层单独绕有吸气剂带；吸气剂带的宽度与吸气剂容纳腔体的各个层的高度对应。还包括隔离骨架；隔离骨架包括多个隔块，相邻隔块之间由连接带连接，构成链状；隔离骨架的宽度和长度与吸气剂带的宽度和长度分别对应；在吸气剂带绕在芯柱外的状态下，隔离骨架的隔块在相邻层的吸气剂带之间，构成间隙。所述滤网是不锈钢烧结网，它的过滤精度为5μm。所述芯柱的网状的壁是不锈钢烧结网，它的过滤精度为5μm。所述外壳是不锈钢材质；所述法兰是CF刀口法兰。所述外壳是圆筒形状；外壳的内腔是圆柱形状；芯柱是圆柱形状；芯柱的轴线与外壳的内腔的轴线重合。本技术方案的技术特点：1、整体吸气剂泵安装方便，接口可以为标准的CF刀口法兰，只需要在真空腔体上开有对应的法兰口，就可以将吸气剂泵安装上去，同时可以采用紫铜密封安装法兰。2、采用外置的加热装置(例如加热套)加热方式，无高压高频，不干扰磁场，不存在漏电现象，无产生寄生电容的器件。3、可以适用于低温激活，室温条件下工作。4、采用骨架夹层让吸气剂带之间具备最大化的抽气间隙，还采用了烧结网作为上下吸气带之间测过度层，最大化了吸气剂带的外露面积，提高吸气剂泵的抽速。5、对所有的活性气体都有很高的泵抽速，在高真空和超高真空压力区能保持恒定的泵吸速度。6、工作中，不产生油及其他有害真空腔体的杂质静态保持真空，不产生振动。附图说明图1是本吸气剂泵的结构原理示意图；图2是隔离骨架的示意图(俯视视角)；图3是吸气剂带绕在芯柱外的状态下，隔离骨架与吸气剂带之间的位置结构示意图(侧面视角)；图中：外壳1、法兰2、吸气剂带3、芯柱4、滤网5、隔离骨架6、隔块7、连接带8。具体实施方式下面结合附图与具体实施方式对本技术方案进一步说明：如图1～3，一种适用于外加热激活的筒状吸气剂泵，包括外壳、法兰和吸气剂带；外壳是一端开口、另一端封闭的筒状，法兰连接在外壳的开口端；吸气剂带上覆有吸气剂粉末；外壳中设有芯柱，芯柱的壁是网状的；芯柱的轴线方向与外壳的轴线方向相同；芯柱与外壳内壁之间的空腔为吸气剂容纳腔体，在吸气剂容纳腔体与外壳内腔之间装有滤网；所述吸气剂带绕在芯柱外，相邻层的吸气剂带之间留有间隙。所述外壳外套有加热装置。所述吸气剂容纳腔体分为多层，吸气剂容纳腔体的各个层沿芯柱的轴线方向依次排列，吸气剂容纳腔体的各个层之间由滤网隔开；吸气剂容纳腔体的各个层单独绕有吸气剂带；吸气剂带的宽度与吸气剂容纳腔体的各个层的高度对应。还包括隔离骨架；隔离骨架包括多个隔块，相邻隔块之间由连接带连接，构成链状；隔离骨架的宽度和长度与吸气剂带的宽度和长度分别对应；在吸气剂带绕在芯柱外的状态下，隔离骨架的隔块在相邻层的吸气剂带之间，构成间隙。所述滤网是不锈钢烧结网，它的过滤精度为5μm。所述芯柱的网状的壁是不锈钢烧结网，它的过滤精度为5μm。所述外壳是不锈钢材质；所述法兰是CF刀口法兰。所述外壳是圆筒形状；外壳的内腔是圆柱形状；芯柱是圆柱形状；芯柱的轴线与外壳的内腔的轴线重合。本实施例中，吸气剂泵组成：1、标准的CF刀口法兰，材质选用不锈钢材料、可伐合金材料等。2、不锈钢外壳，不锈钢外壳与法兰密封焊接，材质为不锈钢材料、可伐合金等材料。3、不锈钢烧结网，主要起到叠加分层，充分增加吸气剂带上下层的吸气表面积，还具备过滤、导热作用。烧结网是由具备不同工功能的不锈钢网叠加烧结而成，本例采用五层结构分为：保护层、过滤层、分离层、支撑层和保护层，过滤精度为5μm，着孔烧结网具备均匀稳定得过滤精度，较高的强度与刚度，孔道光滑，不易堵塞微小颗粒，具备超强的透气性，材料选用不锈钢304牌号、不锈钢321牌号、不锈钢316L牌号。4、过滤芯柱，烧结网是由具备不同功能的不锈钢网叠加烧结而成，本例采用五层结构分为：保护层、过滤层、分离层、支撑层和保护层，过滤精度为5μm，着孔烧结网具备均匀稳定得过滤精度，较高的强度与刚度，孔道光滑，不易堵塞微小颗粒，具备超强的透气性，材料选用不锈钢304牌号、不锈钢321牌号、不锈钢316L牌号。5、吸气剂带，吸气剂带是将粉碎球磨后的吸气剂粉末通过一定压力压制在铁镍基带(或者铜基带)上，基带选用0.05-0.2mm的厚度，基带上压制单面或双面的吸气剂粉末，吸气剂粉末尺寸约100-500μm之间，因受限于紫铜密封圈的耐受温度，所以一般采用激活温度500°以下的吸气材料，吸气剂选用的材料一般有：锆钒铁三元合金吸气材料，锆钴稀土合金吸气材料、锆镍合金吸气材料、锆铁合金吸气材料、锆铁锰合金吸气材料等。本技术方案所采用的吸气剂带为吸气剂带和与吸气剂带同样宽度的H型骨架卷层吸气剂带圆盘，用H型骨架作为吸气剂带卷叠的夹层让吸气剂带的有效吸气剂部分完全外露，能够让吸气剂带不会因为直接卷叠而降低外露面积，从而降低抽速，圆盘中间有圆孔方便安装在过滤芯柱周边。6、H型骨架，H型骨架采用铁带、铁镍带、不锈钢带、铜带、镍、钛、钼带、可伐合金带等金属或金属合金材质，带宽要求与吸气剂带宽度相同，厚度采用0.05mm-0.2mm，通过冲压方式冲压成H型骨架，骨架主要作用是增大吸气剂带之间的间隙，从而增加有效的外露面积，增大抽速。使用时候：采用CF100刀口法兰，泵尺寸为直径152mm，高度150mm的吸气剂泵，可以放置宽度12mm的双面锆钒铁带卷叠成的盘10层，吸气剂的总有效吸气表面积可达18m2，抽速可达9000L/s。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种适用于外加热激活的筒状吸气剂泵，其特征是包括外壳、法兰和吸气剂带；外壳是一端开口、另一端封闭的筒状，法兰连接在外壳的开口端；吸气剂带上覆有吸气剂粉末；外壳中设有芯柱，芯柱的壁是网状的；芯柱的轴线方向与外壳的轴线方向相同；芯柱与外壳内壁之间的空腔为吸气剂容纳腔体，在吸气剂容纳腔体与外壳内腔之间装有滤网；所述吸气剂带绕在芯柱外，相邻层的吸气剂带之间留有间隙。

【技术特征摘要】
1.一种适用于外加热激活的筒状吸气剂泵，其特征是包括外壳、法兰和吸气剂带；外壳是一端开口、另一端封闭的筒状，法兰连接在外壳的开口端；吸气剂带上覆有吸气剂粉末；外壳中设有芯柱，芯柱的壁是网状的；芯柱的轴线方向与外壳的轴线方向相同；芯柱与外壳内壁之间的空腔为吸气剂容纳腔体，在吸气剂容纳腔体与外壳内腔之间装有滤网；所述吸气剂带绕在芯柱外，相邻层的吸气剂带之间留有间隙。2.根据权利要求1所述的吸气剂泵，其特征是所述外壳外套有加热装置。3.根据权利要求1所述的吸气剂泵，其特征是所述吸气剂容纳腔体分为多层，吸气剂容纳腔体的各个层沿芯柱的轴线方向依次排列，吸气剂容纳腔体的各个层之间由滤网隔开；吸气剂容纳腔体的各个层单独绕有吸气剂带；吸气剂带的宽度与吸气剂容纳腔体的各个层...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴文一，陈军，石晓沛，
申请(专利权)人：南京益东惠电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32