一种采用动态定压法测量非蒸散型吸气剂吸气性能的检测台制造技术

一种采用动态定压法测量非蒸散型吸气剂吸气性能的检测台，结构为：复合分子泵的出气端通过连接机械泵的进气端；进气装置的气体质量流量计的进气端连接储气罐；气体质量流量计的出气端连接超高真空微调阀的一端，超高真空微调阀的另一端即为进气装置的出气端；进气装置的出气端与复合分子泵的进气端连接，进气装置的出气端上还连接有超高真空放气阀；储气罐还连接气瓶；样品室设有吸气剂激活装置；样品室连接流导阀的一端；流导阀的另一端连接超高真空截止阀的一端；样品室另一端还连接有第一真空计；超高真空截止阀的两端都连接有真空计；超高真空截止阀的另一端分别连接进气装置的出气端和抽气装置的进气端；超高真空系统管路和样品室放置装置在平台上。

A detection device with dynamic constant performance evaporable getter method for measuring non inspiratory pressure

A test bench, using dynamic properties evaporable getter inspiratory pressure measurement non structure: the composite molecular pump outlet through the air inlet end is connected with the pump inlet gas mass flowmeter; air intake device is connected with the gas tank; one end of the air outlet end connected to the ultra high vacuum fine-tuning valve gas mass flowmeter, the other one end of the ultra high vacuum valve trim is the outlet air intake device; air outlet end of the air inlet device and the composite molecular pump is connected with the outlet end of the air inlet device is connected with the ultra high vacuum valve; the gas tank is connected with the cylinder; sample chamber is provided with a getter activation device; one end of the sample chamber is connected with flow guide valve the end; the other end is connected with the ultra high vacuum valve flow guide valve; the other end of the sample room is connected with the first vacuum gauge; both ends of the ultra high vacuum valve is connected with vacuum gauge The other end of the ultra high vacuum stop valve is respectively connected with the air outlet end of the air inlet device and the air inlet end of the air suction device.

【技术实现步骤摘要】

本技术方案属于真空器件测试
，具体是一种采用动态定压法测量非蒸散型吸气剂吸气性能的检测台。
技术介绍
现有技术中对吸气剂的吸气性能进行检测。常用的检测装置多数是实验室等临时搭建起来的，仅针对个别样品在实验室环境中进行检测，这些装置对具有微量吸气能力的薄膜吸气剂很难做到精确测量，并且这些检测装置的测试管路都是玻璃封接，需要专业的人才能更换样品。在工厂化生产吸气剂时，要定期对吸气剂产品进行抽检。传统的检查方式就不能满足生产要求了，需要一种集成度高、自动化程度高、实用、测量范围广、便利的检测装置来对工厂化生产的吸气剂产品进行配合检测。
技术实现思路
本技术方案提供一种采用动态定压法测量非蒸散型吸气剂吸气性能的检测台，本检测台通过计算机自动控制微调进气，自动记录处理测量数据，适用于吸气剂工厂化生产。一种采用动态定压法测量非蒸散型吸气剂吸气性能的检测台，其特征是包括平台、抽气装置、进气装置、超高真空系统管路和样品室放置装置；所述抽气装置包括(直连式旋片)机械泵和复合分子泵；复合分子泵的进气端即为抽气装置的进气端；复合分子泵的出气端通过前级阀连接机械泵的进气端；复合分子泵与前级阀之间连接有电阻规；所述进气装置(用于向样品室通入测试气体)包括储气罐和气体质量流量计；气体质量流量计的进气端通过进气阀连接储气罐；气体质量流量计的出气端连接超高真空微调阀的一端，超高真空微调阀的另一端即为进气装置的出气端；进气装置的出气端与复合分子泵的上口进气端相通，进气装置的出气端管路上还连接有超高真空放气阀；储气罐还通过解压阀连接气瓶；所述的超高真空系统管路包括超高真空截止阀；所述样品室放置装置(用来放置非蒸散型吸气剂试样的装置)包括样品室，样品室设有吸气剂激活装置；所述样品室通过气管连接流导阀的一端；流导阀的另一端通过气管连接超高真空截止阀的一端；样品室另一端还连接有第一真空计；超高真空截止阀的两端都连接有真空计，一个真空计是流导阀与超高真空截止阀之间的第二真空计，另一个是第三真空计；超高真空截止阀的另一端通过三通装置分别连接进气装置的出气端和抽气装置的进气端；所述超高真空系统管路和样品室放置装置在平台上；超高真空系统管路和样品室放置装置外设有烘箱；抽气装置的出口至超高真空截止阀之间的部分、以及进气装置外设有加热套；所述气管为真空气体管路。所述样品室包括玻璃材质的壳体；所述吸气剂激活装置是加热装置；所述加热装置是套在壳体外面的高频感应加热装置；或者，是壳体外置的的红外加热装置或激光加热装置；或者，是壳体内的电加热装置。进一步：所述样品室包括可拆卸连接的上下两部分；样品室上部分的结构为：包括电极芯柱、第一法兰和真空管道；所述第一法兰为电极法兰，在电极法兰上开有孔，孔的数量与电极芯柱的数量相同；电极芯柱焊接在可伐陶瓷芯柱内；陶瓷芯柱焊接在电极法兰上的孔内；电极法兰连接在真空管道上的第二法兰上；真空管道外接抽真空系统；样品室下部分的结构为：包括第四法兰、可伐环和石英玻璃材质的壳体，壳体的一端开口，另一端封闭；壳体的开口端与可伐环焊接；可伐环焊接在第四法兰上；第四法兰连接在真空管道上的第三法兰上；所述第二法兰的轴线和第三法兰的轴线所成角度为钝角或180度角，或者两轴线平行；所述电极芯柱伸入到下样品室内，且电极芯柱的末端在壳体内；电极芯柱的末端连接有热偶丝的正负极；电极芯柱的首端设有用于连接温控器及电源端子的连接结构；热偶丝的正负极构成吸气剂激活的测温装置。进一步：是样品室中，壳体的封闭端是弧顶结构；可伐环的材质是牌号为4J29的可伐材质；所述第一法兰与第二法兰之间、第三法兰与第四法兰之间都是通过螺栓连接固定，并且由紫铜密封圈密封；所述电极芯柱是钼杆；钼杆的数量为两根；钼杆的首端设有用于连接温控器及电源端子的外螺纹；钼杆的末端下方分别点焊接有热偶丝的正负极；热偶丝的正负极分别为：一根为镍铬丝、一根为镍硅丝；或者为：一根为镍铬丝、一根为镍铝丝；或者，钼杆的数量为四根；四根钼杆的首端设有用于连接温控器及电源端子的外螺纹；其中两根钼杆的末端下方分别点焊接有热偶丝的正负极；热偶丝的正负极分别为：一根为镍铬丝、一根为镍硅丝；或者为：一根为镍铬丝、一根为镍铝丝；另外两根钼杆的末端设有连接热子型(自发热型)吸气剂的激活电极。进一步：所述烘箱为可升降式；烘箱的底面设有开口的；所述平台的超高真空系统管路和样品室放置装置所在位置的外侧设有与烘箱的开口对应的密封结构，烘箱降到平台上的状态下，烘箱的开口与平台密闭连接；所述烘箱整体采用304或316L不锈钢外壁，烘箱内包裹保温材料，烘箱内侧放置电加热器，烘箱内壁的电加热器距离超高真空系统管路和样品室放置装置距离大于20mm，烘箱的烘烤温度最高可达500℃。进一步：所述第一、二和三真空计都是B-A型超高真空电离计。进一步：所述样品抽气装置、进气装置、超高真空系统管路和样品室放置装置之间连接用的气管是金属管路，金属管路之间均采用标准的CF刀口法兰连接，并采用紫铜密封圈密封；所述的超高真空截止阀、流导阀、超高真空微调阀、超高真空放气阀都是全金属材质的手动控制阀。进一步：所述的流导阀为带有可更换毛细管流导装置的超高真空截止阀；(更换不同流导值的毛细管流导装置。流导阀在关闭状态下，测试气体即通过带有“已知流导值”的毛细管流导装置进入样品室)。进一步：所述的气瓶内部贮存有一定压力状态下的测试气体(如氢气、一氧化碳、氮气、二氧化碳、氧气等测试气体)。进一步：还包括上位工控机；所述的测温装置是电子温度传感器，它的数据输出端连接工控机的数据输入端；所述的第一、二和三真空计是电子式真空计，它们的数据输出端连接工控机的数据输入端；所述的电阻规是电子式电阻规真空计，电阻规真空计的数据输出端连接工控机的数据输入端；所述的气体质量流量计是电子式气体质量流量计，它的数据输出端连接工控机的数据输入端；所述的前级阀是电磁气动阀，它们的控制信号输入端都连接工控机的控制信号输出端；所述的吸气剂激活装置、复合分子泵的控制器的信号都连接工控机的控制信号输出端；所述的烘箱和加热套的温控器控制信号输入端都连接工控机的控制信号输出端；所述的机械泵的开关输入信号连接工控机的信号输出端；所述的烘箱升降机构的开关输入信号都连接工控机的信号输出端。本测试台技术特点包括：1、本测试台适用于采用动态定压法(国标)测量非蒸散型吸气剂吸气性能(吸气速率、吸气量和吸气特性曲线)。2、本测试台测试范围广，通过对毛细管流导装置的大小更换，可以测量不同装载量范围内非蒸散型吸气剂的吸气速率、既可以对具有微量吸气能力的薄膜吸气剂进行吸气性能测试，也可以对热子型吸气剂进行测试、还可以对大表面积、大体积、大抽速的非蒸散型吸气剂进行测试。3、本测试台采用全金属紫铜密封的真空系统，整体系统采用不锈钢304或316L材料，管道内径均为35mm，接口均为CF35真空刀口法兰，连接时用紫铜密封垫圈，整体系统漏率小于1×10-7pa.L/s，极限真空优于5×10-7pa(烘烤后)。4、本测试台可通过高频震荡对样品进行加热、红外装置或激光装置加热、也可以通过电极通电给热子型吸气剂通电激活加热。5、通过计算机自动控制气体质量流量计微调向真空系统通入测试气体，测试精度高，去除了人为调节气体对通本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种采用动态定压法测量非蒸散型吸气剂吸气性能的检测台，其特征是包括平台、抽气装置、进气装置、超高真空系统管路和样品室放置装置；所述抽气装置包括机械泵和复合分子泵；复合分子泵的进气端即为抽气装置的进气端；复合分子泵的出气端通过前级阀连接机械泵的进气端；复合分子泵与前级阀之间连接有电阻规；所述进气装置包括储气罐和气体质量流量计；气体质量流量计的进气端通过进气阀连接储气罐；气体质量流量计的出气端连接超高真空微调阀的一端，超高真空微调阀的另一端即为进气装置的出气端；进气装置的出气端与复合分子泵的进气端连接，进气装置的出气端管路上还连接有超高真空放气阀；储气罐还通过解压阀连接气瓶；所述的超高真空系统管路包括超高真空截止阀；所述样品室放置装置包括样品室，样品室设有吸气剂激活装置；所述样品室通过气管连接流导阀的一端；流导阀的另一端通过气管连接超高真空截止阀的一端；样品室另一端还连接有第一真空计；超高真空截止阀的两端都连接有真空计，一个真空计是流导阀与超高真空截止阀之间的第二真空计，另一个是第三真空计；超高真空截止阀的另一端通过三通装置分别连接进气装置的出气端和抽气装置的进气端；所述超高真空系统管路和样品室放置装置在平台上；超高真空系统管路和样品室放置装置外设有烘箱；抽气装置的出口至超高真空截止阀之间的部分、以及进气装置外设有加热套；所述气管为真空气体管路。...

【技术特征摘要】
1.一种采用动态定压法测量非蒸散型吸气剂吸气性能的检测台，其特征是包括平台、抽气装置、进气装置、超高真空系统管路和样品室放置装置；所述抽气装置包括机械泵和复合分子泵；复合分子泵的进气端即为抽气装置的进气端；复合分子泵的出气端通过前级阀连接机械泵的进气端；复合分子泵与前级阀之间连接有电阻规；所述进气装置包括储气罐和气体质量流量计；气体质量流量计的进气端通过进气阀连接储气罐；气体质量流量计的出气端连接超高真空微调阀的一端，超高真空微调阀的另一端即为进气装置的出气端；进气装置的出气端与复合分子泵的进气端连接，进气装置的出气端管路上还连接有超高真空放气阀；储气罐还通过解压阀连接气瓶；所述的超高真空系统管路包括超高真空截止阀；所述样品室放置装置包括样品室，样品室设有吸气剂激活装置；所述样品室通过气管连接流导阀的一端；流导阀的另一端通过气管连接超高真空截止阀的一端；样品室另一端还连接有第一真空计；超高真空截止阀的两端都连接有真空计，一个真空计是流导阀与超高真空截止阀之间的第二真空计，另一个是第三真空计；超高真空截止阀的另一端通过三通装置分别连接进气装置的出气端和抽气装置的进气端；所述超高真空系统管路和样品室放置装置在平台上；超高真空系统管路和样品室放置装置外设有烘箱；抽气装置的出口至超高真空截止阀之间的部分、以及进气装置外设有加热套；所述气管为真空气体管路。2.根据权利要求1所述的检测台，其特征是所述样品室包括玻璃材质的壳体；所述吸气剂激活装置是加热装置；所述加热装置是套在壳体外面的高频感应加热装置；或者，是壳体外置的红外加热装置或激光加热装置；或者，是壳体内的电加热装置。3.根据权利要求1所述的检测台，其特征是所述样品室包括可拆卸连接的上下两部分；样品室上部分的结构为：包括电极芯柱、第一法兰和真空管道；所述第一法兰为电极法兰，在电极法兰上开有孔，孔的数量与电极芯柱的数量相同；电极芯柱焊接在可伐陶瓷芯柱内；陶瓷芯柱焊接在电极法兰上的孔内；电极法兰连接在真空管道上的第二法兰上；真空管道外接抽真空系统；样品室下部分的结构为：包括第四法兰、可伐环和石英玻璃材质的壳体，壳体的一端开口，另一端封闭；壳体的开口端与可伐环焊接；可伐环焊接在第四法兰上；第四法兰连接在真空管道上的第三法兰上；所述第二法兰的轴线和第三法兰的轴线所成角度为钝角或180度角，或者两轴线平行；所述电极芯柱伸入到下样品室内，且电极芯柱的末端在壳体内；电极芯柱的末端连接有热偶丝的正负极；电极芯柱的首端设有用于连接温控器及电源端子的连接结构；热偶丝的正负极构成吸气剂激活的测...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴文一，陈军，石晓沛，
申请(专利权)人：南京益东惠电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32