一种超高灵敏度检漏设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种超高灵敏度检漏设备，包括检漏室，分子泵，前级泵，四极质谱仪和吸气剂泵。吸气剂泵能够将残留在检漏室内部无法被分子泵抽出的氢气分子进一步向外抽出，且将检漏室内部的氦气留存于检漏室内部，从而使检漏室的容纳空间达到极为纯净的真空状态，使四极质谱仪可以不受干扰的检测从工件泄漏出的所有氦气，提高了检漏灵敏度；另外，本实用新型专利技术的吸气剂泵还可以维持检漏室的超高真空度，使四极质谱仪能够在超高真空的环境下对工件进行检漏，进一步提高了检漏灵敏度。经测试，本实用新型专利技术的超高灵敏度检漏设备最小可检漏率可达1×10-13pa·m3/S，完全能够满足诸如红外器件中杜瓦瓶、陀螺仪等检漏需要。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种超高灵敏度检漏设备，属于检漏设备

技术介绍
红外探测器组件、陀螺仪等的漏率大小是其精度和寿命的关键因素之一。为使工厂生产的工件漏率能够达到相应指标，对生产完成的工件进行漏率检测成为必不可少的工-H-O现有技术中往往采用检漏仪对工件的漏率进行检测，但是检漏仪的最小可检漏率较高，无法满足检漏要求，为此，本领域技术人员开始使用四极质谱仪作为新的检漏工具。例如，中国专利文献CN201368789Y公开了一种检漏装置，包括检漏室，通过第一金属阀与检漏室连通的机械真空栗，通过第二金属阀与检漏室连通的真空分子栗和前级机械真空栗，以及通过第三金属阀与检漏室连通的四极质谱仪。上述专利文献中采用了四极质谱仪作为检漏工具，采用累积检测方式，降低了设备的最小可检漏率，使最小可检漏率达到了1X10 11Pa.m3/S，但是红外器件中如杜瓦瓶、陀螺仪等的最大允许漏率为5X10 13pa.m3/S，显然上述专利文献中公开的检漏装置无法满足诸如杜瓦瓶、陀螺仪等的检漏要求。为了获得更小的最小可检漏率，本领域的技术人员对检漏装置的设计方案进行了各种各样的探索，但却一直没有获得更好的成果。因此，本专利技术的目的在于对现有技术中使用四极质谱仪作为检漏仪器的检漏设备做进一步的改进，降低最小可检漏率，进而满足诸如杜瓦瓶、陀螺仪等工件的检漏需要。
技术实现思路
因此，本技术要解决的技术问题在于克服现有技术中检漏设备的最小可检漏率为1X10 npa*m3/S，无法满足诸如红外器件中杜瓦瓶、陀螺仪等检漏需要的技术缺陷，从而提供一种最小可检漏率能够达到1X10 13pa.m3/S的超尚灵敏度检漏设备。为此，本技术提供一种超高灵敏度检漏设备，包括检漏室，具有容纳空间，用于容置待检工件；分子栗，与所述检漏室连通，用于对所述检漏室进行抽真空，在所述分子栗与所述检漏室连通的管路上设有第一阀门；前级栗，通过所述分子栗与所述检漏室连通，用于在所述分子栗对所述检漏室抽真空之前，先对所述检漏室进行预抽；四极质谱仪，与所述检漏室连通，用于检测所述待检工件的漏率，在所述四极质谱仪与所述检漏室的连通管路上设有第二阀门；还包括与所述检漏室连通的吸气剂栗，所述吸气剂栗适于将残留在所述检漏室内的氢气分子向外抽出，且将所述检漏室内部的氦气留存于所述检漏室内，在所述吸气剂栗与所述检漏室的连通管路上设有第三阀门。所述管路，以及设置在所述管路上的阀门均为全金属结构。所述管路为进行内外抛光处理、真空清洗烘干和真空热处理后的管路。所述检漏室上还设有用于对所述检漏室的真空度进行测量的真空规。所述前级栗为干栗，所述分子栗为无油分子栗。还包括与检漏室连通的标准漏孔。还包括与所述检漏室连通的进气口，以及设置在所述进气口前方的过滤器。所述检漏室安装于机柜上，其包括检漏室本体以及密封连接于所述检漏室本体上的上盖，所述上盖通过滑轮提升机构实现所述检漏室的密封与打开。所述滑轮提升机构包括，固定于所述机柜上的固定柱，所述固定柱顶部设有定滑轮；可上下移动地套设在所述固定柱上的套筒，所述套筒与所述上盖固定连接；设置于机柜内部的配重块，以及设置于所述定滑轮上的吊绳，所述吊绳一端与所述上盖或所述套筒或固定连接所述上盖和所述套筒的连接结构固定连接，另一端与所述配重块连接。还包括设在所述机柜内部、且具有上开口的限位筒，所述限位筒用于容纳所述配重块，防止所述配重块大幅度摆动。本技术的一种超尚灵敏度检漏设备具有以下优点:1.本技术的超高灵敏度检漏设备，是在现有检漏设备的基础上做的进一步的改进，创造性的采用吸气剂栗与检漏室连通，在启用分子栗将检漏室抽至高真空后，再启动吸气剂栗将残留在检漏室内部无法被分子栗抽出的氢气分子进一步向外抽出，且将检漏室内部的氦气留存于检漏室内部，从而使检漏室的容纳空间达到极为纯净的真空状态，使四极质谱仪可以不受干扰的检测从工件泄漏出的所有氦气，从而提高了检漏灵敏度；另外，检漏室以及与其相连的管路在处于高真空状态时，存在通过管路管壁及检漏室各个侧壁向容纳空间放气的现象，本技术的吸气剂栗还可以将从其向外抽出，维持检漏室的超高真空度，使四极质谱仪能够在超高真空的环境下对工件进行检漏，从而进一步提高了检漏灵敏度。经测试，本技术的超尚灵敏度检漏设备最小可检漏率可达1X10 13pa.m3/S，完全能够满足诸如红外器件中杜瓦瓶、陀螺仪等检漏需要。2.本技术的超高灵敏度检漏设备，管路以及设置在管路上的阀门均为全金属结构，大大减少了检漏设备的自身放气率，降低了系统本底值，从而使四极质谱仪能够检测到更低的最小可检漏率。进一步的，本技术的管路为进行内外抛光、真空清洗烘干和真空热处理后的管路，能够进一步降低管路的放气率，降低设备本底值。3.本技术的超高灵敏度检漏设备，采用干栗作为前级栗，选用无油分子栗作为分子栗，避免油污造成的系统高本底，进一步降低了设备本底值，提高检漏灵敏度。4.本技术的超高灵敏度检漏设备，还包括与检漏室连通的进气口，以及设置在进气口前方的过滤器，在检漏完毕后，打开进气口，外界气体进入检漏室，使检漏室内部的气压逐渐升至与外界大气压相同，从而方便打开检漏室将工件取出。在进气口的前方设置过滤器，可避免杂质进入检漏室对检漏室造成污染，导致本底值上升。5.本技术的超高灵敏度检漏设备，检漏室的上盖通过滑轮提升机构实现所述检漏室的密封与打开；在需要打开上盖时，只需向上稍微抬升上盖，上盖就会在配重块的拉力下迅速上升，从而方便打开上盖，在需要盖合上盖时，只需向下稍微按压上盖，上盖在其自身重力的作用下即可拉动配重块向上运动，从而将上盖盖合在检漏室的上开口上。由于配重块的重量与上盖的重量相当，因此上盖的打开和盖合操作都十分省力，操作十分便捷。【附图说明】图1是实施例1中超高灵敏度检漏设备的原理结构示意图。图2是实施例2中检漏室打开状态下的立体结构示意图。图中:1-检漏室，11-上盖，2-分子栗，3-前级栗，4-四极质谱仪，5-吸气剂栗，6-标准漏孔，7-进气口，8-过滤器，91-固定柱，92-机柜，93-套筒，94-定滑轮，95-吊绳，96-配重块，97-限位筒；F1-第一阀门，F2-第二阀门，F3-第三阀门，F4-第四阀门。【具体实施方式】下面结合附图对本技术提供的一种超高灵敏度检漏设备做进一步的详细说明。本实施例提供一种超尚灵敏度检漏设备，如图1所不，包括具有用于容纳待检工件的容纳空间的检漏室1，通过分子栗2与检漏室I连通的前级栗3，与检漏室I连通用于检测待检工件漏率的四极质谱仪4，以及与检漏室I连通的吸气剂栗5，在分子栗2与检漏室I连通的管路上设有第一阀门Fl和真空计，在四极质谱仪4与检漏室I连通的管路上设有第二阀门F2，在吸气剂栗5与检漏室I连通的管路上设有第三阀门F3。检漏室I上设有标准漏孔6，连接标准漏孔6与检漏室I的管路上设有第四阀门F4，检漏室I上还设有与进气口 7，在进气口 7前方设有过滤器8。以及用于对检漏室I的真空度进行测量的真空规。本实施例的吸气剂栗能够将残留在检漏室I内部无法被分子栗2抽出的氢气分子向外抽出，且不会将工件泄漏出的氦气向外抽出，从而提高了四极质谱仪4的检漏灵敏度；本实施例中的吸气剂栗选用本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超高灵敏度检漏设备，包括检漏室（1），具有容纳空间，用于容置待检工件；分子泵（2），与所述检漏室（1）连通，用于对所述检漏室（1）进行抽真空，在所述分子泵（2）与所述检漏室（1）连通的管路上设有第一阀门（F1）；前级泵（3），通过所述分子泵（2）与所述检漏室（1）连通，用于在所述分子泵（2）对所述检漏室（1）抽真空之前，先对所述检漏室（1）进行预抽；四极质谱仪（4），与所述检漏室（1）连通，用于检测所述待检工件的漏率，在所述四极质谱仪（4）与所述检漏室（1）的连通管路上设有第二阀门（F2）；其特征在于：还包括与所述检漏室（1）连通的吸气剂泵（5），所述吸气剂泵（5）适于将残留在所述检漏室（1）内的氢气分子向外抽出，且将所述检漏室（1）内部的氦气留存于所述检漏室（1）内，在所述吸气剂泵（5）与所述检漏室（1）的连通管路上设有第三阀门（F3）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周彤，
申请(专利权)人：北京中科科美真空技术有限责任公司，
类型：新型
国别省市：北京;11