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本实用新型提供一种超高灵敏度检漏设备，包括检漏室，分子泵，前级泵，四极质谱仪和吸气剂泵。吸气剂泵能够将残留在检漏室内部无法被分子泵抽出的氢气分子进一步向外抽出，且将检漏室内部的氦气留存于检漏室内部，从而使检漏室的容纳空间达到极为纯净的真空状...
该专利属于北京中科科美真空技术有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科科美真空技术有限责任公司授权不得商用。

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