一种三角梁结构湍流传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种三角梁结构湍流传感器，包括封装壳体，封装壳体内部包含三角梁结构，三角梁结构中三角形部分的上端面与传感器芯片粘合，三角梁结构的尖端与尼龙头连接，PCB转接板粘贴在三角梁结构中长方体部分的上端面上，三角梁结构中长方体部分的下端面与半圆柱粘合，半圆柱的圆柱面与封装壳体粘合。尼龙头在湍流水流下受力，引起三角梁结构的变形，在三角梁结构的上表面产生应变，引起传感器芯片的电阻变化，进而将机械能转化为电流变化，电流由金线接入PCB转接板，然后由外接导线接出，实现水流流速的检测。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于湍流传感器
，特别涉及一种具有小体积、高灵敏度、高频响的三角梁结构湍流传感器。
技术介绍
现阶段，MEMS微传感器得到广泛应用并获得了巨大成功，人们对之期望越来越高，希望通过MEMS技术实现人类对各种物理世界所提供的信息进行感知。尤其是对于压阻式压力传感器来说，其小尺寸、良好的输入输出线性关系、工艺简单成熟等优点，已经被广泛应用于汽车、移动电话及医疗器械等领域。而现阶段在湍流检测中，其应用广泛的传统压电式剪切流传感器，由于其灵敏度低、响应速率慢等问题，而使得海洋检测存在误差大、不可靠等问题。而对于MEMS技术，其在微结构海洋湍流中的检测尚不成熟，因此，提出了一种基于压阻式感测原理的MEMS传感器设计方案。使其能有效提高对微结构湍流进行精确观测的能力，有助于揭示海洋流动机理、认知海洋运动，并用于海洋环流等的预警。同时，进一步提升我国在海洋监测和探测传感器领域的自主研发能力，获得自主知识产权。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提出一种具有小体积、高灵敏度、高频响的三角梁结构湍流传感器。使其在具有小体积和更小重量的同时，具有更高的灵敏度和高频响，同时具有更好的线性输出。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种三角梁结构湍流传感器，包括封装壳体(1)，其特征在于，封装壳体(1)内部包含三角梁结构(4)，三角梁结构(4)中三角板部分的上端面与传感器芯片(3)粘合，三角梁结构(4)的尖端与尼龙头(5)连接，PCB转接板(2)粘贴在三角梁结构(4)中长方体部分的上端面上，三角梁结构(4)中长方体部分的下端面与半圆柱(6)粘合，半圆柱(6)的圆柱面与封装壳体(1)粘合。

【技术特征摘要】
1.一种三角梁结构湍流传感器，包括封装壳体(1)，其特征在于，封装壳体(1)内部包含三角梁结构(4)，三角梁结构(4)中三角板部分的上端面与传感器芯片(3)粘合，三角梁结构(4)的尖端与尼龙头(5)连接，PCB转接板(2)粘贴在三角梁结构(4)中长方体部分的上端面上，三角梁结构(4)中长方体部分的下端面与半圆柱(6)粘合，半圆柱(6)的圆柱面与封装壳体(1)粘合。2.根据权利要求1所述的一种三角梁结构湍流传感器，其特征在于：三角梁结构(4)分为三角板部分和长方体部...

【专利技术属性】
技术研发人员：田边，杨宁，李华峰，刘汉月，詹锋，杜喆，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：陕西;61