真空管道制造技术

本发明专利技术涉及真空设备技术领域，特别涉及一种真空管道，包括第一管体、第二管体以及波纹管，所述的波纹管设置有两个以上，气体经过第一管体分流至两个以上的波纹管中，流过波纹管的气体再经过第二管体汇流至一起，第一管体和第二管体为刚性材料制成，真空管道的进、出气口同心布置，波纹管的管长方向垂直于进气口的轴心方向且两个以上的波纹管关于该轴心对称布置。由于波纹管关于进气口的轴心对称布置且与轴心垂直，这样各波纹管的拉伸和压缩变形被互相抵消，而第一、二管体是刚性的，这样抽气时真空泵和真空腔体之间就不会发生位移；同时，由于这里设置了波纹管，这样真空泵的振动也不会传递给真空腔体，起到很好的隔振效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及真空设备
，特别涉及一种真空管道。
技术介绍
随着科学技术的不断发展，大型真空系统在各行业的应用越来越多，例如各种粒子加速器的研制、核物理基础与应用研究、航空航天环境模拟器、半导体工业、医药卫生、环境保护、新材料研究等方面均需要真空环境。常用的真空系统包括真空腔体、真空管道和真空泵，其中真空泵主要用于抽取真空腔体内的气体，真空管道主要用于连接真空腔体和真空泵。目前，真空管道主要有两种结构：一种为直管，如北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司于2013年4月8日申请的专利技术专利《真空抽气装置和刻蚀设备》(申请号：201310118631.9；公开号：104103550A)中公开了一种抽气装置，包括真空抽气腔、分子泵和用于连通真空抽气腔和分子泵的过渡通道，其中过渡通道为筒状结构，这里所说的过渡通道就属于直管类的真空管道。直管具有一定的刚性，其依靠自身的刚性能够避免真空泵或者真空腔体被拖动，但同时刚性的直管也会将真空泵的振动传递给真空腔体。还有一种为波纹管，波纹管具有的柔性可以有效的隔离真空泵的振动，但是由于在抽真空的过程中，真空管道在轴线方向上要承受很大压力，大概有1kg/cm2，这样就会导致波纹管会在抽真空时的轴向压力作用下产生轴向形变，如果没有采用必要措施，必将带动真空泵或真空腔体发生位移。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种真空管道，有效隔振的同时避免真空泵或真空腔体被拖动。<br>为实现以上目的，本专利技术采用的技术方案为：一种真空管道，包括第一管体、第二管体以及波纹管，所述的波纹管设置有两个以上，气体经过第一管体分流至两个以上的波纹管中，流过波纹管的气体再经过第二管体汇流至一起，第一管体和第二管体为刚性材料制成，真空管道的进、出气口同心布置，波纹管的管长方向垂直于进气口的轴心方向且两个以上的波纹管关于该轴心对称布置。进一步地，所述的波纹管有设置有两个，两个波纹管的轴心重合，两个波纹管朝向彼此的一端通过第一管体连接在一起，两个波纹管的另一端通过第二管体连接在一起。进一步地，所述的波纹管有设置有三个，三个波纹管的轴心位于同一平面内且相互夹角为120度，三个波纹管位于内侧的一端通过第一管体连接在一起，三个波纹管的另一端通过第二管体连接在一起。进一步地，所述的波纹管有设置有N个，N为大于等于4的整数，N个波纹管的轴心位于同一平面内且相互夹角为360/N度，N个波纹管位于内侧的一端通过第一管体连接在一起，N个波纹管的另一端通过第二管体连接在一起。进一步地，所述的第一管体包括第一直管和第二直管，第二直管垂直连接在第一直管的中部，第一直管的两端分别与两个波纹管相连；所述的第二管体包括第三直管、第四直管以及两个L型管，第四直管垂直连接在第三直管的中部，L型管的一端与波纹管相连、另一端垂直焊接在第三直管上；第一直管和第三直管的轴心平行，第二直管和第四直管的轴心重合。进一步地，所述第三直管的两端设置有封头，第一直管和波纹管之间、波纹管和L型管之间、第三直管和封头之间均通过法兰接头固定连接，第二直管焊接在第一直管上，第四直管和L型管焊接在第三直管上。进一步地，所述的第一管体包括第一Y型管和第二直管，第一Y型管包括三条相同的分支管道，三条分支管道的轴心位于同一平面内且相互夹角为120°，第二直管垂直连接在第一Y型管的中心，第一Y型管的三个端头分别与三个波纹管相连；所述的第二管体包括第二Y型管、第四直管以及三个L型管，第二Y型管包括三条相同的分支管道，三条分支管道的轴心位于同一平面内且相互夹角为120°，第四直管垂直连接在第二Y型管的中心，L型管的一端与波纹管相连、另一端垂直焊接在第二Y型管的分支管道上；第一Y型管的三条分支管道轴心所在的面与第二Y型管的三条分支管道轴心所在的面平行，第二直管和第四直管的轴心重合。进一步地，所述第二Y型管的三个端头均设置有封头，第一Y型管和波纹管之间、波纹管和L型管之间、第二Y型管和封头之间均通过法兰接头固定连接，第二直管焊接在第一Y型管上，第四直管和L型管焊接在第二Y型管上。进一步地，所述的波纹管为焊接波纹管，焊接波纹管包括圆环状的不锈钢薄片，各不锈钢薄片的内径和外径交替焊接形成薄壁褶皱软管，其焊接方式为等离子焊；不锈钢薄片的材料为SUS316钢，第一管体和第二管体的材料为304钢。与现有技术相比，本专利技术存在以下技术效果：由于波纹管关于进气口的轴心对称布置且与轴心垂直，这样各波纹管的拉伸和压缩变形被互相抵消，而第一、二管体是刚性的，这样抽气时真空泵和真空腔体之间就不会发生位移；同时，由于这里设置了波纹管，这样真空泵的振动也不会传递给真空腔体，起到很好的隔振效果。附图说明图1是本专利技术实施例一的立体结构示意图；图2是图1的正视图；图3是本专利技术实施例二的立体结构示意图；图4是图3的俯视图。具体实施方式下面结合图1至图4，对本专利技术做进一步详细叙述。参阅图1-图4，一种真空管道，包括第一管体10、第二管体20以及波纹管30，所述的波纹管30设置有两个以上，气体经过第一管体10分流至波纹管30中，流过波纹管30的气体再经过第二管体20汇流至一起，第一管体10和第二管体20为刚性材料制成，真空管道的进、出气口同心布置，波纹管30的管长方向垂直于进气口的轴心方向且两个以上的波纹管30关于该轴心对称布置。本专利技术中，由于采用了刚性材料制成的第一管体10和第二管体20，在抽真空时的轴向压力作用下不会发生轴向形变，保证了第一管体10和第二管体20之间沿进气口轴心方向的位置不变。另外，关于流体对波纹管30影响的研究尚在初步阶段，初步研究结果表明，受流体影响的波纹管30受力复杂，导致波纹管3具有不同区域周期性的拉伸和压缩，波纹管30中的应力应变的分布也呈周期性变化，但是在本专利技术的方案中，由于两个以上的波纹管30具有对称性，在流体相同的情况下，可以很好的解决波纹管30复杂的受力问题，波纹管30的拉伸和压缩变形会被抵消。因此，本专利技术中的真空管道在各个方向上的受力都比较均衡，整体结构非常稳定，不会出现真空泵或真空腔体的位移。再者，由于设置了波纹管30，使得真空泵的振动不会传递给真空腔体，起到了很好的隔振效果。这里的第一管体10作为分流管与真空腔体相连，第二管体20作为汇流管与真空泵或真空机组相连。在实际应用时，也可以选择第一管体10与真空泵或真空机组相连，第二管体20与真空腔体相连，在这种连接方式下，气体是经过第二管体20分流至波纹管30中，再通过第一管体本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空管道，其特征在于：包括第一管体(10)、第二管体(20)以及波纹管(30)，所述的波纹管(30)设置有两个以上，气体经过第一管体(10)分流至波纹管(30)中，流过波纹管(30)的气体再经过第二管体(20)汇流至一起，第一管体(10)和第二管体(20)为刚性材料制成，真空管道的进、出气口同心布置，波纹管(30)的管长方向垂直于进气口的轴心方向且两个以上的波纹管(30)关于该轴心对称布置。

【技术特征摘要】
1.一种真空管道，其特征在于：包括第一管体(10)、第二管体(20)以及波纹管
(30)，所述的波纹管(30)设置有两个以上，气体经过第一管体(10)分流至波纹管(30)
中，流过波纹管(30)的气体再经过第二管体(20)汇流至一起，第一管体(10)和第二管
体(20)为刚性材料制成，真空管道的进、出气口同心布置，波纹管(30)的管长方向垂直
于进气口的轴心方向且两个以上的波纹管(30)关于该轴心对称布置。
2.如权利要求1所述的真空管道，其特征在于：所述的波纹管(30)有设置有两个，
两个波纹管(30)的轴心重合，两个波纹管(30)朝向彼此的一端通过第一管体(10)连接
在一起，两个波纹管(30)的另一端通过第二管体(20)连接在一起。
3.如权利要求1所述的真空管道，其特征在于：所述的波纹管(30)有设置有三个，
三个波纹管(30)的轴心位于同一平面内且相互夹角为120度，三个波纹管(30)位于内侧
的一端通过第一管体(10)连接在一起，三个波纹管(30)的另一端通过第二管体(20)连
接在一起。
4.如权利要求1所述的真空管道，其特征在于：所述的波纹管(30)有设置有N个，
N为大于等于4的整数，N个波纹管(30)的轴心位于同一平面内且相互夹角为360/N度，
N个波纹管(30)位于内侧的一端通过第一管体(10)连接在一起，N个波纹管(30)的另
一端通过第二管体(20)连接在一起。
5.如权利要求2所述的真空管道，其特征在于：所述的第一管体(10)包括第一直管
(11)和第二直管(12)，第二直管(12)垂直连接在第一直管(11)的中部，第一直管(11)
的两端分别与两个波纹管(30)相连；所述的第二管体(20)包括第三直管(21)、第四直
管(22)以及两个L型管(23)，第四直管(22)垂直连接在第三直管(21)的中部，L型
管(23)的一端与波纹管(30)相连、另一端垂直焊接在第三直管(21)上；第一直管(11)
和第三直管(21)的轴心平行，第二直管(12)和第四直管(22)的轴心重合。
6.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：何超峰，丁先庚，王辉，刘彦武，郁欢强，董相文，孙兴中，戴建彪，张海峰，卞荣耀，李阳，陈耀锋，张俊峰，武义锋，章学华，
申请(专利权)人：安徽万瑞冷电科技有限公司，哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：安徽;34