一种电泳机的机械传动装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种电泳机的机械传动装置，包括提升基板，所述提升基板上平行放置有两根沿所述提升基板长度方向延伸的导向杆，每根导向杆由轴承固定，两导向杆中段之间固定有平衡臂，所述平衡臂的中部上端固定有提升连杆，下端正对所述提升连杆处设有电缸，所述导向杆和提升连杆的上端固定在提升架载板的底面上，所述提升架载板的侧面上设有提升左臂和提升右臂，所述提升左臂与提升右臂之间固定有提升架固定连杆，所述提升基板上还设有光电安装座，所述光电安装座上设置有光电开关。本实用新型专利技术所述的电泳机的机械传动装置下降速度提高，同时上升过程中能够缓慢上升，有效克服了上升过程中的抖动现象，降低了因下降上升程中造成的工艺不良。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于半导体制造设备
，尤其是涉及一种电泳机的机械传动装置。
技术介绍
电泳设备主要用于硅片PN结沟槽中快速附着玻璃粉，利用电泳法将玻璃粉均匀的沉积在硅PN结台面沟槽中，最后在温度800℃的纯氧气条件下，将电泳处理后硅片进行玻璃烧成，在电泳的工艺过程中，机械传动装置必不可少，但现有的电泳机上应用的机械运动系统下降速度较慢，且在上升过程中有抖动的现象。
技术实现思路
有鉴于此，本技术旨在提出一种电泳机的机械传动装置，以解决现有机械运动系统下降速度较慢，上升过程中有抖动的问题。为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的：一种电泳机的机械传动装置，包括提升基板，所述提升基板上平行放置有两根沿所述提升基板长度方向延伸的导向杆，每根导向杆的上部和中部由轴承固定，所述两导向杆中段之间固定有平衡臂，所述平衡臂的中部上端固定有提升连杆，所述提升连杆上部由轴承固定，所述平衡臂下端正对所述提升连杆处设有电缸，所述导向杆和提升连杆的上端固定在提升架载板的底面上，所述提升架载板的侧面上设有提升左臂和提升右臂，所述提升左臂与提升右臂之间固定有提升架固定连杆，所述提升基板上还设有光电安装座，所述光电安装座上设置有光电开关。进一步的，所述提升左臂和提升右臂的前端设有固定销。进一步的，所述提升左臂、提升右臂与提升架载板的连接处设有提升连接块。进一步的，所述提升连杆与所述平衡臂的连接处设有卧式支架。进一步的，所述轴承为滚动轴承。相对于现有技术，本技术所述的电泳机的机械传动装置具有以下优势：通过采用上述技术方案，使得下降速度提高，同时上升过程中能够缓慢上升，有效克服了上升过程中的抖动现象，降低了因下降上升程中造成的工艺不良。附图说明构成本技术的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：图1为本技术实施例所述的主视图；图2为本技术实施例所述的侧视图；图3为本技术实施例所述的俯视图。附图标记说明：1-提升基板，2-轴承，3-导向杆，4-提升连杆，5-电缸，6-提升架载板，7-平衡臂，8-卧式支架，9-光电安装座，10-光电开关，11-提升左臂，12-提升右臂，13-提升架固定连杆，14固定销，15-提升连接块。具体实施方式需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。如图1-3所示，一种电泳机的机械传动装置，包括提升基板1，所述提升基板1上平行放置有两根沿所述提升基板1长度方向延伸的导向杆3，每根导向杆3的上部和中部由轴承2固定，进一步的，所述轴承2为滚珠轴承或滚动轴承；所述两导向杆3中段之间固定有平衡臂7，所述平衡臂7的中部上端固定有提升连杆4，所述提升连杆4上部由轴承2固定，所述平衡臂7下端正对所述提升连杆4处设有电缸5，进一步的，所述提升连杆4与所述平衡臂7的连接处设有卧式支架8，所述轴承2为滚动轴承；所述导向杆3和提升连杆4的上端固定在提升架载板6的底面上，所述提升架载板6的侧面上设有提升左臂11和提升右臂12，所述提升左臂11与提升右臂12之间固定有提升架固定连杆13，进一步的，所述提升左臂11、提升右臂12与提升架载板6的连接处设有提升连接块15，所述提升左臂11和提升右臂12的前端设有固定销14；所述提升基板1上还设有光电安装座9，所述光电安装座9上设置有光电开关10；本实例的工作过程：将电泳架放置到提升左臂11和提升右臂12构成的提升架上，固定销14可对电泳架起固定作用，防止电泳架下滑，放置好后，启动电缸5，电缸5驱动平衡臂7上升或下降，平衡臂7带动导向杆3和提升连杆4上下运动，进而带动提升架载板6上升或下降，提升连杆4两侧的导向杆3可起到稳定支撑提升架载板6的作用，同时提升基板1上的光电开关10用于检测运动是否到位，将检测信号传送至控制器，控制器控制电缸5的停止。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电泳机的机械传动装置，其特征在于：包括提升基板(1)，所述提升基板(1)上平行放置有两根沿所述提升基板(1)长度方向延伸的导向杆(3)，每根导向杆(3)的上部和中部由轴承(2)固定，所述两导向杆(3)中段之间固定有平衡臂(7)，所述平衡臂(7)的中部上端固定有提升连杆(4)，所述提升连杆(4)上部由轴承(2)固定，所述平衡臂(7)下端正对所述提升连杆(4)处设有电缸(5)，所述导向杆(3)和提升连杆(4)的上端固定在提升架载板(6)的底面上，所述提升架载板(6)的侧面上设有提升左臂(11)和提升右臂(12)，所述提升左臂(11)与提升右臂(12)之间固定有提升架固定连杆(13)，所述提升基板(1)上还设有光电安装座(9)，所述光电安装座(9)上设置有光电开关(10)。

【技术特征摘要】
1.一种电泳机的机械传动装置，其特征在于：包括提升基板(1)，所述提升基板(1)上平行放置有两根沿所述提升基板(1)长度方向延伸的导向杆(3)，每根导向杆(3)的上部和中部由轴承(2)固定，所述两导向杆(3)中段之间固定有平衡臂(7)，所述平衡臂(7)的中部上端固定有提升连杆(4)，所述提升连杆(4)上部由轴承(2)固定，所述平衡臂(7)下端正对所述提升连杆(4)处设有电缸(5)，所述导向杆(3)和提升连杆(4)的上端固定在提升架载板(6)的底面上，所述提升架载板(6)的侧面上设有提升左臂(11)和提升右臂(12)，所述提升左臂(11)与提升右臂(12)之间固定有提升架...

【专利技术属性】
技术研发人员：靳立辉，张学强，贾弘源，王国瑞，高树良，赵晓光，
申请(专利权)人：天津中环半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12