一种验证测量系统是否处于稳定状态的方法技术方案

本发明专利技术公开了一种验证测量系统是否处于稳定状态的方法。使用MINITAB 16的量具R&R研究(交叉)工具，进一步选择方差分析法进行测量系统分析，确定测量产生的变异性是由量具本身还是操作员之间的变异性引起的。本发明专利技术突破以往只通过校准来验证自动测试设备是否稳定的现状，充分考虑人、机、料、法、环、测等因素的影响，定义评价对象是包括量具、测量人员、被测量器件，程序和方法的测量系统。并首次应用在集成电路测试领域中，分析晶圆级的测试数据，确定测量产生的变异性是否由测量系统本身引起的，从而为验证测量系统的稳定性，保证产品质量和可靠性提供了一种有效的数字手段。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种集成电路测试领域，尤其涉及一种验证测量系统是否处于稳定状态的方法。
技术介绍
从自动测试设备获得的测试数据可以帮助判定接受或拒绝被测器件，它提供制造过程的有用信息和设计不足的信息。为保证测试质量，为器件选择自动测试设备会依据器件的时钟频率、时间精度、管脚数等。传统上对自动测试设备的有效性评价是通过周期的检定或校准工作来实现的。但实际测量中还需要考虑人、机、料、法、环、测等因素的影响。因此，评价对象不应仅是自动测试设备本身，而应是包括量具，测量人员，被测量器件，程序和方法的测量系统。测量系统分析是使用数理统计和图表的方法对测量系统的分辨率和误差进行分析，以评估测量系统的分辨率和误差对于被测量参数是否合适，并确定测量系统误差的主要成分。测量系统分析正被市场需求逐步推动在企业质量管理中应用。一些企业的亲身实践也证明测量系统分析可以保证质量体系稳定有效运作，为了在未来的市场中占据主动，许多企业也已经开始在质量管理中实施测量系统分析。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种验证测量系统是否处于稳定状态的方法。为了解决这一技术问题，本专利技术提供了一种验证测量系统是否本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种验证测量系统是否处于稳定状态的方法，其特征在于，包括如下步骤：使用J750测试机，通过4site并测，得到2次测量值；将所述2次测量值转成MINITAB所需的数据格式，使用MINITAB16中的量具R&R研究工具，得到各个site的分析结果，所述分析结果包括数理统计结果和图表结果；将所述数理统计结果与所述图表结果与量具重复性和再现性的可接受准则进行比对，从而确定变异是由测量不同的部件引起的还是所述测量系统本身引起的。

【技术特征摘要】
1.一种验证测量系统是否处于稳定状态的方法，其特征在于，包括如下步骤：使用J750测试机，通过4site并测，得到2次测量值；将所述2次测量值转成MINITAB所需的数据格式，使用MINITAB16中的量具R&...

【专利技术属性】
技术研发人员：谭雪，石志刚，刘伟，
申请(专利权)人：北京确安科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11