LED芯片制造技术

技术编号:14729187 阅读:203 留言:0更新日期:2017-02-28 11:11
本实用新型专利技术提出一种LED芯片,包括:衬底,在所述衬底之上依次形成的缓冲层、N型半导体层、发光层和P型半导体层,所述P型半导体层上形成有刻蚀至N型半导体层的台阶;P电极,所述P电极形成在所述P型半导体层上;N电极,所述N电极形成在台阶上并与N型半导体层电连接;其中,所述台阶上形成有延伸至N型半导体层中的第一沟槽,及在所述第一沟槽内的部分区域形成的延伸至衬底的第二沟槽。本实用新型专利技术的LED芯片可以有效减小电流拥堵,使得电流扩散更加均匀,发光效率得到提高,寿命长、稳定性得到增强。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及发光器件
,特别涉及一种LED芯片
技术介绍
LED(LightingEmittingDiode,发光二极管)芯片是LED的核心结构,目前,LED芯片大多采用蓝宝石作为衬底,如图1所示,芯片结构包括:(1)、在蓝宝石衬底材料上分别沉积外延层,从下到上依次为缓冲层、N型GaN层,MQW(MultipleQuantumWells,多量子阱)发光层,P型GaN层。(2)、将芯片从P型GaN层刻蚀至N型GaN层,在刻蚀区域上制备N电极即负极。(3)、在P型GaN层上沉积ITO(Indiumtinoxide,氧化铟锡)层,在ITO层上制备P电极即正极,其中,ITO层之上包括二氧化硅钝化层。常规的水平结构的LED芯片含有一个正极和一个负极金属接触层,通入直流电源后能够正常发光。水平结构的LED芯片电流在芯片内部扩散时,由于芯片结构差异和不同层级材料的电阻的差异,会造成芯片电流扩散非常不均匀。电流会选择最容易扩散的方式流通于正负极,换句话说就是朝着电阻小的区域扩散。如2图所示,直线线条模拟了电流的流动趋势,水平结构芯片的电流会聚集在正负电极直线连线上靠近负极的区域,因为直线距离本文档来自技高网...
LED芯片

【技术保护点】
一种LED芯片,其特征在于,包括:衬底,在所述衬底之上依次形成的缓冲层、N型半导体层、发光层和P型半导体层,所述P型半导体层上形成有刻蚀至N型半导体层的台阶;P电极,所述P电极形成在所述P型半导体层上;N电极,所述N电极形成在台阶上并与N型半导体层电连接;其中,所述台阶上形成有延伸至N型半导体层中的第一沟槽,及在所述第一沟槽内的部分区域形成的延伸至衬底的第二沟槽。

【技术特征摘要】
1.一种LED芯片,其特征在于,包括:衬底,在所述衬底之上依次形成的缓冲层、N型半导体层、发光层和P型半导体层,所述P型半导体层上形成有刻蚀至N型半导体层的台阶;P电极,所述P电极形成在所述P型半导体层上;N电极,所述N电极形成在台阶上并与N型半导体层电连接;其中,所述台阶上形成有延伸至N型半导体层中的第一沟槽,及在所述第一沟槽内的部分区域形成的延伸至衬底的第二沟槽。2.如权利要求1所述的LED芯片,其特征在于,所述第一沟槽和第二沟槽为圆弧形状。3.如权利要求1所述的LED芯片,其特征在于,所述第一沟槽和第二沟槽位于台阶表面与所述发光层的交接处。4.如权利要求1所述的LED芯片,其特征在于,所述第二沟槽的宽度...

【专利技术属性】
技术研发人员:张杰彭遥
申请(专利权)人:惠州比亚迪实业有限公司
类型:新型
国别省市:广东;44

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