薄膜状部件支撑设备制造技术

将薄膜状部件通过真空吸引支撑为平面形状。多个提升销以平面构造配置且支承置于它们上端上方的薄膜状部件。用于通过真空吸引保持薄膜状部件的由橡胶制成的管状吸盘附接于提升销的上部。提升销的高度可以利用螺纹紧固机构来而调整。通过来自吸盘的吸引，薄膜状部件的变形可被校正为平面状或凹入弯曲状。在不能只通过吸引来校正时，可通过从喷嘴喷射空气来对校正进行补充。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种薄膜状部件支撑设备。更具体而言，本专利技术涉及一种支撑设备，该支撑设备用于电子设备等的板状成品、由合成树脂制成且包括在该板状成品中的支撑体、该板状成品的制造工序中的半成品、和用于制造的薄膜状部件。
技术介绍
近年来，已研发了在柔性衬底上方设置有半导体元件、显示元件、或发光元件等功能元件的柔性装置且进行了实际使用。柔性装置的典型例子包括照明装置及图像显示装置，包括晶体管等半导体元件的多种半导体电路等。另外，提出了它们的各种制造方法。柔性零部件或器件的正面和背面例如被由合成树脂制成的薄膜状支撑体覆盖，以诸如保护内部元件并确保柔性。另外，柔性零部件或构件经搬运(运送)半成品的薄膜状部件、将薄膜状部件附接于其他部件、在薄膜状部件上安装零部件等的各种工序被加工，且使用各种部件而形成。在诸如柔性器件的板状成品中用作支撑体的薄膜状部件在双面被保护薄片覆盖的状态且从料卷被卷出。由此，当将薄膜状部件裁切成所希望的尺寸，并剥离一面上的保护薄片时，这引起内部应力的不平衡，使得薄膜状部件因挠曲而变形。为了去除在长边方向上移动的条状薄膜中的皱纹，提出了一种通过将空气从空气孔吹送到条状薄膜上来连续去除皱纹的薄膜皱纹移除设备(专利文献1)。该薄膜皱纹移除设备可去除条状部件中的皱纹，但不可去除各被裁切了的薄膜的皱纹或变形。另外，在对损伤敏感的薄膜状部件的情况下，通常仅一个预定表面是被保持单元保持的表面。就是说，不能使薄膜衬底的两个表面被诸如搬运手臂的保持单元保持。另外，为了移除被裁切了的薄膜衬底中的皱纹，已公开了一种皱纹去除方法及其设备(专利文献2)，其中从台上的多孔部件排出空气，薄膜衬底安装在其上以通过吸引附接其，且从薄膜衬底的上面吹送推压气体。在专利文献2中所记载的皱纹移除方法及设备中，通过使配置有多个喷嘴的一对吹送出口管同步地摆动来去除薄膜衬底中的皱纹。上述摆动机构复杂且可导致故障等等，由此优选为尽量简单的机构。再者，该皱纹移除方法及设备可去除薄膜衬底的底面中的皱纹但不可利用搬运手臂等保持薄膜衬底的底面，因为薄膜衬底的底面接触多孔部件的顶面。[参考文献][专利文献1]日本专利申请公开第2011-66095号公报[专利文献2]日本专利申请公开第2013-216429号公报。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述问题而创造的，已达到了如下目的。本专利技术的一个实施方式的目的是提供以在设定位置处以设定形状定位薄膜状部件所需的最小限度与薄膜状部件接触的薄膜状部件支撑设备。本专利技术的另一个实施方式的目的是提供能够校正薄膜状部件的变形的薄膜状部件支撑设备。本专利技术的第一实施方式是一种用于具有柔性的薄膜状部件的支撑设备。支撑设备包括：具有通过吸引将薄膜状部件的第一表面附接于其的功能的多个吸盘(pad)；能够在第一伸出量停止的多个第一提升销；以及能够在第二伸出量停止的多个第二提升销。吸盘包括弹性部件，且配置在第一提升销及第二提升销的端部。通过吸引将薄膜状部件的第一表面附接于吸盘。本专利技术的第二实施方式是本专利技术的第一实施方式的用于薄膜状部件的支撑设备，其中，吸盘根据薄膜状部件的支承位置而具有不同的吸引力。本专利技术的第三实施方式是本专利技术的第一或第二实施方式的用于薄膜状部件的支撑设备，其中，吸盘在点处支承第一表面。本专利技术的第四实施方式是本专利技术的第一至第三实施方式中的任一个的用于薄膜状部件的支撑设备，其具备具有吹送加压空气的功能的喷嘴。在喷嘴向薄膜状部件的第二表面上吹送加压空气时，吸盘能够通过吸引将薄膜状部件的第一表面附接于其。本专利技术的薄膜状部件支撑设备以所需的最小限度与薄膜状部件接触，且可在设定位置处且以设定形状定位薄膜状部件而不损伤。另外，可校正薄膜状部件的变形，因此不需要另外提供校正设备及校正步骤。附图说明图1是示出本专利技术的实施方式1的薄膜状部件支撑设备的立体外观图；图2是提升销上方的吸盘的部分截面图；图3是从图1的A方向看时的侧面图；图4是示出本专利技术的实施方式2的薄膜状部件支撑设备的侧面图；图5是示出本专利技术的实施方式3的薄膜状部件支撑设备的侧面图；图6是实施方式3的提升销上方的吸盘的部分截面图；图7是说明实施方式3的图。具体实施方式实施方式1以下参照附图说明本专利技术的第一实施方式的薄膜状部件支撑设备(以下称为支撑设备1)。图1是示出本专利技术的实施方式1的薄膜状部件支撑设备1的立体外观图。该薄膜状部件是指构成照明装置、图像显示装置等电子设备的板状零部件的薄膜状部件(对柔性没有限制)，该板状零部件的制造工序中的半成品、用来制造该板状零部件的薄膜状物体等。该薄膜状部件在各种制造工序中被搬运且移动，以被进行必要的加工。如果在工序中薄膜状部件挠曲时，则难以将该薄膜状部件在将形状校正为平面形状的状态下搬运。另外，在处理时间根据每个制造工序而不同的情况下，为了调整时间而需要暂时待机并储存这些部件的台。另外，在作为用来搬运并加工的保持单元的不同手臂及手指用在不同工序中的情况下，需要提供台以用于暂时放置用于更换保持单元的部件。在此情况下，本专利技术的薄膜状部件支撑设备能够支撑薄膜状部件，并将其在设定位置和设定角度下以设定的形状定位，且还可以校正薄膜状部件的变形。注意，本专利技术及本实施方式的支撑设备不局限于用于上述板状成品的制造，而且还可以应用于支撑各种薄膜状物体。就是说，该薄膜状部件支撑设备1是指待机以用于诸如对薄膜状部件进行加工并在薄膜状部件中组装零部件等操作的台、用来将保持单元改为另一搬运设备或机械手臂以用于搬运(搬送)到下一工序的台、用来暂时待机或储存以调整时间的台等。另外，还是指用来改变薄膜状部件的位置、角度，或校正其变形的台。因此，本专利技术或本实施方式中的薄膜状部件支撑设备1不局限于以下说明的实施方式1的功能及用途。图1是示出在支撑设备1上支撑薄膜状部件2的状态的一个例子。本专利技术的一个实施方式及本实施方式1中的薄膜状部件2是指由合成树脂制成的支撑体等部件、板状成品的制造工序中的半成品、或用来制造该板状成品的任何柔性薄膜状单层或叠层部件等部件。如图1所示，在本例子中，薄膜状部件2的底面被六个提升销(支承用销)5支撑。提升销5被固定于配置在其下部的框架3上。框架3是构成支撑设备1的主体。如图2所示，例如，在管状提升销5中的各个的下部边缘形成有外螺纹，且螺母4拧在该外螺纹上。通过该外螺纹及螺母4将提升销5固定于框架3。如此，提升销5采用螺纹固定结构，所以可以将提升销5的从框架3上的突出高度调整为设定任意高度，且可以可装卸且可更换地调整提升销5。注意，虽然在本例子中通过螺纹固定提升销，但是也可以采用例如利用基于能够选择三个位置的空气压气缸的上下机构、夹紧机构、凸轮机构。另外，虽然在实施方式1中采用调整提升销5的铅垂方向的位置的高度调整机构，但是在支撑大型薄膜状部件2的情况下可以以朝向铅垂方向(纵向)的方式放置和保持薄膜状部件2。在此情况下，高度调整机构用作用于调整水平方向上的长度的机构，由此在本专利技术及本实施方式中，提升销的突出高度也被称为伸出量。提升销5的顶部穿过形成在上板台6中的贯穿孔7。上板台6被固定器具(未图示)固定于框架3。虽然在本例子中示出由透明合成树脂制成的矩形板，但是本专利技术不局限于此。上板台6是用来支承薄膜状部件2的台，但是在薄膜状部件2因某种原因本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种设备，其包括：用于具有第一表面和第二表面的薄膜的支撑设备，包括：各自具有第一高度的多个第一提升销；各自具有第二高度的多个第二提升销；以及包含弹性部件并配置在所述多个第一提升销及所述多个第二提升销的端部的多个吸盘，其中，所述多个吸盘通过吸引来将所述第一表面附接于其。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.05.03 JP 2014-0955821.一种设备，其包括：用于具有第一表面和第二表面的薄膜的支撑设备，包括：各自具有第一高度的多个第一提升销；各自具有第二高度的多个第二提升销；以及包含弹性部件并配置在所述多个第一提升销及所述多个第二提升销的端部的多个吸盘，其中，所述多个吸盘通过吸引来将所述第一表面附接于其。2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述多个吸盘根据所述薄膜的支承位置而具有不同的吸引力。3.根据权利要求1所述的设备，其中，所述多个吸盘中的各个在点处支承所述薄膜。4.根据权利要求1所述的设备，其中，所述支撑设备还包括吹送空气的空气喷嘴，并且其中，在将所述空气吹送到所述第二表面上时，所述多个吸盘通过吸引将所述第一表面附接于其。5.一种设备，其包括：用于具有第一表面和第二表面的薄膜的支撑设备，包括：框架；被固定于所述框架且各自具有距离所述框架的第一高度的多个第一提升销；被固定于所述框架的中央部且各自具有小于所述第一高度的距离所述框架的第二高度的多个第二提升销；以及各自包含弹性部件并配置在所述多个第一提升销及所述多个第二提升销的端部的多个吸盘，其中，所述多个第一提升销中的配置在所述框架两端的两...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊仓佳代，井户尻悟，大野正胜，武岛幸市，平形吉晴，横山浩平，
申请(专利权)人：株式会社半导体能源研究所，
类型：发明
国别省市：日本;JP