【技术实现步骤摘要】
本专利技术的一个方式涉及一种包括氧化物半导体的半导体装置、包括该半导体装置的显示装置及其制造方法。注意,本专利技术的一个方式不局限于上述。本说明书等所公开的专利技术的一个方式的涉及一种物体、方法或制造方法。另外,本专利技术的一个方式涉及一种工序(process)、机器(machine)、产品(manufacture)或组合物(composition of matter)。具体而言,本说明书所公开的本专利技术的一个方式的的例子包括半导体装置、显示装置、液晶显示装置、发光装置、照明装置、蓄电装置、存储装置、它们的驱动方法以及它们的制造方法。在本说明书等中,半导体装置是指能够通过利用半导体特性而工作的装置。晶体管及半导体电路是半导体装置的一个方式。存储装置、显示装置或电子设备有时包含半导体装置。
技术介绍
1、使用形成在具有绝缘表面的衬底上的半导体膜形成晶体管的技术受到关注。该晶体管被广泛地应用于如集成电路(ic)或图像显示装置(显示装置)等电子设备。作为可以应用于晶体管的半导体薄膜,硅类半导体材料被周知。作为其他材料,氧化物半导体受到关注。
2、例本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种显示装置的制造方法,包括:
2.一种显示装置的制造方法,包括:
3.如权利要求1或2所述的显示装置的制造方法,其特征在于,在所述第六工序中,将所述第一柔性衬底与滚筒接触设置,通过使所述滚筒旋转,将所述层叠物与所述第二衬底分离。
4.一种显示装置的制造方法,包括:
【技术特征摘要】
1.一种显示装置的制造方法,包括:
2.一种显示装置的制造方法,包括:
3.如权利要求1或2所述的显示装置的制造方法,其特征在于,...
【专利技术属性】
技术研发人员:山崎舜平,大野正胜,安达广树,井户尻悟,武岛幸市,
申请(专利权)人:株式会社半导体能源研究所,
类型:发明
国别省市:
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