The invention relates to a method for the deposition of tin oxide based thin film thermal glass surface movement, characterized by the following steps: A. equipment and above the hot glass plate fixing a group of mobile chemical gas phase reactor is provided with a three gas entrance and three gas outlet of the gas phase chemical reaction, mixed gas the gaseous precursor B. first gas entrance pass into the silicon oxide and carrier gas, mixed gas gas precursor C. second gas entrance into the tin oxide and carrier gas, gaseous precursor, D. third gas entrance into fluorine or antimony and carrier gas mixed gas. The invention has the advantages of the different entrance in the reactor fed into the reactive gases of different substances, the formation of a refractive index gradient film structure, having low radiation function and no tin oxide based coated glass optical interference color has good chemical stability, can be a variety of cold and hot processing like ordinary glass, can be widely used in energy saving building and intelligent building, freezers, ovens, photoelectric devices etc..
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种在移动的热玻璃表面沉积氧化锡基低辐射功能薄膜的方法,更准确的说是利用常压化学气相沉积法,在移动的热玻璃表面沉积具有低辐射功能且无光学干涉色的氧化锡基功能薄膜。
技术介绍
氧化锡基低辐射镀膜玻璃对中远红外电磁波具有很好的反射能力,但是直接在玻璃表面镀低辐射膜,由于玻璃与低辐射功能薄膜之间折射率的差异,容易产生光学干涉色,影响低辐射镀膜玻璃的光学效果,且由于玻璃表面碱金属离子的富集,影响到氧化锡基低辐射膜层的导电性,从而制约氧化锡基低辐射镀膜玻璃的低辐射性能。专利和文献资料通常采用在镀制氧化锡基低辐射功能薄膜之先,镀制一层折射率为1.60~1.80、厚度约为40~100nm的碳氧硅或氮氧硅或碳硼硅薄膜层,以之作为阻纳层和减反射层,以抑制因折射率差异产生的光学干涉色和玻璃表层富集的钠离子对氧化锡基低辐射功能薄膜的导电性的影响。如中国专利技术专利CN1145882A阐述了一种玻璃涂层的方法,该专利技术采用一进一出的反应器结构形式,在移动的630~640℃的玻璃基板上沉积氧化锡基低辐射功能薄膜,该专利技术没有提及到对光学干涉色的抑制;中国专利技术专利CN1228067A介绍使用含有机氧化合物和相应金属四氯化物在热平板玻璃上沉积氧化锡或二氧化钛涂层的化学气相沉积方法及所获得的玻璃,该专利中没有涉及到有关屏蔽层的描述;中国专利技术专利CN1425620A介绍了浮法在线生产低辐射玻璃的方法,该专利技术在镀制低辐射功能薄膜之先,镀制了一层折射率为1.60~1.80、厚度约为40~90nm的碳硼硅薄膜作为屏蔽层;中国专利技术专利CN1792926A涉及一 ...
【技术保护点】
一种在移动的热玻璃表面沉积氧化锡基薄膜的方法,其特征在于采用了下列设备及步骤: a、在移动的热玻璃板上方固定一组化学气相反应器,该化学气相反应器设有三个气体入口和三个气体出口,气体入口与气体出口交替排列; b、在第一个气体入口通入氧化硅的气态前驱物与载气的混合气体,或是氧化硅的气态前驱物与氧化锡的气态前驱物或是气化的其它有机金属醇盐、水蒸气、路易斯酸、亚磷酸三乙酯和载气的混合气体,其中氧化硅的气态前驱物的化学式为R↓[u]O↓[v]Si↓[m],R为直链或支链或环烷基,u=3~8,v=1~4,m=1~4; c、在第二个气体入口通入氧化锡的气态前驱物与载气的混合气体,或是氧化锡的气态前驱物与氟或锑的气态前驱物、水蒸气、路易斯酸、低级链烷醇、乙酸乙酯和载气的混合气体;。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:甘治平,马立云,金良茂,陈凯,王友乐,周建民,
申请(专利权)人:中国建材国际工程有限公司,蚌埠玻璃工业设计研究院,
类型:发明
国别省市:34[中国|安徽]
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