脆材基板划刻器、处理机械、抛光装置及划刻和断开系统制造方法及图纸

本发明专利技术涉及脆材基板划刻器、处理机械、抛光装置及划刻和断开系统。该脆性材料基板抛光装置用于在由划刻器划刻后的脆性材料基板已经被分离开之后对分离开的脆性材料基板的侧边缘进行抛光。为了处理在用于平板显示器的划刻和断开系统中使用的大尺寸基板，断开步骤被省除，并且所述划刻和断开系统利用划刻器和抛光装置构造而成。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

Brittle wood substrate engraving apparatus, processing machinery, polishing apparatus, scribing and cutting system

The invention relates to a brittle wood substrate engraving device, a processing machine, a polishing device, a scribing and disconnecting system. The brittle material substrate polishing device is used for polishing the side edges of a brittle material substrate that is left off after the brittle material substrate has been separated by a scribe. In order to process large scale substrates used in scribing and disconnecting systems for flat panel displays, the disconnection step is saved, and the scribing and disconnection system is constructed using an engraving and polishing device.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于对脆性材料基板进行划刻的脆性材料基板划 刻器，和一种用于对脆性材料基板的各个端面进行抛光的脆性材料抛 光设备.还有，本专利技术涉及一种用于对脆性材料基板进行划刻和断开 操作的脆性材料基板划刻和断开系统，和一种用于对脆性材料基板进 行划刻和断开操作并且此后对该脆性材料基板的各个端面进行抛光的 脆性材料基板划刻和断开系统。
技术介绍
在此定义，"脆性材料基板"包括玻璃基板、半导体基板、陶瓷基 板以及类似物."脆性材料基板"还包括通过将两个脆性材料基板粘 结在一起而获得的粘结脆性材料基板."粘结脆性材料基板"包括通过将两个玻璃基板粘结在一起而获得 的平板显示器，比如液晶显示板、等离子显示器、有机EL显示板或者 类似装置，通过将半导体基板与玻璃基板粘结在一起而获得的投射基 板，以及类似装置.在下文中，将对液晶显示板进行图示和说明.液晶显示板被广泛应用在液晶个人计算机、液晶电视、移动电话或 者类似设备中.还有，液晶显示板会在未来被用作电子纸.在这种液晶显示板的生产工艺中，制造出一块玻璃母基板，在其上 的大量区域中的各个区域内形成有矩阵状导体图案.此后， 一种密封 材料被涂敷在玻璃母基板上，来环绕在形成于各个区域内的导体图案 的周围。接下来，涂敷有所述密封材料的玻璃母基板与另外一个玻璃 母基板粘结起来.7在一对玻璃母基板被粘结在一起之后，在各个其上已经形成有导体 图案的区域之间，利用 一 个玻璃划刻器对这对玻璃母基板中之一 进行 划刻.此后，利用一个倒转机构将划刻后的这对玻璃母基板倒转.沿 着一条利用玻璃划刻器形成的划刻线， 一个断开机构向这对倒置后的 玻璃母基板的表面上施加一个压力，其中所述表面与已经被划刻的表 面相对，由此使得这对玻璃母基板断裂成液晶显示板. 一个玻璃基板 抛光设备对分离开的液晶显示板的各个端面边缘进行抛光.此后，液 晶被注射入分离开的液晶显示板内.所述玻璃划刻器利用一个桥跨机构或者一个传送机构对玻璃母基 板进行划刻.桥跨机构使得一个刀具支撑机构相对于玻璃母基板发生 移动，从而使得用于对所述玻璃母基板进行划刻的刀具的刀锋位于一 条用于所述玻璃母基板的预定刻线上。传送机构使得玻璃母基板相对 于刀具的刀锋发生移动，从而使得一条用于所述玻璃母基板的预定划 刻线位于刀具的刀锋下方，所述桥跨机构包括笫一轨道和笫二轨道，它们被平行地设置于一个 工作台的两側上，玻璃母基板被置于所述工作台上，第一轨道和笫二 轨道分别与笫一支撑立柱和第二支撑立柱相配合. 一个横跨所述工作 台设置的导杆被连接在第一支撑立柱和第二支撑立柱上。该导杆具有 一个划刻线部分，该划刻线部分被设置成使得其能够沿着一个垂直于 第一轨道和第二轨道的方向自由地往复运动.所迷划刻线部分对置于 工作台上的玻璃母基板进行划刻。所述桥跨机构带有一个马达，用于 促使第一支撑立柱和第二支撑立柱分别沿着第一轨道和第二轨道往复 运动。所述马达被连接在一个用于对该马达进行控制的驱动器上.该 驱动器被连接在一个用于同步控制该驱动器的控制器上.在如此构建的桥跨机构中，当所述控制器发出一个用以启动驱动器 的控制信号时，所述驱动器按照从控制器发出的控制信号驱动所述马 达.受到驱动的马达使得第一支撑立柱和笫二支撑立柱进行往复运动， 从而使得设置在所述导杆上的划刻线部分被移动至这样一个位置上， 即该位置对应于置于所述工作台上的玻璃母基板上的预定划刻线，其 中所述笫一支撑立柱和第二支撑立柱分别与第一轨道和第二轨道相配 合。已经移动到对应于所述预定划刻线的位置上的划刻部分，对玻璃 母基板进行划刻.所述玻璃划刻器沿着相互垂直的预期划刻线对玻璃母基板进行划 刻，其中所述预期划刻线已经在玻璃母基板上先行建立.所述玻璃划 刻器沿着一个预定方向对设于旋转工作台上的玻璃母基板进行划刻， 其中所迷旋转工作台可旋转地设置.此后，利用一个沿着旋转轴设置的控制驱动伺服马达将所述旋转工作台旋转90度，并且沿着一个预定 方向对设于所述旋转工作台上的玻璃母基板进行划刻.以这种方式， 所述玻璃划刻器在玻璃母基板上形成了相互垂直的划刻线.液晶显示板.此后，通过丄个液晶注射步猓、液晶密封步骤以及类似 步骤，将液晶注射到各个液晶显示板内并且将其注射开口密封起来.用于对已经注射有液晶的液晶显示板的各个端面边缘进行抛光的 玻璃基板抛光设备，带有一个吸持工作台，用于将液晶显示板吸持并 且固定，这种玻璃基板抛光设备还带有一个抛光机构，用于对吸持并 且固定在所述吸持工作台上的液晶显示板的端面边缘进行抛光。在前述的液晶显示板生产工艺中，两个粘结起来的玻璃基板和设置 在它们之间的密封材料在分离开的液晶显示板中形成了一个空间(间 隙)，并且通过抽出所述空间中的空气而将液晶注入所述空间内.以 这种方式注射液晶需要很长的时间.为了解决该问题，已经提出了另 外一种用于生产液晶显示板的方法，其包括这样一个步骤，即将液晶 滴落到一个由涂敷在玻璃基板上的密封材料环绕起来的区域上，并且 此后，将两个玻璃基板粘结在一起.在这种液晶显示板生产方法中， 生产出一个玻璃母基板，在其上的多个区域中的各个区域内形成有矩 阵状导体图案，并且一种密封材料被涂敷在该玻璃母基板上，来环绕 在各个区域内的导体图案的周围.接下来，液晶被滴落到涂敷有密封材料的玻璃母基板上.此后，滴 落有液晶的玻璃母基板与另外一个玻璃母基板粘结起来.在一对玻璃 母基板被粘结在一起之后，在各个具有导体图案的区域之间，利用一 个玻璃划刻器对粘结起来的这对玻璃母基板中之一的表面进行划刻. 此后，将这对玻璃母基板倒置.沿着利用玻璃划刻器在所述那个玻璃 基板上形成的划刻线，断开机构使得倒置的这对玻璃母基板中之一断 开，并且类似的使得这对玻璃母基板中的另外一个断开，由此将这对玻璃母基板分离成液晶显示板.玻璃基板抛光设备对分离开的液晶显 示板的各个侧边缘进行抛光.但是，在前述旋转工作台被用于沿着相互垂直的划刻线对玻璃母基 板进行划刻的情况下，由于待划刻的玻璃母基板的尺寸会随着液晶显 示板的尺寸增大而增大，所以用于使得其上放置玻璃母基板的旋转工 作台进行旋转所需的扭矩会增大.因此，需要更大的马达，导致制造 成本增加.此外，随着玻璃母基板的尺寸增大，其上放置玻璃母基板 的旋转工作台的半径会增大.旋转工作台的定位精度取决于该旋转工 作台的旋转角度的辨析度.因此，在与旋转工作台的旋转轴相距一定 距离的旋转工作台側边缘处，往往无法获得所需的定位精度.还有，对于前述桥跨机构来说，仅使用一个马达来使得笫一支撑立 柱和第二支撑立柱进行移动.因此，当在第一支撑立柱和第二支撑立 柱中任何一个发生机械延迟时，发生机械延迟的该支撑立柱会被另外 一个支撑立柱拖曳并且移动.因此，第一支撑立柱和第二支撑立柱无 法顺畅的移动.此外，在平板显示器的生产线中，所采用的玻璃母基板的尺寸趋于 越来越大，产生一些无法利用常规设备彻底解决的问題。作为平板显 示器生产线的一种示例，将对一条用于液晶显示板的划刻和断开生产 线进行图示和讨论.在该生产线中，通过将一对玻璃母基板粘结在一 起而获得的大型粘结玻璃母基板被分离成具有较小尺寸(预定尺寸) 的显示板.因此，这条生产线主要包括一个划刻线设备、 一个断开设 备以及本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于脆性材料基板的划刻器，包括：　可旋转设置的旋转工作台，用于放置所述脆性材料基板；　旋转工作台驱动装置，用于旋转所述旋转工作台；　第一定位装置，用于以第一预定精度对由所述旋转工作台驱动装置进行旋转的旋转工作台进行定位；　第二定位装置，用于以高于第一预定精度的第二精度对所述旋转工作台进行定位，其中所述旋转工作台已经由第一定位装置以第一预定精度进行定位；以及　划刻装置，用于沿着一个预定方向对所述旋转工作台上的脆性材料基板进行划刻，其中所述旋转工作台已经由第二定位装置进行定位。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：江岛谷彰，冈岛康智，西尾仁孝，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[]