脆材基板划刻器及划刻和断开系统技术方案

本发明专利技术涉及脆材基板划刻器及划刻和断开系统。脆性材料基板抛光装置用于在由划刻器划刻后的脆性材料基板已经被分离开之后对分离开的脆性材料基板的侧边缘进行抛光。为了处理在用于平板显示器的划刻和断开系统中使用的大尺寸基板，断开步骤被省除，并且所述划刻和断开系统利用划刻器和抛光装置构造而成。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于对脆性材料基板进行划刻的脆性材料基板划刻器，和一种用 于对脆性材料基板的各个端面进行抛光的脆性材料抛光设备。还有，本专利技术涉及一种用于 对脆性材料基板进行划刻和断开操作的脆性材料基板划刻和断开系统，和一种用于对脆性 材料基板进行划刻和断开操作并且此后对该脆性材料基板的各个端面进行抛光的脆性材 料基板划刻和断开系统。
技术介绍
在此定义，“脆性材料基板”包括玻璃基板、半导体基板、陶瓷基板以及类似物。“脆 性材料基板”还包括通过将两个脆性材料基板粘结在一起而获得的粘结脆性材料基板。“粘结脆性材料基板”包括通过将两个玻璃基板粘结在一起而获得的平板显示器， 比如液晶显示板、等离子显示器、有机EL显示板或者类似装置，通过将半导体基板与玻璃 基板粘结在一起而获得的投射基板，以及类似装置。在下文中，将对液晶显示板进行图示和 说明。液晶显示板被广泛应用在液晶个人计算机、液晶电视、移动电话或者类似设备中。 还有，液晶显示板会在未来被用作电子纸。在这种液晶显示板的生产工艺中，制造出一块玻璃母基板，在其上的大量区域中 的各个区域内形成有矩阵状导体图案。此后，一种密封材料被涂敷在玻本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于脆性材料基板的划刻器，包括：工作台，用于放置所述脆性材料基板；第一划刻装置和第二划刻装置，用于分别对所述脆性材料基板的前表面和后表面进行划刻；以及用于保持所述脆性材料基板的一个端部的保持／传送装置，其中：所述保持／传送装置对所述脆性材料基板进行传送，从而使得所述脆性材料基板上的预期划刻线对应于第一划刻装置和第二划刻装置；所述第一划刻装置和第二划刻装置对由所述保持／传送装置传送来的脆性材料基板进行划刻，从而使得所述脆性材料基板上的预期划刻线对应于该第一划刻装置和第二划刻装置；并且在所述第一划刻装置和第二划刻装置对脆性材料基板进行划刻的同时，所述保持／传送装置保持住脆性材料基板的一个端部。

【技术特征摘要】
JP 2002-1-16 2002-008054一种用于脆性材料基板的划刻器，包括工作台，用于放置所述脆性材料基板；第一划刻装置和第二划刻装置，用于分别对所述脆性材料基板的前表面和后表面进行划刻；以及用于保持所述脆性材料基板的一个端部的保持/传送装置，其中所述保持/传送装置对所述脆性材料基板进行传送，从而使得所述脆性材料基板上的预期划刻线对应于第一划刻装置和第二划刻装置；所述第一划刻装置和第二划刻装置对由所述保持/传送装置传送来的脆性材料基板进行划刻，从而使得所述脆性材料基板上的预期划刻线对应于该第一划刻装置和第二划刻装置；并且在所述第一划刻装置和第二划刻装置对脆性材料基板进行划刻的同时，所述保持/传送装置保持住脆性材料基板的一个端部。2.根据权利要求1中所述用于脆性材料基板的划刻器，其特征在于所述划刻装置是 切割轮式刀片。3.根据权利要求2中所述用于脆性材料基板的划刻器，其特征在于所述切割轮式刀 片具有形成于圆盘状轮的隆起线部分处的刀锋，并且在所述隆起线部分处以预定的节距形 成有多个沟槽部分。4.根据权利要求2中所述用于脆性材料基板的划刻器，其特征在于所述切割轮式刀 片相对于玻璃基板进行振动，从而使得作用于该玻璃基板上的压力周期性变化。5.根据权利要求2中所述用于脆性材料基板的划刻器，其特征在于所述切割轮式刀 片在伺服马达的作用下升高和降低。6.根据权利要求1中所述用于脆性材料基板的划刻器，其特征在于在实际划刻线与 预期划刻线之间的误差被校正之后，所述划刻装置沿着预期划刻线进行移动。7.一种用于脆性材料基板的划刻和断开系统，包括至少一个用于第一脆性材料基板的 划刻器和至少一个用于第二脆性...

【专利技术属性】
技术研发人员：江岛谷彰，冈岛康智，西尾仁孝，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]