外封壳的制造方法及制造装置、图像显示装置的制造方法制造方法及图纸

提供一种外封壳的制造方法及其制造装置。在通过夹着支撑框把一对基板密接来形成气密容器的方法中，在减压气氛中使一个基板在密接之前翘曲，由此与另一基板分离，在减压气氛中开放气密容器内部，由此进行排气。此后，通过恢复翘曲来恢复两基板间的相对位置。因此，不产生两基板相对位置的偏离就能够实现气密容器内部的排气。

Method and apparatus for manufacturing outer shell, and method for manufacturing image display device

A method of manufacturing an outer shell and a manufacturing device thereof are provided. Through a supporting frame between a pair of substrate contact method to form airtight container, in vacuum atmosphere makes a substrate warpage in the adhesion before the separation from the other substrate, open the airtight container inside the vacuum atmosphere, the exhaust. Thereafter, the relative position between the two substrates is restored by restoring warpage. Therefore, without the deviation of the relative position of the two substrate, the exhaust inside the airtight container can be realized.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及图像显示装置的外封壳的制造方法及其制造装置。
技术介绍
日本专利申请特开平06-196094号公报中，公开了具有用低熔点玻璃把显示面玻璃与基板玻璃焊接的玻璃容器的真空显示装置的制造方法，该方法包括对于在显示面玻璃与基板玻璃之间插入了低熔点棒状玻璃的装配玻璃容器的阶段、从设置在玻璃容器上的间隙对其内部空气进行真空排气的阶段，和在保持真空排气的状态下对低熔点棒状玻璃进行熔化封接的阶段。此外，特开2001-28241号公报中，公开了通过接合材料对于配置了荧光体激发单元的第一基板、和配置了利用荧光体激发单元发光的荧光体的第二基板进行封接的图像形成装置的制造方法，在该方法中，包括在腔内，在使其封接部不接触的状态下把第一基板和第二基板保持在第一加热单元与第二加热单元之间进行腔内的真空排气，同时，把第一基板、第二基板、和接合材料加热到封接温度的加热工序；以及在腔内进行着真空排气的状态下，使封接部接触，通过接合材料对第一基板和第二基板进行封接的封接工序。按照该特开2001-28241号公报中公开的制造方法，在以所希望的距离来保持两个基板、以使其不接触的状态下，进行真空排气和加热处理。在特开2001-28241号公报中公开的结构中，为了在使其封接部不接触的状态下来保持第一基板和第二基板，需要用固定装具等把至少一个基板固定在位置调整单元上，利用位置调整单元使该已被固定的基板全体在远离另一基板的方向上移动，由此在两基板之间形成间隙。但是，在利用固定装具等固定在位置调整单元上的基板全体在远离另一基板的方向上移动的结构中，产生了比为了对两基板之间的空间进行真空排气而足够的间隙更大的无用的间隔(无效行程)。在产生了这样的无效行程的结构中，制造装置相应地变得复杂且大型了，此外，由于相应地无用地花费了移动基板的时间，所以妨碍制造时间的缩短。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于，提供能够在基板间不产生无效行程的情况下对于基板间的空间进行排气的外封壳的制造方法及其制造装置。本专利技术的外封壳的制造方法的特征在于，在减压气氛中一对基板的周缘部之间通过支撑框进行封接，由此来形成气密容器的制造方法中，具有在进行上述封闭之前，在减压气氛中，使上述一对基板的至少一个基板中上述周缘部翘曲以远离另一基板的工序。此外，本专利技术的外封壳的制造装置的特征在于在减压气氛中一对基板的周缘部之间通过支撑框进行封接，由此来形成气密容器的外封壳的制造装置中具有使上述一对基板中至少一个基板的上述周缘部翘曲以远离另一基板的分离单元。按照本专利技术的封接制造方法，只要使一个基板的周缘部翘曲就能够在基板间产生间隙，或者，能够扩展基板间的间隙，通过该间隙就能够进行基板间的空间的排气。此外，按照本专利技术的外封壳的制造装置，只要利用分离单元使一个基板的周缘部翘曲就能够在基板间产生间隙，或者，能够扩展基板间的间隙，通过该间隙就能够进行基板间的空间的排气。如上述说明，按照本专利技术，能够在基板间不产生无效行程的情况下对于基板间的空间进行排气。附图说明图1A、1B、1C示出本专利技术的一个实施方式的图像显示装置的制造方法的工序流程和概略结构。图2A、2B、2C分阶段示出本专利技术的一个实施方式的外封壳的制造工序。图3示出进行后板与面板的位置重合的工序。图4A、4B示出图2B所示的工序中的状态。图5A、5B示出适用于本专利技术的一个实施方式的图像显示装置的制造方法和制造装置中的板的加热机构。图6A、6B示出的两块板进行定位固定的定位弹簧。具体实施例方式接着，参照附图，说明本专利技术的实施方式。本专利技术的外封壳的制造方法及其制造装置，包括把两块叠合的玻璃真空密封起来的玻璃容器、或内装了电子发射元件的图像显示装置、或像等离子体显示器那样的图像显示装置等的制造方法及其制造装置，特别是，从降低成本这一点考虑，图像显示装置的制造方法及其制造装置是应用本专利技术的优选的方式。下面，作为例子举出内装了电子发射元件、和被从电子发射元件发射的电子照射的荧光膜的图像显示装置，使用图1A～1C、图2A～2C和图3，具体地说明本专利技术的实施方式。图1A～1C示出本专利技术的一个实施方式的图像显示装置的制造方法的工序流程和概略结构。图1A为示出本实施方式的图像显示装置的制造方法的工序流程的流程图，图1B为示出本实施方式的图像显示装置的概略结构的斜视图，图1C为示出在图1B示出的1C-1C线上的剖面图。首先，参照图1B和1C，说明本实施方式的图像显示装置的结构。本实施方式的图像显示装置由外封壳90构成，该外封壳90包括作为构成电子源基板80的基板的后板81，在该电子源基板80的上表面配置有多个电子发射元件87，且施加有与电子发射元件87连接的布线88、89；面板82，该面板82是在玻璃基板83的与后板81对置的面上，构成了荧光膜84、金属背85、和非蒸发型吸气剂9的基板；以及支撑框86，该支撑框86用于使后板81与面板82互相隔开预定间隔而相对配置。使用熔结玻璃或In等，把各板81、82、与支撑框86的接合部互相粘接起来。本实施方式中，在后板81与面板82之间设置有称为隔离物205的支撑体。由此，在图像显示装置是所谓大面积屏时，也能够构成对于大气压具有充分强度的外封壳90。依赖于用于把内部保持为真空的耐大气压结构等的力学条件等，适当设计外封壳90的大小、板81和82的板厚、以及隔离物205的配置等。作为后板81，一般使用廉价的、由碱石灰玻璃构成的基板，但是，此时，优选地，作为钠阻挡层，使用溅射法在基板之上形成厚度为0.5μm的硅氧化膜。此外，还可以使用钠成分少的玻璃或石英基板或无碱基板来作成后板81。在等离子体显示器应用中，可以把碱成分少的电玻璃PD-200(旭硝子(株)社制)等作为后板81适当使用。在面板82中，和后板81一样，一般也使用廉价的碱石灰玻璃，但是，在本实施方式中，使用了等离子体显示器用的电玻璃的、碱成分少的PD-200(旭硝子(株)社制)。在显示器用途中，该玻璃材料不产生玻璃的着色现象，此外，如果把板厚作成3mm左右，则在用大于等于10kV的加速电压驱动时，抑制二次产生的软X线漏泄的屏蔽效应也是充分的。隔离物205的材料，一般还是使用廉价的碱石灰玻璃，但是，按照外封壳90的用途来选择该材料，在需要隔离物205的位置精度等场合，优选地，使用与叠合的玻璃相同的材料，使热膨胀系数一致。此外，把隔离物205的形状作成板状、圆柱状、棱柱状、或薄板状态适合于用途的形状，其设置个数也根据用途适当设定。在内装了电子发射元件87的图像显示装置的场合，设计隔离物205，使其与电子轨道适应。在接合各板81、82与支撑框86的接合材料5、6(参照图2A～2C)中，使用具有与各板81、82相同程度的热膨胀系数的熔结玻璃、或In、In-Ag、或In-Sn等低熔点金属。在各个接合材料5、6中，可以使用不同的材料，或者也可以使用相同的材料。作为一例，优选地，在接合材料5、6中都使用In或In-Ag。把接合材料5、6涂敷在各板81、82与支撑框86的至少一方上，即可。此外，涂敷了接合材料5、6，使各板81、82与支撑框86接合前的厚度总和比接合后的厚度充分大。在本实施方式中，涂敷成使接合后的由结合材料5、6形成的In膜的厚度为300μm。关于面板82本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种外封壳的制造方法，通过在减压气氛中在其间夹着支撑框对一对基板的周缘部进行封接来形成气密容器，该方法的特征在于：具有在进行上述封接之前，在减压气氛中，使上述一对基板中的至少一个基板的上述周缘部翘曲以远离另一基板的工序。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：长谷川光利，姬路俊明，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]