石墨加热炉制造技术

本发明专利技术涉及一种结构简单且即使在整个炉体内填充氮气也能够抑制氰气的产生的石墨加热炉。石墨加热炉（１００）具备：向炉体（６）内供给氮气的氮气供给部（８）、将炉体（６）内的炉体内气体向炉体（６）外排出的排气部（９）、作为将炉体内气体向炉体（６）外排放的排放部的间隙（６ａ）、（６ｂ）。被供给到炉体（６）内的氮气的露点温度是－８０℃以下，炉体（６）内的压力相对于炉体（６）外的大气压是１４０Ｐａ以上。

Graphite heating furnace

The invention relates to a graphite heating furnace with simple structure and capable of suppressing the production of cyanide gas even if nitrogen gas is filled in the whole furnace. The graphite furnace (100) includes: to the furnace body (6) within the Ministry of supply of nitrogen nitrogen supply (8), the furnace body (6) gas inside the furnace body to the furnace body (6) of the exhaust discharged (9), as the gas stove body to the furnace body (6) clearance discharge discharge part (6a), (6b). The dew point temperature of the nitrogen supplied to the furnace body (6) is below 80 DEG C, and the atmospheric pressure in the furnace (6) relative to the furnace body (6) is above 140Pa.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及炉体内的至少一部分是使用石墨形成的石墨加热炉。
技术介绍
在以往，作为需要高温的各种用途的加热炉通常使用炭电阻炉。炭电阻炉是对发热体使用石墨的电炉，其具有容易得到高温的特长。由于石墨耐热性强、热膨胀小且机械加工容易，所以即使作为绝热材料、衬垫等发热体以外的部件也多在加热炉内使用。另外，在本说明书中，将加热炉内、特别是炉体内的至少一部分是使用石墨形成的加热炉称为石墨加热炉。通常，石墨加热炉具备设置加热对象物的反应容器和将其包围的炉体。为了不会由于发热体或绝热材料等的氧化而劣化，炉体内形成惰性气体环境，并且，为了不使外部气体侵入到炉体内，使炉体内相对于大气压保持正压。此外，由于氮气与石墨反应而生成剧毒的氰气(HCN)，所以在炉体内填充的惰性气体通常是使用氩气。然而，由于氩气与氮气相比价格高，所以希望在炉体内填充的惰性气体使用氮气，希望实现填充氮气而不生成氰气的石墨加热炉。对此，公开了如下的技术(例如参照专利文献1)，在使用石墨制炉心管的高频感应加热炉中，将炉体内部隔绝成配置炉心管的内侧部和配置高频感应线圈的外侧部，在内侧部中填充氩气等氮气以外的惰性气体，在外侧部中填充氮本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石墨加热炉，其是炉体内的至少一部分使用石墨形成的石墨加热炉，其特征在于，　　　　具有：向所述炉体内供给氮气的气体供给部；以及　　　　将所述炉体内的炉体内气体向所述炉体外排出的排气部，　　　　其中，被供给到所述炉体内的氮气的露点温度是－８０℃以下，　　　　所述炉体内的压力相对于所述炉体外的大气压是１４０Ｐａ以上。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：高桥正，
申请(专利权)人：古河电气工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]