热处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术的目的在于：防止气体从搬送路径中的第１均热区域流入至其它区域，而在跨越搬送路径整体内使清净度维持在很高的状态。在第１升温区域５１及第１均热区域５２中，具备排气箱６及第１导入管７。排气箱６将在第１均热区域因加热而由被处理物所产生的气体排出至外部。第１导入管７将清净空气导入至第１升温区域５１。在搬送路径５之中，在第１升温区域５１及第１均热区域５２以外的第２升温区域５３、第２均热区域５４、徐冷区域５５及冷却区域５６等，于搬送滚柱２的上方处，沿搬送路径５配置若干个第２导入管４，使其长度方向与搬送路径５方向正交。第２导入管４将清净空气导入至第１升温区域５１及第１均热区域５２以外的区域。

Heat treatment equipment

The object of the present invention is to prevent the flow of gas from the first uniform heat region in the moving path into the other region, and to maintain cleanliness at a high state across the entire delivery path. In the first heating region 51 and 1, the heat accumulation area 52 has an exhaust box 6 and 1 an inlet pipe 7. The exhaust box 6 discharges the gas produced by the process in the first equally heated area to the outside by heating. First the inlet pipe 7 leads the clean air into the first warming zone 51. In the conveying path 5, 51 and 1 in the first regional heating hot region 52 outside the second heating area 53, second heat area 54, area 55, Xu cold cooling area 56, above the conveying roller in 2, along the conveying path 5 configuration of a plurality of second tube 4, the the length and direction of the conveying path 5 direction orthogonal. Second the inlet pipe 4 introduces the clean air to the region outside the first heating area 51 and 1, the heat area 52.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种热处理装置，尤其涉及在对电浆显示用玻璃基板等被处理物的烧制工艺中，在中空的搬送路径内进行加热处理、徐冷处理及冷却处理等热处理的热处理装置。
技术介绍
在电浆显示用玻璃基板等被处理物的烧制工艺中，在中空的搬送路径内被进行加热处理、徐冷处理及冷却处理等热处理。该热处理中所使用的热处理装置将绝热材料外壁构件覆盖于上面、下面及左右两侧面的4面而构成中空搬送路径。于搬送路径的至少上面的一部份，配置有用以将搬送路径加热至设定温度的加热器。电浆显示用玻璃基板等被处理物，其表面涂布有机材料等各种涂布剂。对于涂布剂中所包含的黏合剂(binder)等，有因加热或燃烧等而气化的情况。该气体使搬送路径污损，冷却时固化成升华物而附着于搬送路径壁面等。此升华物再附着于被处理物表面，因而产生被处理物缺陷。因此，在第1均热处理中使气体充分产生。现有的热处理装置中，一般于在搬送路径中进行第1升温处理的第1升温区域与进行第1均热处理的第1均热区域中，配置有排气箱及清净气体的导入管。于第1升温区域与第1均热区域中，清净气体从导入管流入，另一方面，气体从排气箱排出至外部。其可将第1升温区域与第1均热区域的清净度维持在很高的状态，而可防止升华物在该区域中附着至被处理物上。(例如，参照专利文献1)(专利文献1)日本专利第3655729号公报通过配置排气箱及清净气体的导入管，其可使第1升温区域与第1均热区域的清净度维持在很高的状态，但却出现不能提高进行搬送路径内第2升温处理、第2均热处理、徐冷处理、及冷却处理等其它区域的清净度的问题。其原因被认为在于，通过由自导入管所导入的清净气体流，而将被处理物所产生的升华气体完全吸引至排气箱之前，其会从第1升温区域及第1均热区域流至其它区域。因此，在搬送路径中第1升温区域及第1均热区域以外的区域中，升华物会附着于被处理物上，而产生被处理物缺陷。
技术实现思路
(专利技术所要解决的课题)本专利技术的目的在于提供一种热处理装置，在跨越搬送路径的整体上，能使清净度维持于很高的状态。(解决问题的技术方案)本专利技术所涉及的热处理装置，其是对在搬送路径中搬送的被处理物，依次进行包含有第1升温处理、第1均热处理、第2升温处理、第2均热处理、徐冷处理及冷却处理的热处理装置，并具备有第1导入管，其将清净空气导入于搬送路径中，进行第1升温处理及第1均热处理的第1升温区域及第1均热区域；以及排气箱，其将第1升温区域及上述第1均热区域的空气排出至外部；该热处理装置，其特征在于，其配备有第2导入管。该第2导入管可将清净空气导入至搬送路径中，第1升温区域及第1均热区域以外的区域。根据这样的结构，清净空气被从第2导入管导入至搬送路径中第1升温区域及第1均热区域以外的区域。第2导入管可沿搬送路径配置若干支。在第1升温区域及第1均热区域以外的区域的行程很长的情况下，其也能将充足的清净空气导入至该区域。第2导入管可设定为将清净空气朝向被处理物上面向下导入。透过清净空气其可使被处理物的上面保持清净状态。第2导入管，亦可设定为在被处理物上面的上侧，沿搬送路径将清净空气往水平方向导入。透过清净空气其可使被处理物上面保持清净状态。第2导入管亦可设定为在上述被处理物上面的上侧，且于与上述搬送路径正交的方向上，上述被处理物的上面两端部的外侧处，以其长度方向沿上述搬送路径方向而配置，并将清净空气朝向与搬送路径正交水平方向与向下方向而导入。透过清净空气其可使被处理物上面的空气保持为清净状态的同时，可以遮蔽与搬送路径正交方向的被处理物的两端部与搬送路径的侧面之间。其可以防止从侧面开口部分等侵入的尘埃所造成的被处理物污损，及被处理物温度下降。(专利技术效果)根据本专利技术所涉及的热处理装置，其可将清净空气从第2导入管导入至搬送路径中第1升温区域及第1均热区域以外的区域，而抑制在第1升温区域及第1均热区域因加热而产生的气体往其以外区域流入的情况，同时抑制尘埃从搬送路径侧面开口部侵入的情形，因此在整个搬送路径中，能将清净度维持在很高的状态。附图说明图1是本专利技术实施形态所涉及的热处理装置10中的热处理的说明图。图2是热处理装置10结构的侧面剖视图。图3(A)、(B)、(C)为正面剖视图，表示本专利技术第1～3实施形态所涉及的热处理装置10、10’、10”的搬送路径5中，第1均热区域以外的区域构成。主要组件符号说明2搬送滚柱4第2导入管5搬送路径6排气箱7第1导入管10 热处理装置11～14 外壁构件13A、14A 贯通孔20 被处理物31～34 耐热玻璃33A、34A 贯通孔41 第2导入管 42第2导入管51第1升温区域52第1均热区域53第2升温区域54第2均热区域55徐冷区域56冷却区域具体实施方式图1表示本专利技术实施形态所涉及的热处理装置10中的热处理内容。热处理装置10将被处理物从炉内搬送路径的一端搬送至另一端。其间，依序对被处理物实施第1升温处理、第1均热处理、第2升温处理、第2均热处理、徐冷处理及冷却处理。第1均热处理，将被处理物例如加热至350℃～400℃，使该状态维持20分钟。第2均热处理，将被处理物例如加热至600℃，使该状态维持30分钟。徐冷处理将被处理物例如花费40分钟冷却至400℃。冷却处理将被处理物例如花费50分钟冷却至常温。在第1升温处理及第1均热处理中，因加热而使被处理物上所涂布的涂布剂产生气体。当此气体冷却至既定温度时，固化为升华物。此升华物附着于搬送路径内壁面等，于后热处理时再附着于所搬送的被处理物上，使被处理物产生缺陷。图2表示热处理装置10结构的侧视剖视图。热处理装置10中，沿搬送路径5形成有第1升温区域51、第1均热区域52、第2升温区域53、第2均热区域54、徐冷区域55及冷却区域56。于搬送路径5中，其配置有若干支搬送滚柱(roller)2呈可自由旋转状态。于第1升温区域51、第1均热区域52、第2升温区域53、第2均热区域54、徐冷区域55及冷却区域56中，其分别进行第1升温处理、第1均热处理、第2升温处理、第2均热处理、徐冷处理及冷却处理。第1升温区域51及第1均热区域52中，于其搬送滚柱2配置位置的上方处，沿搬送路径上配置有若干个排气箱6以及若干支第1导入管7。排气箱6将在第1均热区域中因加热而由被处理物所产生的气体排出外部。排气箱6贯通搬送路径5侧面壁面，并在热处理装置10右侧面侧与未图示的顶出销(ejector)连接。第1导入管7将清净空气导入第1升温区域51及第1均热区域52。第1导入管7贯通搬送路径5右侧面壁面，并在热处理装置10右侧面侧与未图示的高压清净空气(clean air)、干燥清净空气CDA(clean dry air)或送风机(blower)连接。送风机具备有过滤器(filter)，将外界空气清净化后将其导入至第1导入管7。另外，亦可从清净单元(clean unit)将清净空气供给至第1导入管7。于搬送路径5中，在第2升温区域53、第2均热区域54、徐冷区域55及冷却区域56等，第1升温区域51及第1均热区域52以外的区域，于其搬送滚柱2上方处，配置有若干支第2导入管4。第2导入管4将清净空气导入至第1升温区域51及第1均热区域52以外的区域。例如，若干支第2导入管4以与搬本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种热处理装置，其是对在搬送路径中搬送的被处理物，依次进行包含有第１升温处理、第１均热处理、第２升温处理、第２均热处理、徐冷处理及冷却处理的热处理装置，并具备有：第１导入管，其将清净空气导入于上述搬送路径中进行有第１升温处理及第１均热处理的第１升温区域及第１均热区域；以及排气箱，其将上述第１升温区域及上述第１均热区域的空气排出至外部；该热处理装置，其特征在于，于上述搬送路径中上述第１升温区域及上述第１均热区域以外的区域，配置有用以将清净空气导入的第２导入管。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：浦西芳和，梶田博，森本岩穗，
申请(专利权)人：光洋热系统株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]