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本发明的目的在于：防止气体从搬送路径中的第１均热区域流入至其它区域，而在跨越搬送路径整体内使清净度维持在很高的状态。在第１升温区域５１及第１均热区域５２中，具备排气箱６及第１导入管７。排气箱６将在第１均热区域因加热而由被处理物所产生的气体排...
该专利属于光洋热系统株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过光洋热系统株式会社授权不得商用。

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