通过移动第一工作头（７Ａ）、利用切割器（１４Ａ）从预定分割线（１０１）的一端（１０１ａ）到它的另一端（１０１ｂ）来形成微小槽（Ｍ１），同时一边用激光束（Ｌ）照射槽（Ｍ），一边利用检测装置（１５）确认裂缝是否从槽（Ｍ１）扩展并被分割来进行检测。存储装置（１３Ａ）根据这个检测装置（１５）的检测信号存储未分割部分的位置。然后，在第一工作头（７Ａ）向后移动之后，在上述的切割器（１４Ａ）支撑在上方的状态下，未分割部分再次被激光束（Ｌ）照射，于是未分割部分被完全分割。按照预定分割线（１０１）可以精确地分割原料玻璃（２），而不会在预定分割线（１０１）上形成双重槽（Ｍ）。
Method and apparatus for separating brittle material
By moving the first working head (7A), the cutter (14A) from the predetermined dividing line (101) (101A) at one end to the other end (101b) to form the micro groove (M1), while using a laser beam (L) irradiation tank (M), while the use of detection device (15) confirmed whether cracks from the groove (M1) extended and divided to detect. The storage device (13A) stores the location of the undivided portion according to the detection signal of the detection device (15). Then, in the first working head (7A) after the move back, the cutter (14A) support at the top of the state, undivided portion is again a laser beam (L) irradiation, so the undivided portion is completely divided. According to a predetermined parting line (101), the raw glass (2) can be accurately separated without forming a double groove (M) on the predetermined parting line (101).
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种分割脆性材料的方法和装置，并且更特别的，涉及一种适合于通过在例如玻璃表面上形成微小的凹槽、然后用激光束照射凹槽来分割玻璃时的分割方法和一种分割装置。
技术介绍
分割作为脆性材料的玻璃板的方法，至今已是熟知的。在这样的传统分割方法中，首先，通过机械切割器在玻璃表面上沿玻璃上的预定分割线形成微小 的连续的凹槽，通过用CO2激光束照射凹槽以加热凹槽，使得裂缝从上述的凹槽被扩展，由此玻璃按照预定分割线被精确地分割。在上述的玻璃分割中，需要尽可能的快速分割。但是，如果激光束的移动速度太快，则可能会存在玻璃璃没有被完全分割的未分割部分。所以，目前检测已经被实施来检查玻璃是否被按照预定分割线完全精确地 分割，例如，专利文件l (日本专利/zHf No.10-323778)中所描述的检测装置被 提供作为这样一种检测装置。在专利文件l中，不移动工作头，而是是脆性材料在水平面上相对于工作头相对移动。脆性材料中的裂缝的导引端的图像被照相机拍下来，并经过图像处理，由此判断玻璃是否被分割。在上述的传统操作方法中，在玻璃的分割操怍中，在玻璃没有被分割的未 分割部分已经通过专利文件l中所述的检测装置被检测出来的情况下，必须完全分割该未分割部分。这时，在发射激光束的工作头和机械切割器被向后移动到上述的未分割部分后，利用机械切割器沿着预定分割线再次形成微小的凹槽，然后用工作头的 激光束照射微小的凹槽以进行分割。然而，如果象这样利用机械切割器在未分割部分再次形成微小的凹槽，那 么有可育化上次形成的微小凹槽和这次形成的微小凹槽之间产生位移。因此， 在这些微小凹槽里形成了不平坦的区域，并且形成了产生双重槽的部分。当用激光束照射这些部分实施分割时，就形成了有缺陷的成品，因此引起问题。在上述的专利文件1的枱r测装置中，检测iy 、射装置被i^J^EJtl^^料的 Ji^面的一侧，4射聂已处理部分的照相积被iU在脆I^N"料的下方。所以，专 利文件1的检测装置存在结构复杂和尺寸大的问题。
技术实现思路
考虑到上述情况，本专利技术的第一方面是提fr"种分割脆'li^料的方法，该 方法利用一种装置，该装置包括工作头，该工作头相对于脆'fi^N多动；槽 形^4赠，其i^在工作头上并且沿脆'l^t料的预定分割线^^'li^料上形成 微小连续的槽；分割4赠，其iU在工作头上，并且絲槽形^^^j的移动、 通it^^^yt脆'll^料而^^^w微小槽扩展；检测装置，其i^在工作 头上并JL^测预定分割线的部位是否净iL^割；以及，装置，它务賭由检测装 置检测到的未分割部分的位置，工作头相对于脆+±#料从预定分割线的一端移 动到另一端，于是通过槽形^i几构沿预定分割线形M续的微小槽，然后，利 用分割才禍使裂^^微小槽扩^JMi行分割，分割部分被检测装置检测，而被 检测装置检测到的未分割部分的位置通过^t装置被絲，当检测到未分割部 分时，工作头沿未分割部^^多动，不通过槽形^Ml形^t，而利用分割才赠 按照预定分割线、用^fe^jyt脆'hi^^HM/^N^fclt确分割。本专利技术的第二方面是在上述第一方面的前提下，枱邻J^t置包括向脆性材料照4W"测光的检测iy^射装置和战Jlt^置，当>^"测;5^ 、射装置向脆，1±#料 发出的检测;5^姚'|^#料的分割表面絲时，该絲錄置接》|4^光，并且检测光照射装置和M收装置被设置在脆性材料的前表面侧以检测未分割部 分。本专利技术的第三方面是， 一种分割脆'1^N"料的装置包括槽形^N^J，它在 脆'hMt料上沿脆'l!i^料的预定分割线形^^小连续的槽；以及分割才赠，絲 槽形^iM^的移动、通賴^t^m射脆'^t料而^^t^微小槽扩展，所述 装置还包^^"测装置，它检测预定分割线的部位是否,ic^割。该^;则装置包括向脆'f^N"料照^"测光的检测^^射装置和M條置，当M^测;5t^射装置向脆'^N"料发出的检测iy^i'it^料的分割表面絲时，该絲錄置接狄 射光。检测^y 、射装置和^^置被"iOi^脆'^t料的前表面侧相对于分割表面平^^k^多动。本专利技术的第四方面是， 一种分割脆'l^t料的装置包括槽形^iM^，它在5脆'|±#料上沿脆'^#料的预定分割线形錄小连续的槽；以;s^割才赠，醋 槽形^yM^的移动、通湖^^^射脆'It^料而^J^^微小槽扩展，所述 装置还包^^则装置，它检测预定分割线的部位是否净A^割，该检测装置包括向脆'^#料照射检测光的检测>^^射装置和絲》14^置，当A^r测itH射装置向脆'|^#料发出的检测>^她'|±#料内部的背表面>^#时，该絲錄置接收^j"光。检测it^射装置和;^^置被iU成^^'I^N"料的前表面袭湘对 于分割表面平行i^多动。当即使检测;5^^^测>1^、射装置^^射到脆'1±#料上 而絲Jl錄置没有接^，J絲光时，检测M判断已形成分割表面。本专利技术的第五方面是在上述第三或第四方面的前提下，能够相对于脆性材 ^^多动的工作头具有槽形^O^I和分割机构。所g置包^^多动工作头的移动 才鳩和控制装置，该控制装置控制移动4禍并且具有機由检测装置检测到的 未分割部分的位置的^ft装置。工作头相对于脆，|^#料从预定分割线的一端移 到它的另一端，由此沿预定分割线形絲续的微小槽，然后，利用分割涵使 裂^w微小槽扩展而进行分割，分割部^^皮检测装置检测，而被检测装置检测 到的未分割部分的位置通过>#^装置被，。当未分割部^^皮检测装置检测到 时，工作头沿未分割部^^多动，利用分割才赠、通it^^^jyt脆'l^N"料， 没有通过槽形^N^形鋪驗照预定分割^lt确地分割脆'It^料。才娘上述的结构，在微小槽沿预定分割^A—端到另一端形成之后，并未沿预定分割线形成新的微小槽，敏时^^J^分割4禍照射到未分割部分，于;i^分割部分被分割。即，在分割未分割部分时，沿预定分割线没有形成两个微小槽，因此，最终未分割部^f皮按照预定分割賴iylt确i k^割。因此，即使当在脆'^N"料的辦中产生了未分割部分，也可以按照预定分 割^fr确分割脆fi^料。通ii^工作头上提供检测装置，可以检测脆'fi^料实际上是否,A^割同时 脆'1^#械高^^割。因为作为未分割部分检测装置的检测光照射装置和;^#置;&^皮"&1: 的很近，所以检测装置的结构被简化了 ，并且与传统结构相比可以使检测装置 小型4匕。 附图说明图l是本专利技术实施例的平面图；图2是沿图1的II - II线的主^5分的部分剖面图； 图3 ;Lf、料玻璃2 :Msf被图1中的第一工作头7A切割的示意立体图； 图4是图3所示的#"测装置15和原料玻璃2之间关系的剖面图； 图5是本专利技术的第二实施例的检测装置15的主^5分的剖面图。 *#^实施方式下面将根提附图4M^ii^专利技术的实施例。在图1中，参考符号1表示^ 分割装置。该W^分割装置1辦为脆'^t料的原料玻璃2分割成具有M^X 寸的方形。所述的激充分割装置1具有工作台3，该工作台包4舌7jc平且平坦的载置面 3A并絲面3A上支撑预tt为方形的原料玻璃2;原料台4， ^4皮布i^靠近 工作台3的一侧的位置并且支撑着原料玻璃本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种分割脆性材料方法，包括：工作头，该工作头相对于脆性材料移动；槽形成机构，其设置在工作头上并且沿脆性材料的预定分割线在脆性材料上形成微小连续的槽；分割机构，其设置在工作头上，并且随着槽形成机构移动、通过用激光束照射脆性材料而使裂缝从微小槽扩展；检测装置，其设置在工作头上并且检测预定分割线的部位是否被分割；以及存储装置，它存储由检测装置检测到的未分割部分的位置， 工作头相对于脆性材料从预定分割线的一端移动到另一端，于是通过槽形成机构沿预定分割线形成连续的微小槽，然后，利用分割机构使裂缝从微小槽扩展来进行分割，分割部分被检测装置检测，而被检测装置检测到的未分割部分的位置通过存储装置被存储，当检测到未分割部分时，工作头沿未分割部分移动，不通过槽形成机构形成槽，而利用分割机构按照预定分割线、用激光束照射脆性材料使脆性材料被精确分割。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：小关良治，
申请(专利权)人：涩谷工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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