【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种根据权利要求1的前序部分所述的位置测量机构。
技术介绍
这种位置测量机构尤其在加工机器中用于测量工具关于待加工的工件的相对位置、在坐标测量机中用于获得被测物体的位置和尺寸以及也在半导体工业中使用。在此,标尺(Ma?stab)直接组装(anbauen)在第一物体处,例如驱动单元(例如线性马达)处或者标尺组装在通过驱动单元进行驱动的部件处。相对于运动的标尺,位置测量机构的扫描单元固定地布置在第二物体处,该第二物体的位置应该进行测量。在位置测量中,要考虑到由温度引起的标尺相对于第一物体的偏移。为此,根据WO2012/114168A1,标尺的偏移在标尺的参考点处借助于测头(Taster)直接进行测量。为了检测参考点外标尺的温度引起的偏移,将温度传感器配属于标尺。在参考点外的位置处,标尺的温度引起的偏移能够由测量的温度和标尺材料的热膨胀系数求得。
技术实现思路
本专利技术的任务在于,说明一种位置测量机构,所述位置测量机构紧凑地进行构造并且利用所述位置测量机构能够尽可能精确地求得标尺的温度引起的偏移,即标尺的线膨胀。根据本专利技术,该任务通过具有权利要求1所述的特征的位置测量机构得到解决。所述位置测量机构包括第一组合件和第二组合件,其中,所述第一组合件具有型材,所述型材承载有带有第一测量刻度的标尺,并且所述第二组合件包括第一扫描单元,并且为了测量第一物体相对于第二物体的位置,所述第一组合件能够安装在待测量的第一物体处并且所述第二组合件能够安装在待测量的第二物体处并且所述第一扫描单元能够沿着 ...
【技术保护点】
位置测量机构,包括第一组合件(1)和第二组合件(2),其中,所述第一组合件(1)具有型材(10),所述型材承载有带有第一测量刻度(41)的标尺(40),所述第二组合件(2)包括第一扫描单元(20),并且为了测量第一物体(100)相对于第二物体(200)的位置,所述第一组合件(1)能够在待测量的所述第一物体(100)处进行安装并且所述第二组合件(2)能够在待测量的所述第二物体(200)处进行安装,并且所述第一扫描单元(20)能够沿着沿着测量方向(X)的移动路径移动并且在此扫描所述标尺(40)的第一测量刻度(41),其特征在于,所述标尺(40)具有第二测量刻度(42),并且在所述型材(10)处布置至少一个第二扫描单元(30),利用所述第二扫描单元能够扫描所述第二测量刻度(42)并且为了测量所述标尺(40)相对于所述第一物体(100)的偏移如下布置所述第二扫描单元,从而实现所述第一扫描单元(20)沿着所述移动路径与所述第二扫描单元(30)垂直于所述测量方向(X)间隔地、无碰撞地移动。
【技术特征摘要】
2014.10.14 EP 14188801.61.位置测量机构,包括第一组合件(1)和第二组合件(2),其中,
所述第一组合件(1)具有型材(10),所述型材承载有带有第一测量刻度(41)的标尺(40),
所述第二组合件(2)包括第一扫描单元(20),
并且为了测量第一物体(100)相对于第二物体(200)的位置,所述第一组合件(1)能够在待测量的所述第一物体(100)处进行安装并且所述第二组合件(2)能够在待测量的所述第二物体(200)处进行安装,并且所述第一扫描单元(20)能够沿着沿着测量方向(X)的移动路径移动并且在此扫描所述标尺(40)的第一测量刻度(41),
其特征在于,
所述标尺(40)具有第二测量刻度(42),并且在所述型材(10)处布置至少一个第二扫描单元(30),利用所述第二扫描单元能够扫描所述第二测量刻度(42)并且为了测量所述标尺(40)相对于所述第一物体(100)的偏移如下布置所述第二扫描单元,从而实现所述第一扫描单元(20)沿着所述移动路径与所述第二扫描单元(30)垂直于所述测量方向(X)间隔地、无碰撞地移动。
2.根据权利要求1所述的位置测量机构,其中,在所述型材(10)处固定多个沿着测量方向(X)相互间隔的第二扫描单元(30)。
3.根据权利要求1所述的位置测量机构,其中,所述第二扫描单元(30)沿着测量方向(X)弹性挠性地与所述型材(10)进行连接。
4.根据权利要求3所述的位置测量机构,其中,所述第二扫描单元(30)借助于沿着测量方向(X)能够偏移的固体关节(11)在所述型材(10)处进行固定。
5.根据权利要求1所述的位置测量机构,其中,所述型材(10)具有凹槽(12),在所述凹槽中装入所述第二扫描单元(30)。
6.根据权利要求1所述的位置测量机构,其中,所述型材(10)是空心型材,...
【专利技术属性】
技术研发人员:P菲舍尔,
申请(专利权)人:约翰内斯·海德汉博士有限公司,
类型:发明
国别省市:德国;DE
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