将带有测量刻度的载体端侧地固定在基体安装面处的组件制造技术

本发明专利技术涉及将带有测量刻度的载体端侧地固定在基体安装面处的组件，具体而言涉及用于将在纵向上延伸的带有用于至少在纵向上进行位置测量的测量刻度的载体端侧地固定在基体的安装面处的组件。组件具有第一固定元件和第二固定元件。第一和第二固定元件具有可与基体刚性连接的第一或者第二主区段和可与载体刚性连接的第一组或者第二组部分区段。第一和第二主区段至少部分在第一或者第二平面中横向于纵向延伸。第一和第二组部分区段沿着处在第一或者第二平面中的呈圆形的周缘围绕第一或者第二中心分布地布置。在第一主区段与第一组部分区段之间相应地布置有第一连接区段。在第二主区段与第二组部分区段之间相应地布置有第二连接区段。

【技术实现步骤摘要】
将带有测量刻度的载体端侧地固定在基体安装面处的组件
本专利技术涉及一种根据权利要求1的前序部分的用于将在纵向上延伸的带有用于至少在纵向上进行位置测量的测量刻度(Messteilung)的载体端侧地固定在基体的安装面(Anbaufläche)处的组件。
技术介绍
位置测量设备用于确定两个彼此可移动的构件的位置。其在加工机器的情形中被用于测量刀具关于待加工工件的相对运动，在坐标测量机器的情形中且更多地同样在半导体工业中被用于定位和加工晶片。位置测量设备由尺寸量具(Maßverkörperung，有时称为尺寸标准量具)和探测尺寸量具的探测单元构成。对位置测量设备的要求变得越来越高。更高的分辨率以及更高的精度和位置测量的可重复性被持续要求。为了构成尺寸量具相对基体(例如机器的床身)的固定点如下是已知的，即，在测量方向上位置固定地将这些尺寸量具紧固在相对基体的某一位置处。在大多数情况中，尺寸量具和基体由带有不同热膨胀特性的材料构成。位置固定的紧固应如此来设计，即，在温度变化的情形中强制力(Zwangskraft)不由基体被施加到尺寸量具上本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.用于将在纵向(X)上延伸的带有用于至少在纵向(X)上进行位置测量的测量刻度(16.1)的载体(12)端侧地固定在基体(20)的安装面(18)处的组件(10)，/n其中，所述组件(10)具有第一固定元件(22)和第二固定元件(24)，其中，所述第一固定元件(22)和所述第二固定元件(24)可被定位在所述载体(12)的在纵向(X)上相对而置的侧上，且其中，所述第一固定元件(22)和所述第二固定元件(24)如此地构造，即，所述载体(12)在其端部处可被所述第一固定元件(22)和所述第二固定元件(24)侧向上接触，/n其中，所述第一固定元件(22)如此地构造，即，所述载体(12)在其面对所述第一固...

【技术特征摘要】
20190508 EP 19173237.91.用于将在纵向(X)上延伸的带有用于至少在纵向(X)上进行位置测量的测量刻度(16.1)的载体(12)端侧地固定在基体(20)的安装面(18)处的组件(10)，
其中，所述组件(10)具有第一固定元件(22)和第二固定元件(24)，其中，所述第一固定元件(22)和所述第二固定元件(24)可被定位在所述载体(12)的在纵向(X)上相对而置的侧上，且其中，所述第一固定元件(22)和所述第二固定元件(24)如此地构造，即，所述载体(12)在其端部处可被所述第一固定元件(22)和所述第二固定元件(24)侧向上接触，
其中，所述第一固定元件(22)如此地构造，即，所述载体(12)在其面对所述第一固定元件(22)的端部处可在纵向(X)上刚性地相对所述基体(20)被承载，且其中，所述第二固定元件(24)如此地构造，即，所述载体(12)在其面对所述第二固定元件(24)的端部处可在纵向(X)上可自由移动地相对所述基体(20)被承载，
其特征在于，所述第一固定元件(22)具有可与所述基体(20)刚性连接的第一主区段(26)和可与所述载体(12)刚性连接的第一组部分区段(32.1至32.4)，其中，所述第一主区段(26)至少部分在第一平面(S1)中横向于所述纵向(X)延伸，且其中，第一组部分区段(32.1至32.4)沿着处在所述第一平面(S1)中的呈圆形的周缘(C1)围绕第一中心(P1)分布地布置，
其中，在所述第一主区段(26)与所述第一组部分区段(32.1至32.4)之间相应地布置有第一连接区段(34.1至34.4)，其中，所述第一连接区段(34.1至34.4)如此地构造，即，其允许在所述第一主区段(26)与所述第一组部分区段(32.1至32.4)之间在径向(R1)上关于所述第一中心(P1)的运动，然而不允许在所述第一主区段(26)与所述第一组部分区段(32.1至32.4)之间在周缘方向(T1)上关于所述第一中心(P1)的运动，且
所述第二固定元件(24)具有可与所述基体(20)刚性连接的第二主区段(36)和可与所述载体(12)刚性连接的第二组部分区段(42.1至42.4)，其中，所述第二主区段(36)至少部分在第二平面(S2)中横向于所述纵向(X)延伸，且其中，所述第二组部分区段(42.1至42.4)沿着处在所述第二平面(S2)中的呈圆形的周缘(C2)围绕第二中心(P2)分布地布置，
其中，在所述第二主区段(36)与所述第二组部分区段(42.1至42.4)之间相应地布置有第二连接区段(44.1至44.4)，其中，所述第二连接区段(44.1至44.4)如此地构造，即，其允许在所述第二主区段(36)与所述第二组部分区段(42.1至42.4)之间在径向(R2)上关于所述第二中心(P2)的运动，然而不允许在所述第二主区段(36)与所述第二组部分区段(42.1至42.4)之间在周缘方向(T2)上关于所述第二中心(P2)的运动。


2.根据权利要求1所述的组件(10)，其特征在于，所述第一组部分区段(32.1至32.4)平行于所述第一平面(S1)延伸，且其中，所述第二组部分区段(42.1至42.4)平行于所述第二平面(S2)延伸。


3.根据权利要求1或2所述的组件(10)，其特征在于，所述第一组部分区段(32.1至32.4)和所述第二组部分区段(42.1至42.4)相应地呈盘片状地构造。


4.根据前述权利要求中任一项所述的组件(10)，其特征在于，所述第一组部分区段(32.1至32.4)具有用于施覆用于将所述载体(12)的面对所述第一固定元件(22)的端部与所述第一组部分区段(32.1至32.4)材料配合地连接的粘合剂的第一表面，且其中，所述第二组部分区段(42.1至42.4)具有用于施覆用于将所述载体(12)的面对所述第二固定元件(24)的端部与所述第二组部分区段(42.1至42.4)材料配合地连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：R迈尔，J米特莱特纳，W普克尔，
申请(专利权)人：约翰内斯·海德汉博士有限公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE