【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于高温炉用工装领域,涉及到一种用于氧化镁烧结体靶材的组合式坩埚。
技术介绍
彩色交流等离子体显示器(PDP)对性能要求的提高,氧化镁材料越来越受到关注。各种试验研究显示,氧化镁是最耐离子撞击的材料之一,且具有很高的二次电压发射效率与透光率。目前应用广泛的坩埚材质主要有石墨、石英、陶瓷、刚玉、碳化硅、白金等。氧化镁烧结体靶材需要在1700℃温度下长时间烧结,且有水汽排出,在生产过程中对现有坩埚逐一进行了考察,结果都不理想。在使用过程中对坩埚损坏情况进行观察,总结发现,坩埚损坏都发生在局部,即坩埚壁的上部、中部、下部或坩埚底部。一般都是由于局部过热,或附着与坩埚上的杂质在高温下发生共融形成损坏。因局部的损坏而报废整个坩埚,是一项很大的浪费,增加了生产成本。从另一个角度讲,生产窑炉和实验窑炉高度不同,因此选用的坩埚尺寸也不同,没有高度可调节的坩埚可以使用。
技术实现思路
鉴于上述现状,为满足氧化镁烧结体靶材生产中因局部受损而报废整个坩埚的问题,本专利技术提供一种用于氧化镁烧结体靶材的组合式坩埚。本专利技术的目的通过以下措施实现:提供一种用于氧化镁烧结体靶材的组合式坩埚,由圆筒形坩埚壁1和坩埚底座2两部分组成,其特征在于,一个坩埚底座2可以配合一个至多个圆筒形坩埚壁1使用。其中,所述圆筒形坩埚壁1的上下接口较坩埚壁中心存在偏移,结合时留有余量。所述坩埚底2做以凸台的 ...
【技术保护点】
一种用于氧化镁烧结体靶材的组合式坩埚,由圆筒形坩埚壁(1)和坩埚底座(2)两部分组成,其特征在于,一个坩埚底座(2)可以配合一个至多个圆筒形坩埚壁(1)使用。
【技术特征摘要】
1.一种用于氧化镁烧结体靶材的组合式坩埚,由圆筒形坩埚壁(1)和
坩埚底座(2)两部分组成,其特征在于,一个坩埚底座(2)可以配合一个至
多个圆筒形坩埚壁(1)使用。
2.根据权利要求1所述的一种用于氧化镁烧结体靶材的组合式...
【专利技术属性】
技术研发人员:曾卫军,
申请(专利权)人:营口镁质材料研究院有限公司,
类型:发明
国别省市:辽宁;21
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