一种双轴干涉镜组分光特性检测方法技术

双轴干涉镜组分光特性检测方法属于激光应用技术领域；该方法将双频激光依次通过偏振器和待测双轴干涉镜组，使用光电探测器同时接收待测双轴干涉镜组两路输出的光强；通过旋转偏振器，使双路测量光强发生变化，根据测量得到的两路光强变化曲线求解双轴干涉镜组的等效能量透射率和等效能量反射率、放置旋转角度误差、激光光源的非正交角。本发明专利技术将双轴干涉镜组分光特性用等效能量透射率和能量反射率表示；采用双路同步测量方式，有效避免了测量中光源波动对测量结果的影响；在技术方面，方位角求解利用了两路光强比值的周期性和对称性，等效参数求解考虑了采集波动误差，利用最小二乘法精确拟合求解，有效提高了参数求解的稳定性和精度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于激光应用
，特别是涉及一种使用双频激光检测双轴干涉镜组分光特性的方法。
技术介绍
激光干涉仪具有精度高、量程大等优点，在超精密测量领域得到广泛应用，近些年来，随着激光干涉测量技术的不断进步和仪器性能的不断提高，激光干涉仪在数控机床、纳米测量、激光跟踪仪等方面显示出强大的应用前景。然而，随着应用需求的增长和多样化，无论是数控机床加工还是纳米测量都势必要求更高的测量精度与更快的测量速度，这无疑对超精密测量和定位技术提出了更大的挑战。面对这些挑战，双频激光干涉仪以其众多的优良特性在超精密领域担起了高精度测量的重任。目前，双频激光干涉仪朝着微型化、模块化、无源化、多轴化等方面不断发展，产生了将干涉仪中的一部分器件直接粘接在一起形成统一测量器件的干涉镜组。这种镜组不仅因集成装配而体积较小，且能有效减小热膨胀问题，保证了测量的精度和稳定性。但镜组的制作只能避免部分装配误差，应用于干涉测量系统中时仍然存在着原理性的非线性误差，其中分光不理想是一项重要的误差源。多轴干涉镜组因轴数的不同分为双轴干涉镜组、三轴干涉镜组等，其中双轴干涉镜组是最基本的结构形式。为了对镜组的分光特性进行本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种双轴干涉镜组分光特性检测方法，其特征在于使双频激光依次经过偏振器和待测双轴干涉镜组，通过旋转待测双轴干涉镜组前的偏振器，使得两路输出光强发生变化，然后对光强变化同时测量，并分析处理测量曲线实现双轴干涉镜组分光特性参数的解算，方法具体包括以下步骤：将频率为和、偏振椭圆极化角为、偏振非正交化角为且与干涉镜组旋转角度为的双频激光通过偏振器后形成光学拍频信号，其频率为，振幅为，其中为偏振器透光轴的方位角；步骤（1）所述的光学拍频信号通过待测双轴干涉镜组分为两束光，透射路出射光束拍频信号频率为，振幅为，反射路出射光束拍频信号频率为，振幅为，其中为双轴干涉镜组P波等效透射系数、为双轴干涉镜组S波等效透...

【技术特征摘要】
1.一种双轴干涉镜组分光特性检测方法，其特征在于使双频激光依次经过偏振器和待测双轴干涉镜组，通过旋转待测双轴干涉镜组前的偏振器，使得两路输出光强发生变化，然后对光强变化同时测量，并分析处理测量曲线实现双轴干涉镜组分光特性参数的解算，方法具体包括以下步骤：将频率为和、偏振椭圆极化角为、偏振非正交化角为且与干涉镜组旋转角度为的双频激光通过偏振器后形成光学拍频信号，其频率为，振幅为，其中为偏振器透光轴的方位角；步骤（1）所述的光学拍频信号通过待测双轴干涉镜组分为两束光，透射路出射光束拍频信号频率为，振幅为，反射路出射光束拍频信号频率为，振幅为，其中为双轴干涉镜组P波等效透射系数、为双轴干涉镜组S波等效透射系数、为双轴干涉镜组P波等效反射系数、为双轴干涉镜组S波等效反射系数；所述的透射路指的是入射光入射干涉镜组经第一个偏振分光镜组件透射光形成的光路；所述的反射路指的是入射光入射干涉镜组经第一个偏振分光镜组件反射光形成的光路；步骤（2）所述的光学拍频信号由光电探测电路转换为交流电压信号，其频率为，透射路电压信号峰值为，反射路电压...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆振刚，谭久彬，梁耀廷，方斌，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：黑龙江;23