半导体接口单元的接口密封装置制造方法及图纸

本发明专利技术属于半导体行业晶圆涂胶显影生产技术领域，具体地说是一种半导体接口单元的接口密封装置。该接口密封装置设置于与TRACK及光刻机连接的接口单元两侧接口部，包括密封挡板、密封架及驱动装置，其中密封挡板设置于接口单元的接口部边缘，驱动装置设置于接口单元的框架上，密封架设置于接口单元的接口部内、并与驱动装置连接，密封架通过驱动装置的驱动由接口单元两侧接口部伸出或缩回；当密封架由接口部伸出、并内侧端与密封挡板抵接时，外侧端与TRACK和光刻机抵接，从而密封接口单元两侧接口部与TRACK和光刻机之间的缝隙。本发明专利技术防止外部空气进入到设备内部，保持设备内部洁净环境，确保晶圆处理过程在满足洁净度的环境中进行。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于半导体行业晶圆涂胶显影生产
，具体地说是一种半导体接口单元的接口密封装置。
技术介绍
半导体制造过程中，对坏境洁净度的要求很高，在TRACK(涂胶显影机)和光刻机实际生产过程中，需要接口单元在TRACK及光刻机间进行晶圆的传送。现阶段接口单元与TRACK或光刻机连接侧面开口为开放式，直接暴漏在外部环境中，导致设备运行当中，外部空气很容易对设备内部的环境进行污染，严重影响工艺处理的性能。
技术实现思路
针对上述问题，本专利技术的目的在于提供一种半导体接口单元的接口密封装置。该装置防止外部空气进入到设备内部，保持设备内部洁净环境，确保晶圆处理过程在满足洁净度的环境中进行。为了实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：一种半导体接口单元的接口密封装置，该接口密封装置设置于与TRACK及光刻机连接的接口单元两侧接口部，包括密封挡板、密封架及驱动装置，其中密封挡板设置于接口单元的接口部边缘，所述驱动装置设置于接口单元的框架上，所述密封架设置于接口单元的接口部内、并与驱动装置连接，所述密封架通过驱动装置的驱动由接口单元两侧接口部伸出或缩回；当密封架由接口部伸出、并内侧端与密封挡板抵接时，外侧端与TRACK和光刻机抵接，从而密封接口单元两侧接口部与TRACK和光刻机之间的缝隙。所述密封架包括密封架基板、密封架折弯边及密封橡胶条，其中密封架基板的一侧沿周向设有密封架折弯边，所述密封橡胶条设置于密封架折弯边上，所述驱动装置与密封架基板连接；所述所述密封架通过驱动装置的驱动由接口单元两侧接口部伸出，使密封橡胶条与TRACK和光刻机的外表面接触，同时所述密封架基板的外表面与密封挡板的内表面抵接。所述密封架基板上开设有密封架基板开口，用于晶圆传送通道，所述密封架的外形尺寸小于接口单元的框架的框架开口。所述驱动装置包括气缸、气缸固定板及连接板，其中气缸通过气缸固定板安装在接口单元的框架上，所述气缸的输出端通过连接板与密封架连接。所述连接板的一端与气缸的输出端连接，另一端通过浮动接头与密封架连接。所述气缸带有两个磁性开关，分别为底部磁性开关和顶部磁性开关，所述底部磁性开关设置于气缸的活塞杆缩回到位时所对应的位置，所述顶部磁性开关设置于气缸的活塞杆伸出到位时所对应的位置。所述气缸与TRACK的主机连接、并通过TRACK的主机控制其动作。所述接口单元的框架和密封架均为矩形框架结构，所述密封架的四角上均连接一个驱动装置。本专利技术的优点与积极效果为：1.本专利技术具有结构简单，实现方便，价格低廉等特点。2.本专利技术密封架通过四个气缸的驱动，向TRACK和光刻机方向运动，运动到位后，密封橡胶条无缝贴于TRACK及光刻机的外表面，密封架基板外表面紧贴于密封挡板内表面，在TRACK、接口单元和光刻机之前形成密闭的环境，保证晶圆处理过程的洁净度要求。3.本专利技术密封架与连接板的连接采用浮动接头，灵活性大。4.本专利技术有效解决设备生产过程中接口单元两侧开口进入外部空气而导致内部洁净度下降的问题，提高工艺处理的性能。附图说明图1为本专利技术的结构示意图；图2为图1中A-A剖视图；图3为图2中I处放大图；图4为图1中B-B剖视图；图5为本专利技术中驱动装置与框架连接的示意图；图6为图5中C-C剖视图；图7为本专利技术中密封架的结构示意图；图8为图7的左视图；图9为图8中II处放大图；图10为本专利技术中密封架的轴测视图；图11为图10中III处放大图；图12为本专利技术工作时的状态示意图；图13为图12中D-D剖视图；图14为图13中IV处放大图；图15为图12中E-E剖视图。其中：1为接口单元的框架，2为框架开口，3为外钣金，4为密封挡板，5为密封架，501为密封架基板，502为密封架折弯边，503为密封橡胶条，504为密封架基板开口，6为驱动装置，601为气缸，602为气缸固定板，603为连接板，604为浮动接头，7为光刻机。具体实施方式下面结合附图对本专利技术作进一步的详细描述。如图1-4所示，本专利技术设置于与TRACK及光刻机7连接的接口单元两侧接口部，包括密封挡板4、密封架5及驱动装置6，其中密封挡板4设置于接口单元的接口部边缘，所述驱动装置6设置于接口单元的框架1上，所述密封架5设置于接口单元的接口部内、并与驱动装置6连接。所述密封架5通过驱动装置6的驱动由接口单元两侧接口部伸出或缩回；当密封架5由接口单元两侧接口部伸出、并内侧端与密封挡板4抵接时，外侧端与TRACK和光刻机7抵接，从而密封接口单元两侧接口部与TRACK和光刻机7之间的缝隙密封。如图7-11所示，所述密封架5包括密封架基板501、密封架折弯边502及密封橡胶条503，其中密封架基板501上开设有密封架基板开口504，用于晶圆传送通道。所述密封架基板501的一侧沿周向设有密封架折弯边502，所述密封橡胶条503设置于密封架折弯边502上，所述驱动装置6与密封架基板501连接。所述密封架5通过驱动装置6的驱动由接口单元两侧接口部伸出，使密封橡胶条503与TRACK和光刻机7的外表面无缝接触，同时所述密封架基板501的外表面与密封挡板4的内表面无缝抵接。所述密封架5的外形尺寸小于接口单元的框架1的框架开口2，便于密封架5的运动，所述框架开口2供传送晶圆使用。如图4-6所示，所述驱动装置6包括气缸601、气缸固定板602及连接板603，其中气缸601通过气缸固定板602安装在接口单元的框架1上，所述连接板603的一端与气缸601的输出端连接，另一端通过浮动接头604与密封架基板501连接。所述气缸601带有两个磁性开关，分别为底部磁性开关和顶部磁性开关，所述底部磁性开关设置于气缸601的活塞杆缩回到位时所对应的位置，所述顶部磁性开关设置于气缸601的活塞杆伸出到位时所对应的位置。所述气缸601与TRACK的主机连接、并通过TRACK的主机控制其动作。本实施例中，所述接口单元的框架1和密封架5均为矩形框架结构。所述密封架5的四角上均连接一个驱动装置6，因为四个气缸601同时动作，为了防止每个气缸601动作时间有所差别，而导致密封架5运动时产生卡死的现象，故采用浮动接头604连接。本专利技术的工作原理是：本专利技术的初始状态，如图1-4所示，四个气缸601的活塞杆均处于缩回状态，接口单元两侧接口部与TRACK和光刻机7间没有密封，存在缝隙，即密封橡胶条503离开TRACK和光刻机7的外表面，密封架基板501离开密封挡板4。当TRACK主机接到设备运行信号时，TRACK主机给予四个气缸601信号、并控制四个气缸601的活塞杆伸出，达到气缸固有行程后停止。气缸601带有磁性开关，活塞杆到位后，会反馈一个信号给TRACK主机。此时密封橡胶条503紧贴于TRACK和光刻机的外表面，密封架基板501的外表面紧贴于密封挡板4的内表面，即本专利技术的接口单元与TRACK和光刻机7之间已形成密封环境，供晶圆传送的需要，如图12-15所示。当TRACK主机接到设备停止信号时，TRACK主机给予四个气缸601信号、并控制四个气缸的活塞杆缩回，气缸601带有磁性开关，活塞杆到位后，会反馈一个信号给TRACK主机，此时本专利技术装置回到初始状态。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体接口单元的接口密封装置，其特征在于，该接口密封装置设置于与TRACK及光刻机(7)连接的接口单元两侧接口部，包括密封挡板(4)、密封架(5)及驱动装置(6)，其中密封挡板(4)设置于接口单元的接口部边缘，所述驱动装置(6)设置于接口单元的框架(1)上，所述密封架(5)设置于接口单元的接口部内、并与驱动装置(6)连接，所述密封架(5)通过驱动装置(6)的驱动由接口单元两侧接口部伸出或缩回；当密封架(5)由接口部伸出、并内侧端与密封挡板(4)抵接时，外侧端与TRACK和光刻机(7)抵接，从而密封接口单元两侧接口部与TRACK和光刻机(7)之间的缝隙。

【技术特征摘要】
1.一种半导体接口单元的接口密封装置，其特征在于，该接口密封装置设置于与TRACK及光刻机(7)连接的接口单元两侧接口部，包括密封挡板(4)、密封架(5)及驱动装置(6)，其中密封挡板(4)设置于接口单元的接口部边缘，所述驱动装置(6)设置于接口单元的框架(1)上，所述密封架(5)设置于接口单元的接口部内、并与驱动装置(6)连接，所述密封架(5)通过驱动装置(6)的驱动由接口单元两侧接口部伸出或缩回；当密封架(5)由接口部伸出、并内侧端与密封挡板(4)抵接时，外侧端与TRACK和光刻机(7)抵接，从而密封接口单元两侧接口部与TRACK和光刻机(7)之间的缝隙。2.按权利要求1所述的半导体接口单元的接口密封装置，其特征在于，所述密封架(5)包括密封架基板(501)、密封架折弯边(502)及密封橡胶条(503)，其中密封架基板(501)的一侧沿周向设有密封架折弯边(502)，所述密封橡胶条(503)设置于密封架折弯边(502)上，所述驱动装置(6)与密封架基板(501)连接；所述所述密封架(5)通过驱动装置(6)的驱动由接口单元两侧接口部伸出，使密封橡胶条(503)与TRACK和光刻机(7)的外表面接触，同时所述密封架基板(501)的外表面与密封挡板(4)的内表面抵接。3.按权利要求2所述的半导体接口单元的接口密封装置，其特征在于，所述密封架基板(5...

【专利技术属性】
技术研发人员：张爽，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21