【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种芯棒,具体涉及一种硅芯棒。
技术介绍
目前,硅芯棒在反应过程中,会出现倾斜,从而导致产品质量降低,浪费资源。在硅芯棒组件中,竖棒和横棒采用钼丝绑在一起,操作繁琐。
技术实现思路
专利技术目的:本技术的目的是为了克服现有技术中的不足,提供一种不会发生倾斜,多晶硅沉积稳定的硅芯棒。技术方案:为了解决上述技术问题,本技术所述的一种硅芯棒,它包括硅芯棒本体,所述硅芯棒本体的横截面为圆形或方形或椭圆形,所述硅芯棒本体的横截面周长与硅芯棒本体的长度比为1:(30-50),在所述硅芯棒本体的上端端部设有连接凹槽,在所述硅芯棒本体的下端端部中间设有定位圆孔。所述硅芯棒本体的横截面周长与硅芯棒本体的长度比为1:45。所述硅芯棒本体的横截面为圆形,该硅芯棒本体的外径为0.5-3mm。所述硅芯棒本体的横截面为方形,该硅芯棒本体的厚度为1.5-5.5mm。有益效果:本技术与现有技术相比,其显著优点是:本技术整体结构设置合理,在硅芯棒上端部设有连接凹槽,并且采用长度比为1:(30-50)的硅芯棒本体的横截面周长与硅芯棒本体,使硅芯棒重心处于中下部,确保硅芯棒不会发生倾斜,从而有效提高产品质量,设置连接凹槽,在组合反应时,横棒可以直接放在竖棒上,无需用钼丝捆绑,简化操作步骤,设置定位孔,可以进一步保证硅芯棒不会发生倾斜,采用横截面为椭圆形的硅芯棒,可以加快多晶硅的沉积速率和转化率。附图说明图1是本技术的结构示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术作进一步的说明。如图1所示,本技术所述的一种硅芯棒,它包括硅芯棒本体1,所述硅芯棒本体1的横截面为圆形或方形或椭圆形,所 ...
【技术保护点】
一种硅芯棒,其特征在于:它包括硅芯棒本体(1),所述硅芯棒本体(1)的横截面为圆形或方形或椭圆形,所述硅芯棒本体(1)的横截面周长与硅芯棒本体(1)的长度比为1:(30‑50),在所述硅芯棒本体(1)的上端端部设有连接凹槽(2),在所述硅芯棒本体(1)的下端端部中间设有定位圆孔(3)。
【技术特征摘要】
1.一种硅芯棒,其特征在于:它包括硅芯棒本体(1),所述硅芯棒本体(1)的横截面为圆形或方形或椭圆形,所述硅芯棒本体(1)的横截面周长与硅芯棒本体(1)的长度比为1:(30-50),在所述硅芯棒本体(1)的上端端部设有连接凹槽(2),在所述硅芯棒本体(1)的下端端部中间设有定位圆孔(3)。2.根据权利要求1所述的硅芯棒,其特...
【专利技术属性】
技术研发人员:袁玉平,闫鹏,袁佳斌,
申请(专利权)人:江苏拜尔特光电设备有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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