电磁场辅助激光钻孔机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种电磁场辅助激光钻孔机构，其包含有一机台，一设于该机台上方的激光装置，一设于机台上且与该激光装置相对应的平台，一放置于该平台上且通过该激光装置钻孔的加工对象，以及一设于该平台上的电场装置，用以提供电场至该加工对象；其中，该激光装置具有激光喷头，以及连接该激光喷头的吹气单元；在使用时，通过该电场装置所提供的电场，减少在激光装置钻孔后所产生的熔渣，以确保该钻孔后对象在表面上较为平滑，并在后续的制程中能有更好的良率。

【技术实现步骤摘要】

本技术关于一种激光钻孔机构；更详而言之，指一种电磁场辅助激光钻孔机构。
技术介绍
参阅图1及图2，现有的激光设备1包括一机台11，一设于该机台11上方的激光装置12，一设于机台11上且与该激光装置12相对应的平台13，以及一放置于该平台13上且通过该激光装置12钻孔的加工对象14。在使用时，将该欲钻孔的加工对象14，置放于该平台13上，通过该激光装置12进行加工，然，在使用后发现，该加工对象14很容易受到该激光装置12钻孔后而在该孔洞周围产生熔渣堆积，进而影响到该加工对象14的后续制程。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题时：现有技术中，加工对象很容易受到激光装置钻孔后而在该孔洞周围产生熔渣堆积，进而影响到加工对象的后续制程。为了解决上述技术问题，本技术提供一种磁场辅助激光钻孔机构，其主要优点在于在钻孔后，该电场装置可使该熔渣有效的减少，以使该加工对象可在后续制程中有较佳的良率。本技术提供的电磁场辅助激光钻孔机构，其包含有一机台，一设于该机台上方的激光装置，一设于机台上且与该激光装置相对应的平台，以及一放置于该平台上且通过该激光装置钻孔的加工对象；其中，该激光装置具有激光喷头，以及连接该激光喷头的吹气单元；该平台上加设有用以提供电场至该加工对象的电场装置。其中，该加工对象为陶瓷基板。作为优选技术方案，该电场装置设于该平台上方，且同时位于该加工对象的钻孔处上方。作为优选技术方案，该电场装置部分位于该加工对象钻孔处下方。作为优选技术方案，该电场装置设于该激光喷头上，向该平台方向延伸，并悬空于该加工对象上方，而前述该电场装置提供水平于该加工对象方向之电场。作为优选技术方案，该电场装置具有延伸设于该激光喷头的上侧电极，以及设于该加工对象与该平台之间的下侧电极，而该电场装置提供垂直于该加工对象方向的电场。作为优选技术方案，该下侧电极钻设有多个孔洞，且该电场装置钻孔时之气流可通过该孔洞流出。本技术能够达到如下效果：通过该电场装置所提供的电场，可使该钻孔后所产生的熔渣较不易形成，以确保该钻孔后的对象在表面上较为平滑，并在后续的制程中能有更好的良率。附图说明第图1是现有的激光设备的立体示意图；图2是现有的激光设备钻孔后的加工物件示意图；图3是本技术的实施例立体示意图；图4是本技术的实施例电场装置第一态样示意图；图5是本技术的实施例电场装置第二态样示意图；图6是本技术的实施例电场装置第三态样示意图；图7是本技术钻孔后的加工物件示意图。附图标记说明：2电磁场辅助激光钻孔机构；21机台；22激光装置；221激光喷头；222吹气单元；23平台；24加工物件；24’陶瓷基板；25电场装置；251上侧电极；252下侧电极；现有技术：1激光设备；11机台；12激光装置；13平台；14加工物件。具体实施方式下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好的理解本技术并能予以实施，但所举实施例不作为对本技术的限定。请参考图3，图3是本技术的立体示意图。如图3所述，本技术的电磁场辅助激光钻孔机构2，包含有一机台21，一设于该机台21上方的激光装置22，一设于机台21上且与该激光装置22相对应的平台23，一放置于该平台23上且通过该激光装置22钻孔的加工对象24，以及一设于该平台23上的电场装置25，用以提供电场至该加工对象24；其中，该激光装置22具有激光喷头221，以及连接该激光喷头221的吹气单元222。请同时参考图4、图5及图6，图4是本技术的实施例电场装置第一态样示意图，图5是本技术的实施例电场装置第二态样示意图，图6是本技术的实施例电场装置第三态样示意图。接续前述，如图4所示，其中，该电场装置25适时设于该平台23上，且同时平行相对位于该加工对象24钻孔处上方及下方，同时将该加工对象24钻孔处夹于该电场装置25之中，而前述该电场装置25提供水平于该加工对象24方向的电场，使该钻孔后的熔渣能向该水平方向的电场吸引，而不致囤积在该钻孔处；另，本图中该加工对象24以陶瓷基板24’为例做说明。如图5所示，该电场装置25也可以第二态样呈现，即，该电场装置25可适时向该平台23方向沿伸设于该激光喷头221上，并悬空于该加工物件24上方，而前述该电场装置25提供水平于该加工对象24方向的电场，使该钻孔后的熔渣能向该水平方向的电场吸引，而不致囤积在该钻孔处。如图6所示，该电场装置25亦可以第三态样呈现，即，其中，该电场装置25具有延伸设于该激光喷头221的上侧电极251，且该上侧电极251可与该激光装置22连动，以及设于该加工对象24与该平台23之间的下侧电极252，而前述该电场装置25提供垂直于该加工对象24方向的电场，且该下侧电极252可适时钻出多个孔洞，当激光装置钻孔后所产生的气流，可通过该多个孔洞具有更顺利流通，进而解决气流难以排出而造成熔渣移除效果不佳的现象。延续前述，如图4所示，本实施例中以该电场装置25第一态样为例做说明。当该激光装置22发出激光并钻孔于该陶瓷基板24’后，该陶瓷基板24’中的主要成分氧化铝会部分形成熔融态，且在尚未汽化前即被该吹气单元222吹出该孔洞，使汽化后的物质会凝固于该孔洞的周围形成熔渣，而本实施例中，该熔融态的氧化铝会解离出带正负电的离子，在被激光钻孔而产生汽化时也会产生带电离子形成电浆，而该电场装置25即可在熔融态或者汽化时的陶瓷基板24’的孔洞附近，将该可能形成熔渣的带电离子吸引，以减少该孔洞周围熔渣的堆积，即可获得如图7的钻孔后的陶瓷基板24’，如此所得的陶瓷基板24’较为平滑，较不会使在后续制程时有所缺失，导致降低良率，是以，可以产生更好的加工成品。综上所述，本技术之电磁场辅助激光钻孔机构具有下列的优点：1.经该电场装置所产生的之电场处理后的钻孔作动，该孔洞较少有熔渣形成，可有助于提高后续制程的良率。2.该电场装置的第二态样，可缩短电极的间距，提高电场应用效率。3.该电场装置的第三态样，该下侧电极特别有许多孔洞，可使该电场装置在激光钻孔后，气流可更顺利的流通，故可解决一般气流无法顺利排出而造成熔渣移除效果不佳的功效。以上所述实施例仅是为充分说明本技术而所举的较佳的实施例，本技术的保护范围不限于此。本
的技术人员在本技术基础上所作的等同替代或变换，均在本技术的保护范围之内。本技术的保护范围以权利要求书为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电磁场辅助激光钻孔机构，其包含有一机台，一设于该机台上方的激光装置，一设于机台上且与该激光装置相对应的平台，以及一放置于该平台上且通过该激光装置钻孔的加工对象；其中，该激光装置具有激光喷头，以及连接该激光喷头的吹气单元；其特征在于，该平台上加设有用以提供电场至该加工对象的电场装置。

【技术特征摘要】
1.一种电磁场辅助激光钻孔机构，其包含有一机台，一设于该机台上方的激光装置，一设于机台上且与该激光装置相对应的平台，以及一放置于该平台上且通过该激光装置钻孔的加工对象；其中，该激光装置具有激光喷头，以及连接该激光喷头的吹气单元；其特征在于，该平台上加设有用以提供电场至该加工对象的电场装置。2.如权利要求1所述电磁场辅助激光钻孔机构，其特征在于，该加工对象为陶瓷基板。3.如权利要求1所述电磁场辅助激光钻孔机构，其特征在于，该电场装置设于该平台上方，且同时位于该加...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴璿纬，黄国峰，陈建铭，詹正皓，陈建文，蔡志新，黄建铭，
申请(专利权)人：雷科股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71