【技术实现步骤摘要】
优先权声明本申请要求于2015年6月26日提交的意大利专利申请号102015000028222的优先权,其公开内容通过引用并入。
本专利技术涉及AMR(各向异性磁电阻)类型的大规模集成磁电阻器。
技术介绍
凭借其检测自然磁场(例如,地球磁场)和由电气部件(诸如电气或者电子设备和由电流遍历的线路)生成的磁场的能力,AMR磁场传感器被用于多种应用和系统中,例如用于罗盘、用于检测铁磁特性的系统、检测电流、以及范围广泛的其它应用。如已知的,这种磁电阻传感器利用合适铁磁材料(称为磁电阻材料,例如由Fe-Ni合金形成的被称为“坡莫合金(permalloy)”的材料)在存在外部磁场的情况下修改它们自身的电阻的能力。当前,集成类型的磁电阻传感器被制造为半导体材料(例如硅)的基板上的磁电阻材料条体。在制造期间,磁电阻材料条体被磁化,以便在预设方向(例如条体的纵向方向)上具有优选的磁化。在没有外部磁场的情况下,磁化保持所施加的方向,并且条体具有最大电阻。在存在外部磁场(其方向不同于优选磁化)的情况下,条体的磁化和条体中流动的电流之间的角度改变,其电阻同样改变(减少),如图1A和图1B所示。在示出了在没有外部磁场的情况下的磁化M的图1A中,磁电阻器1由磁电阻条体2形成,磁电阻条体2具有平行于X轴(还称为“易轴”,因为这一方向是条体更容易磁化的方向)的纵向方向。向磁电阻器1供应在条体的纵向方向上流动的电流I。在这一条件下,磁化M平行于易轴EA。在图1B中,磁电阻器1沉浸在平行于Y轴(还称为“难轴”,因为这是磁电阻条体2更难磁化的方向)的外部磁场Hy中。在这一条件下 ...
【技术保护点】
一种各向异性磁电阻(AMR)类型的集成磁电阻传感器,包括:第一磁电阻单元,包括:磁电阻器,包括细长形状的磁电阻条体,所述磁电阻条体具有在平行于优选磁化方向的第一方向上的长度和在垂直于所述第一方向的第二方向上的宽度;设置/重置线圈,具有横向于所述第一方向延伸的伸展;以及铁磁材料的屏蔽区域,具有在所述第二方向上的大于所述磁电阻条体的宽度的宽度。
【技术特征摘要】
2015.06.26 IT 1020150000282221.一种各向异性磁电阻(AMR)类型的集成磁电阻传感器,包括:第一磁电阻单元,包括:磁电阻器,包括细长形状的磁电阻条体,所述磁电阻条体具有在平行于优选磁化方向的第一方向上的长度和在垂直于所述第一方向的第二方向上的宽度;设置/重置线圈,具有横向于所述第一方向延伸的伸展;以及铁磁材料的屏蔽区域,具有在所述第二方向上的大于所述磁电阻条体的宽度的宽度。2.根据权利要求1所述的磁电阻传感器,其中所述磁电阻器、所述设置/重置线圈、以及所述屏蔽区域被布置在彼此的顶部上,其中所述设置/重置线圈被布置在所述磁电阻器和所述屏蔽区域之间。3.根据权利要求1所述的磁电阻传感器,其中所述屏蔽区域由软铁磁材料制成。4.根据权利要求3所述的磁电阻传感器,其中所述软铁磁材料从由坡莫合金或者基于钴-铁-硼或者坡莫合金的材料组成的组中选取。5.根据权利要求1所述的磁电阻传感器,其中所述屏蔽区域包括多个屏蔽条体,所述多个屏蔽条体平行于彼此并且邻近彼此、平行于所述第二方向、并且横向于所述磁电阻条体延伸,使得所述多个屏蔽条体和所述磁电阻条体具有多个竖直对准部分。6.根据权利要求1所述的磁电阻传感器,其中所述屏蔽区域具有在所述第一方向上的长度,所述屏蔽区域的长度基本上等于或者大于所述磁电阻条体的长度。7.根据权利要求1所述的磁电阻传感器,进一步包括布置在半导体材料的基板上的绝缘区域,其中所述设置/重置线圈的所述伸展在所述磁电阻条体之上延伸,并且所述屏蔽区域在所述设置/重置线圈的所
\t述伸展之上延伸,并且其中所述设置/重置线圈和所述磁电阻条体形成于所述绝缘区域中,并且所述屏蔽区域形成在所述绝缘区域上。8.根据权利要求1所述的磁电阻传感器,进一步包括邻近所述第一磁电阻单元布置的非屏蔽磁电阻单元。9.根据权利要求1所述的磁电阻传感器,进一步包括邻近所述第一磁电阻单元的其它磁电阻单元,所述其它磁电阻单元包括:相应磁电阻条体,具有在所述第二方向上的宽度;以及铁磁材料的相应屏蔽区域,具有在所述第二方向上的相应宽度,所述其它磁电阻单元的所述相应屏蔽区域的宽度大于所述其它磁电阻单元的所述相应磁电阻条体的宽度并且小于所述第一磁电阻单元的所述屏蔽区域的宽度。10.根据权利要求1所述的磁电阻传感器,其中所述磁电阻条体为第一磁电阻条体,并且所述传感器包括邻近并且平行于所述第一磁电阻条体的第二磁电阻条体,所述屏蔽区域横向于所述第二磁电阻条体延伸,所述屏蔽区域具有竖直对准于所述第一磁电阻条体和所述第二磁电阻条体的部分。11.根据权利要求1所述的磁电阻传感器,形成线性位置传感器、角度位置传感器、...
【专利技术属性】
技术研发人员:D·帕希,M·马彻西,M·莫里利,
申请(专利权)人:意法半导体股份有限公司,
类型:发明
国别省市:意大利;IT
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