硅锭截断系统技术方案

技术编号:14261161 阅读:101 留言:0更新日期:2016-12-23 00:42
本实用新型专利技术提供一种硅锭截断系统,该硅锭截断系统包括:硅锭截断设备,用于对硅锭进行截断作业以形成硅方体;以及硅锭储料设备,位于所述硅锭截断设备的前端,用于储存硅锭并将储存的所述硅锭输送至所述硅锭截断设备。相较于现有技术,本实用新型专利技术包硅锭截断系统,能很好地将待截断硅锭统一储存于硅锭储料设备中,在截断时,则从硅锭储料设备中将储存的硅锭输送至硅锭截断设备进行截断作业以形成硅方体,便于硅锭的储存及输送且截断效率大幅提升。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及工件加工
,特别是涉及硅锭截断系统。
技术介绍
线切割技术是目前世界上比较先进的开方加工技术,它的原理是通过高速运动的金刚线对待加工工件(例如:硅锭、蓝宝石、或其他半导体硬脆材料)进行摩擦,切出方锭,从而达到切割目的。在对工件的切割过程中,金刚线通过导线轮的引导,在主线辊上形成一张线网,而待加工工件通过工作台的上升下降实现工件的进给,在压力泵的作用下,装配在设备上的冷却水自动喷洒装置将冷却水喷洒至金刚线和工件的切削部位,由金刚线往复运动产生切削,以将半导体等硬脆材料一次同时切割为多块。线切割技术与传统的刀锯片、砂轮片及内圆切割相比具有效率高、产能高、精度高等优点。但是,目前的硅锭截断设备仍然存在不足,例如目前的线切割设备一次只能对一个待切割物进行切割,若要加工多个工件只能反复执行多次,效率非常低下。另外,所需截断的待加工工件的数量多,待加工工件的储存及搬运是一大难题,存在效率低、安全隐患大等问题。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点,本技术的目的在于提供硅锭截断系统,用于解决现有技术中硅锭截断效率低下、待加工硅锭的储存及搬运效率低且安全隐患大等问题。为实现上述目的及其他目的,本技术在一方面提供一种硅锭截断系统,包括:用于对硅锭进行截断作业以形成硅方体的硅锭截断设备;用于储存硅锭并将储存的所述硅锭输送至所述硅锭截断设备的硅锭储料设备,所述硅锭储料设备位于所述硅锭截断设备的前端。本技术硅锭截断系统,包括硅锭截断设备和硅锭储料设备,能很好地将待截断硅锭统一储存于硅锭储料设备中,在截断时,则从硅锭储料设备中将储存的硅锭输送至硅锭截断设备进行截断作业以形成硅方体,便于硅锭的储存及输送且截断效率大幅提升。可选地,所述硅锭截断设备包括:截断机座;硅锭承载机构,设于所述截断机座上;所述硅锭承载机构包括互换位置的第一工位平台和第二工位平台,所述第一工位平台和所述第二工位平台上均设有用于承载所述硅锭的多个载盘;线切割机构,设于所述截断机座上,包括用于切割所述硅锭的线切割单元。可选地,所述载盘设有调转机构,所述载盘在所述调转机构的驱动下在水平面内转动 180°,使得待切割的多晶硅的头尾位置调换。可选地,所述硅锭储料设备包括:料座;料支撑架,设于所述料座上;用于承载并周转所述硅锭的硅锭周转承送机,设于所述料支撑架上。可选地,所述硅锭周转承载机包括:驱动机构,设于所述料支撑架底部;至少一周转机构,设于所述料支撑架的至少一侧部;用于承载并周转所述硅锭的多个承送件,设于所述周转机构上且随所述周转机构而周转运动。可选地,所述驱动机构包括:驱动电机;驱动链轮,连动于所述驱动电机;驱动链条,配置于所述驱动链轮上。可选地,所述周转机构包括:一对周转链轮,分别设于所述料支撑架的侧部的上下两端;所述一对周转链轮中的至少一个周转链轮连动于所述驱动机构;周转链条,配置于所述一对周转链轮上。可选地,所述承送件包括:连接部,固定连接于所述周转机构;承送部,轴接于所述连接部;所述承送部具有供承载所述硅锭的承载台。可选地,所述硅锭截断系统还包括:用于将所述硅锭从所述硅锭储料设备转移至所述硅锭截断设备的第一工件转移设备,设于所述硅锭储料设备和所述硅锭截断设备之间。附图说明图1为本技术硅锭截断系统在一实施方式中的结构示意图。图2为本技术硅锭截断系统中硅锭储料设备的结构示意图。图3为本技术硅锭截断系统中硅锭截断设备及第一工件转移设备在第一视角下的结构示意图。图4为本技术硅锭截断系统中硅锭截断设备及第一工件转移设备在第二视角下的结构示意图。图5为本技术硅锭截断系统中截断清洗设备及第二工件转移设备的结构示意图。图6为图5中圆圈处的放大示意图。具体实施方式以下由特定的具体实施例说明本技术的实施方式,熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点及功效。请参阅图1至图5。须知,本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等,均仅用以配合说明书所揭示的内容,以供熟悉此技术的人士了解与阅读,并非用以限定本技术可 实施的限定条件,故不具技术上的实质意义,任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整,在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下,均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。同时,本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语,亦仅为便于叙述的明了,而非用以限定本技术可实施的范围,其相对关系的改变或调整,在无实质变更
技术实现思路
下,当亦视为本技术可实施的范畴。请参阅图1,本技术硅锭截断系统包括:硅锭储料设备1和硅锭截断设备2。硅锭储料设备1,用于储存硅锭40并将储存的硅锭40输送至硅锭截断设备2。请继续参阅图2,为本技术硅锭截断系统中硅锭储料设备1的结构示意图。结合图1和图2,硅锭储料设备1进一步包括:料座11;料支撑架13;硅锭周转承送机15。料座11,作为硅锭储料设备1的主体部件,料支撑架13和硅锭周转承送机15均设置于料座11上。在本实施例中,料座11优选为一圆盘结构(例如铸铁圆盘或钢制圆盘),所述圆盘采用质量较大的金属材质,使得硅锭储料设备1整体重心下沉,提高了硅锭储料设备1的稳固度。料支撑架13,设于料座11上。在本实施例中,料支撑架13优选为一方柱状架体。硅锭周转承送机15,设于料支撑架13上,用于承载并周转硅锭40。具体地,硅锭周转承送机15包括:驱动机构;至少一周转机构14;承送件16。驱动机构,设于料支撑架13的底部。在本实施例中,所述驱动机构包括:驱动电机121,设于料支撑架13的底部;驱动链轮123,连动于驱动电机121;驱动链条125,配置于驱动链轮123上。至少一周转机构14,设于料支撑架13的至少一侧部。在本实施例中,周转机构14为一对,分别设于作为料支撑架13的方柱状架体的两个相对安装柱面上。每一个周转机构14均包括:一对周转链轮141,分别设于料支撑架13的侧部(即,安装柱面)的上下两端,一对周转链轮141中的至少一个周转链轮141连动于所述驱动机构中的驱动链条125;周转链条143,圈设于一对周转链轮141上。承送件16,设于周转机构14上且随周转机构14而周转运动,用于承载并周转硅锭40。具体地,承送件16包括:连接部161和承送部163。连接部161,固定连接于周转机构14,在本实施例中,连接部161为一柱状连接件,通过锁附元件(例如固定螺丝)锁附于周转机构14中的周转链条143上。承送部163,轴接于连接部161(作为连接部161的柱状连接件内置有转轴),承送部163具有供承载硅锭40的承载台,在本实施例中,承送部163优选为截面呈ㄩ型的开口盒状结构,且所述开口盒状结构底部的承载台可进一步为镂空设计,不仅 便于硅锭40的存取,也可节省材料并降低承送部163的整体自重。硅锭截断设备2,用于对硅锭40进行截断作业以形成硅方体。具体地,如图3和图4所示,硅锭截断设备2包括:截断机座;硅锭承载机构;线切割机构。硅锭承载机构,设于所述截断机座上。所述硅锭承载机构通过一转动机构而转动设置有第一工位平台与第二工位平台,第一工位平台与第二工位平台在垂直平面内沿同一圆周进行转动并位于所本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种硅锭截断系统,其特征在于,包括:用于对硅锭进行截断作业以形成硅方体的硅锭截断设备;以及用于储存硅锭并将储存的所述硅锭输送至所述硅锭截断设备的硅锭储料设备,所述硅锭储料设备位于所述硅锭截断设备的前端。

【技术特征摘要】
1.一种硅锭截断系统,其特征在于,包括:用于对硅锭进行截断作业以形成硅方体的硅锭截断设备;以及用于储存硅锭并将储存的所述硅锭输送至所述硅锭截断设备的硅锭储料设备,所述硅锭储料设备位于所述硅锭截断设备的前端。2.根据权利要求1所述的硅锭截断系统,其特征在于,所述硅锭截断设备包括:截断机座;硅锭承载机构,设于所述截断机座上;所述硅锭承载机构包括互换位置的第一工位平台和第二工位平台,所述第一工位平台和所述第二工位平台上均设有用于承载所述硅锭的多个载盘;以及线切割机构,设于所述截断机座上,包括用于切割所述硅锭的线切割单元。3.根据权利要求2所述的硅锭截断系统,其特征在于,所述载盘设有调转机构,所述载盘在所述调转机构的驱动下在水平面内转动180°,使得待切割的多晶硅的头尾位置调换。4.根据权利要求1所述的硅锭截断系统,其特征在于,所述硅锭储料设备包括:料座;料支撑架,设于所述料座上;以及用于承载并周转所述硅锭的硅锭周转承送机,设于所述料支撑架上。5.根据权利要求4所述的硅锭截断系统,其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员:卢建伟
申请(专利权)人:上海日进机床有限公司
类型:新型
国别省市:上海;31

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