有机发光显示装置及其制造方法制造方法及图纸

本文公开了一种有机发光显示装置及其制造方法，在该有机发光显示装置中：在基板的有源区中设置有包括栅电极和源电极的薄膜晶体管(TFT)、阳极电极、有机发光层、阴极电极、设置在与阳极电极的层相同的层上并且连接至阴极电极的辅助电极；在基板的焊盘区中设置有设置在与栅电极的层相同的层上的信号焊盘以及通过接触孔连接至信号焊盘的焊盘电极，并且焊盘电极设置在与源电极的层相同的层上。

Organic light emitting display device and manufacturing method thereof

Disclosed is an organic light-emitting display device and manufacturing method thereof, in the organic light emitting display device: in the active region of a substrate is provided with a thin film transistor includes a gate electrode and a source electrode (TFT), anode electrode, organic light-emitting layer and a cathode electrode, and is arranged in the anode electrode layer on the same layer the auxiliary electrode is connected to the cathode electrode on the substrate; a pad region is provided with a signal pad and the gate electrode in the same layer and layer through the contact hole is connected to the signal pad pad electrode, and a pad electrode and a source electrode layer is arranged in the same layer.

【技术实现步骤摘要】
相关申请的交叉引用本申请要求于2015年5月28日提交的韩国专利申请第10-2015-0075395号的权益，其通过引用合并到本文中如同在本文中完全阐述一样。
本专利技术涉及有机发光显示装置，并且更具体地涉及顶部发光型有机发光显示装置及其制造方法。
技术介绍
有机发光显示装置是自发光装置，并且具有低功耗、快速响应时间、高发光效率、高亮度以及宽视角。有机发光显示装置基于从有机发光器件发出的光的传输方向划分为顶部发光型和底部发光型。在底部发光型中，电路元件设置在发光层与图像显示表面之间，并且由于这个原因，开口率降低。另一方面，在顶部发光型中，电路元件不设置在发光层与图像显示表面之间，因此开口率提高。图1是相关技术的顶部发光型有机发光显示装置的示意性截面图。如图1中可见，在基板10上的有源区AA中形成有包括有源层11、栅极绝缘层12、栅电极13、层间电介质14、源电极15和漏电极16的薄膜晶体管(TFT)层T，并且在TFT层T上相继地形成有钝化层20和平坦化层30。在平坦化层30上形成有阳极电极40和辅助电极50。以下将描述辅助电极50减小了阴极电极80的电阻。堤部(bank)60在阳极电极40和辅助电极50上形成并且限定像素区。在由堤部60限定的像素区中形成有机发光层70，并且在有机发光层70上形成阴极电极80。在顶部发光型中，从有机发光层70发出的光穿过阴极电极80。因此，阴极电极80由透明导电材料形成，并且阴极电极80的电阻增加。为了减小阴极电极80的电阻，将阴极电极80连接至辅助电极50。栅极绝缘层12和层间电介质14形成在基板10上的焊盘区PA中，在层间电介质14上形成有信号焊盘90，并且在信号焊盘90上形成有钝化层20。在钝化层20中设置有孔，并且信号焊盘90通过孔暴露于外部。由于信号焊盘90应当连接至外部驱动电路，因此信号焊盘90通过在钝化层20中形成孔暴露于外部。相关技术的顶部发光型有机发光显示装置具有以下问题。由于信号焊盘90应当连接至外部驱动电路，因此信号焊盘90的顶部暴露于外部。由于这个原因，信号焊盘90的顶部被腐蚀，并且腐蚀扩展至其它区域。可以在信号焊盘90的顶部上进一步形成耐蚀性优异的金属层，以防止信号焊盘90的顶部被腐蚀，但是在这种情况下，工艺的数目增加。此外，可以通过同一个工艺在信号焊盘90上形成与阳极电极40相同的电极层，以防止信号焊盘90的顶部被腐蚀而没有增加工艺数目。然而，即使在这种情况下，不能防止电极层的材料被腐蚀，或者不能防止腐蚀扩展穿过电极层的侧表面。此外，为了将信号焊盘90连接至外部驱动电路，通过在钝化层20中形成孔来暴露出信号焊盘90的顶部，但是当钝化层20的孔先前形成时，用于图案化形成阳极电极40的蚀刻剂会流动穿过孔并损坏信号焊盘90。
技术实现思路
因此，本专利技术涉及提供一种基本上避免了由于相关技术的限制和缺点所造成的一个或更多个问题的有机发光显示装置及其制造方法。本专利技术的一个方面涉及提供一种顶部发光型有机发光显示装置及其制造方法，其中使附加工艺数目最小化，并且防止信号焊盘被腐蚀以及防止信号焊盘被蚀刻剂损坏。本专利技术的另外的优点和特征将部分地在随后的描述中阐述，并且将部分地在本领域技术人员研究下面的内容时变得明显，或者可以通过本专利技术的实践而获知这些优点和特征。通过在书面描述及其权利要求书以及附图
中特别指出的结构可以实现和获得本专利技术的目的和其他优点。为了获得这些优点和其他优点并且根据本专利技术的目的，如本文中所呈现和大致描述的，提供了一种有机发光显示装置，在该有机发光显示装置中：在基板的有源区中设置有包括栅电极和源电极的薄膜晶体管(TFT)、阳极电极、有机发光层、阴极电极、设置在与阳极电极的层相同的层上并且连接至阴极电极的辅助电极；在基板的焊盘区中设置有设置在与栅电极的层相同的层上的信号焊盘以及通过接触孔连接至信号焊盘的焊盘电极，并且焊盘电极设置在与源电极的层相同的层上。在本专利技术的另一方面，提供了一种制造有机发光显示装置的方法，该方法包括：在基板上形成栅电极和信号焊盘；在栅电极和信号焊盘上形成层间电介质，并且在层间电介质上形成源电极和焊盘电极；在源电极和焊盘电极上形成钝化层；在钝化层上形成阳极电极以及与阳极电极分离的辅助电极；以及去除钝化层的形成在焊盘电极上的至少一部分，用于向外暴露出焊盘电极。应该理解，本专利技术的上述一般描述和下面的详细描述都是示例性和说明性的，并且旨在提供如所要求保护的本专利技术的进一步的说明。附图说明本申请包括附图用以提供对本专利技术的进一步理解并且附图被并入本申请中并构成本申请的一部分，附图示出本专利技术的实施方案，并且与说明书一起用于说明本专利技术的原理。在附图中：图1是相关技术的顶部发光型有机发光显示装置的示意性截面图；图2是根据本专利技术的一个实施方案的有机发光显示装置的截面图；图3是根据本专利技术的另一实施方案的有机发光显示装置的截面图；图4A至图4M是示出制造根据本专利技术一个实施方案的有机发光显示装置的方法的截面图；以及图5A至图5L是示出制造根据本专利技术另一实施方案的有机发光显示装置的方法的截面图。具体实施方式现在将详细参考本专利技术的示例性实施方案，在附图中示出本专利技术的示例性实施方案的实例。贯穿附图将尽可能使用相同的附图标记来指代相同或相似的部分。将通过参照附图描述的下面的实施方案来阐明本专利技术的优点和特征以及本专利技术的实现方法。然而，本专利技术可以以不同的形式来呈现并且不应当被解释为限于本文中所阐述的实施方案。更确切地说，提供这些实施方案使得本公开将严密且完整，并且将对本领域技术人员充分地传达本专利技术的范围。此外，本专利技术仅由权利要求的范围来限定。在用于描述本专利技术的实施方案的附图中所公开的形状、尺寸、比例、角度和数字仅为示例，因此本专利技术不限于所示出的细节。在通篇中相同的附图标记指代相似的元件。在下面的描述中，在确定相关的已知功能或配置的详细描述不必要地使本专利技术的主题模糊的情况下，则将省略该详细描述。在使用本说明书中所描述的“包含”、“具有”和“包括”的情况下，除了使用“仅...”之外，可以添加另一部分。单数形式的术语可以包括复数形式，除非被指出与此相反。在解释元件时，虽然未明确描述，但是元件被解释为包括误差范围。在描述位置关系时，例如，在两个部件之间的位置关系被描述为“在...上”、“在...上方”、“在...下”和“紧邻...”的情况下，可以在所述两个部件之间设置一个或更多个其他部件，除非使用“刚刚”或“直接”。在描述时间关系时，例如，在时间顺序被描述为“在...之后”、“随后...”、“接下来...”和“在...之前”的情况下，可以包括不连续的情况，除非使用“刚刚”或“直接”。应理解的是，虽然本文中可以使用术语“第一”、“第二”等来描述各种元件，但是这些元件不应当受限于这些术语。这些术语仅用于区分一个元件与另一元件。例如，在不脱离本专利技术的范围的情况下，第一元件可以被称为第二元件，并且类似地，第二元件可以被称为第一元件。本专利技术的各个实施方案的特征可以彼此部分地或整体地结合或组合，并且如本领域技术人员能够充分理解的，所述特征可以以各种方式彼此相互作用并且在技术上被驱动。本专利技术的实施方案可以彼此独立地被实施，或者可以以相互依赖的关系一起被实施。在下文中，将参本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有机发光显示装置，包括：配置成包括有源区和焊盘区的基板；配置成包括设置在所述基板的所述有源区中的栅电极和源电极的薄膜晶体管(TFT)；设置在所述薄膜晶体管(TFT)上的阳极电极；设置在所述阳极电极上的有机发光层；设置在所述有机发光层上的阴极电极；设置在与其上设置有所述阳极电极的层相同的层上并且连接至所述阴极电极的辅助电极；设置在所述基板的所述焊盘区中并且在与其上设置有所述栅电极的层相同的层上的信号焊盘；以及通过接触孔连接至所述信号焊盘的焊盘电极，其中所述焊盘电极设置在与其上设置有所述源电极的层相同的层上。

【技术特征摘要】
2015.05.28 KR 10-2015-00753951.一种有机发光显示装置，包括：配置成包括有源区和焊盘区的基板；配置成包括设置在所述基板的所述有源区中的栅电极和源电极的薄膜晶体管(TFT)；设置在所述薄膜晶体管(TFT)上的阳极电极；设置在所述阳极电极上的有机发光层；设置在所述有机发光层上的阴极电极；设置在与其上设置有所述阳极电极的层相同的层上并且连接至所述阴极电极的辅助电极；设置在所述基板的所述焊盘区中并且在与其上设置有所述栅电极的层相同的层上的信号焊盘；以及通过接触孔连接至所述信号焊盘的焊盘电极，其中所述焊盘电极设置在与其上设置有所述源电极的层相同的层上。2.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，其中所述焊盘电极由氧化速率比所述信号焊盘的顶部低的材料形成。3.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，其中所述源电极包括下部源电极和上部源电极，以及所述焊盘电极由单个层形成，所述单个层由与所述下部源电极的材料相同的材料形成。4.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，还包括设置在所述焊盘电极上的钝化层，所述钝化层包括向外暴露出所述焊盘电极的接触孔。5.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，其中所述焊盘电极的整个顶部暴露于外部。6.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，其中所述信号焊盘包括下部信号焊盘和上部信号焊盘，所述下部信号焊盘的氧化速率低于所述上部信号焊盘的氧化速率，以及所述上部信号焊盘的电阻小于所述下部信号焊盘的电阻。7.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，其中所述辅助电极包括：第一辅助电极；以及设置成覆盖所述第一辅助电极的顶表面和侧表面的第二辅助电极。8.根据权利要求7所述的有机发光显示装置，其中所述第一辅助电极包括第一下部辅助电极和第一上部辅助电极，以及所述第二辅助电极包括第二下部辅助电极、第二中间辅助电极和第二上部辅助电极。9.根据权利要求8所述的有机发光显示装置，其中所述第一下部辅助电极的氧化速率低于所述第一上部辅助电极的氧化速率，所述第一上部辅助电极的电阻小于所述第一下部辅助电极的电阻，所述第二下部辅助电极和所述第二上部辅助电极中的每一个的氧化速率低于所述第二中间辅助电极的氧化速率，以及所述第二中间辅助电极的电阻小于所述第二下部辅助电极和所述第二上部辅助电极中的每一个的电阻。10.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，还包...

【专利技术属性】
技术研发人员：金世埈，李晙硕，李昭廷，张真稀，任从赫，李在晟，
申请(专利权)人：乐金显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR