一种单晶硅的自动点胶固化装置及自动点胶固化方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种单晶硅的自动点胶固化装置及自动点胶固化方法，所述自动点胶固化装置包括单晶硅自动粘接机以及控制系统，所述单晶硅自动粘接机包括出料端，所述自动点胶固化装置还包括用以固化所述硅片的固化装置，所述固化装置包括与所述出料端相连接的初步固化装置、对经初步固化装置初步固化后的硅片进行二次固化的固化室以及将硅片自初步固化装置移动至固化室内的机械手系统；所述初步固化装置包括支架、安装在所述支架上的传送部以及驱动所述传送部的驱动装置，所述硅片自所述传送部靠近所述出料端的一端运行至所述传送部远离所述出料端的一端后初步固化完成；以实现硅片的全自动化生产，节约人力成本且避免硅片的损坏，造成损失。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种单晶硅粘接机，尤其涉及一种用于在无人化车间内实现单晶硅的自动点胶固化的自动点胶固化装置及自动点胶固化方法。
技术介绍
在生产制造硅片时，需要将用来固定单晶硅的晶硅夹具、树脂以及单晶硅通过胶水按顺序粘接起来。目前，一般将所述晶硅夹具、树脂以及单晶硅粘接都是通过人工来完成的，使得硅片的生产效率低、人工成本比较高，不利于实现硅片的大规模生产。同时，在所述硅片刚刚生产出来时，胶水尚未完全凝固，此时，粘接在树脂上的硅片很容易因外力（例如操作员工的误碰、搬运过程与其他物体的轻轻碰撞）的作用而歪斜，降低硅片的合格率。有鉴于此，有必要提供一种新的单晶硅的自动点胶固化装置及自动点胶固化方法，以解决上述问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种用于实现单晶硅的自动点胶固化装置及其操作方法。为实现上述专利技术目的，本专利技术采用如下技术方案：一种单晶硅的自动点胶固化装置，包括用于将晶硅夹具、树脂及单晶硅粘接在一起形成硅片的单晶硅自动粘接机以及控制系统，所述单晶硅自动粘接机包括出料端，所述自动点胶固化装置还包括用以固化所述硅片的固化装置，所述固化装置包括与所述出料端相连接的初步固化装置、对经初步固化装置初步固化后的硅片进行二次固化的固化室以及将硅片自初步固化装置移动至固化室内的机械手系统；所述初步固化装置包括支架、安装在所述支架上的传送部以及驱动所述传送部的驱动装置，所述硅片自所述传送部靠近所述出料端的一端运行至所述传送部远离所述出料端的一端后初步固化完成。作为本专利技术进一步改进的技术方案，所述自动点胶固化装置包括多个并列设置的单晶硅自动粘接机，每一所述单晶硅自动粘接机的出料端均与所述传送部相连接。作为本专利技术进一步改进的技术方案，所述传送部的延伸方向与所述出料端的延伸方向相垂直。作为本专利技术进一步改进的技术方案，所述自动点胶固化装置还包括位于所述初步固化装置与所述固化室中间的过渡台，所述机械手系统与所述控制系统通讯连接且所述机械手系统包括拆除经初步固化后的硅片上的晶硅夹具并将拆除所述晶硅夹具后的硅片移动至过渡台上的第一机械手以及将拆除晶硅夹具后的硅片自过渡台移送至固化室内的第二机械手。作为本专利技术进一步改进的技术方案，所述固化室内具有多个用以放置待二次固化的硅片的固化格，所述固化装置包括用以感测所述固化格否处于空置状态的第一感测器，所述第一感测器与所述控制系统通讯连接，所述控制系统根据所述第一感测器感测到的固化格的状态控制所述第二机械手。作为本专利技术进一步改进的技术方案，所述固化装置包括用以识别硅片二次固化是否完成的第二感测器，所述自动点胶固化装置还包括用以将二次固化后的硅片移出所述固化室的第三机械手；所述第二感测器以及所述第三机械手均与所述控制系统通讯连接。作为本专利技术进一步改进的技术方案，所述传送部由若干滚轮组成，所述驱动装置为驱动若干所述滚轮转动的电机。为实现上述专利技术目的，本专利技术还提供一种自动点胶固化装置的自动点胶固化方法，所述自动点胶固化方法包括如下步骤：S1：将晶硅夹具、树脂以及单晶硅粘接在一起形成硅片；S2: 初步固化2小时；S3：机械手系统拆除所述硅片上的晶硅夹具，并将所述硅片转移至固化室内进行二次固化4h。作为本专利技术进一步改进的技术方案，所述控制系统包括用以判断夹具二次固化是否完成的第二感测器，所述自动点胶固化装置还包括用以将二次固化后的硅片移出所述固化室的第三机械手；所述第二感测器以及所述第三机械手均与所述控制系统通讯连接；所述自动点胶固化方法还包括如下步骤：二次固化完成后，第三机械手自所述固化室内取出所述硅片。作为本专利技术进一步改进的技术方案，所述单晶硅自动粘接机包括单晶硅上料系统、晶硅夹具上料系统、树脂上料系统、操作系统以及出料系统，所述步骤S1具体包括如下步骤:S11：给所述单晶硅上料系统、晶硅夹具上料系统、树脂上料系统上料；S12：打开所述点胶系统，给所述晶硅夹具喷胶；S13：抓取一片树脂放置于所述晶硅夹具上；S14：打开所述点胶系统，给所述树脂上喷胶；S15：抓取一片单晶硅放置于所述树脂上。S16：所述硅片经出料系统输送至出料端。本专利技术的有益效果是：本专利技术的初步固化装置通过设置与出料端相连接的传送部，以使得经单晶硅自动粘接机粘接形成的硅片输送至出料端后直接进入传送部进行初步固化，在所述硅片移动至传送部远离所述出料端的一端后，初步固化完成；另外，本专利技术的自动点胶固化装置还设置有对初步固化后的硅片进行二次固化的固化室以及将经初步固化后的硅片转移至固化室内的机械手系统，以在所述硅片移动至所述传送部远离所述出料端的一端后，所述机械手系统自动将所述硅片移送至固化室，整个硅片的加工过程无需人工操作，以实现单晶硅的自动点胶与固化，即硅片的全自动化生产，节约了人力成本且能够避免在生产过程中由于人为的操作而导致刚生产出来的硅片的损坏，造成损失。附图说明图1是本专利技术的自动点胶固化方法的流程图。具体实施方式以下将结合附图所示的各实施方式对本专利技术进行详细描述，请参照图1所示，为本专利技术的较佳实施方式。本专利技术提供一种单晶硅的自动点胶固化装置，用以实现硅片的全自动化生产，从而降低人力成本且避免在生产过程中由于人为的操作而导致刚生产出来的硅片的损坏，造成损失。所述自动点胶固化装置包括自动将晶硅夹具、树脂、单晶硅粘接在一起形成硅片的单晶硅自动粘接机、对生产出来的所述硅片进行固化的固化装置以及与所述单晶硅自动粘接机、固化装置均通讯连接的控制系统。所述单晶硅自动粘接机包括晶硅夹具上料系统、树脂上料系统、单晶硅上料系统、操作系统以及出料系统。所述操作系统与所述晶硅夹具上料系统、树脂上料系统以及单晶硅上料系统相配合以实现所述晶硅夹具、树脂、单晶硅的自动粘接。所述晶硅夹具上料系统包括晶硅夹具上料架以及安装在所述晶硅夹具上料架上的传送装置。所述传送装置包括进料端，所述出料系统与所述进料端相对设置，且所述出料系统具有远离所述进料端的出料端，以使粘接形成的硅片能够经所述出料系统移送至所述出料端。所述树脂上料系统设置有用来放置所述树脂的树脂夹具，操作人员可以通过手工将树脂放置于所述树脂夹具内。所述操作系统包括点胶系统以及上料机械手系统。所述上料机械手系统包括轨道模块以及安装在所述轨道模块上的第一上料机械手，所述第一上料机械手能够沿所述轨道模块滑动以抓取树脂或者单晶硅。在使用单晶硅自动粘接机时，首先分别对所述晶硅夹具上料系统、树脂上料系统、单晶硅上料系统上料，即：将所述单晶硅放置于单晶硅上料系统的传送装置上，将晶硅夹具放置于晶硅夹具上料系统的进料端，将所述树脂放置于所述树脂夹具上。所述单晶硅在所述单晶硅上料系统的传送装置的作用下运动至该传送装置与所述操作系统的相交处，所述单晶硅夹具在晶硅夹具上料系统的传送装置的作用下运动至所述晶硅夹具上料系统与所述操作系统的相交处。然后，所述点胶系统向所述晶硅夹具喷胶，接着，所述第一上料机械手移动至所述树脂上料系统的正上方抓住一片树脂，并再移动至所述晶硅夹具的正上方，将树脂放置于所述晶硅夹具上，这样，树脂就粘接在所述晶硅夹具上。紧接着，所述点胶系统再向所述树脂喷胶，然后所述第一上料机械手移动到所述单晶硅的正上方抓住一片单晶硅，并将所述单晶硅放置在所述树脂上，这样，所述单晶硅与所述树脂粘接在一起，从而实现了晶本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单晶硅的自动点胶固化装置，包括用于将晶硅夹具、树脂及单晶硅粘接在一起形成硅片的单晶硅自动粘接机以及控制系统，所述单晶硅自动粘接机包括出料端，其特征在于：所述自动点胶固化装置还包括用以固化所述硅片的固化装置，所述固化装置包括与所述出料端相连接的初步固化装置、对经初步固化装置初步固化后的硅片进行二次固化的固化室以及将硅片自初步固化装置移动至固化室内的机械手系统；所述初步固化装置包括支架、安装在所述支架上的传送部以及驱动所述传送部的驱动装置，所述硅片自所述传送部靠近所述出料端的一端运行至所述传送部远离所述出料端的一端后初步固化完成。

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅的自动点胶固化装置，包括用于将晶硅夹具、树脂及单晶硅粘接在一起形成硅片的单晶硅自动粘接机以及控制系统，所述单晶硅自动粘接机包括出料端，其特征在于：所述自动点胶固化装置还包括用以固化所述硅片的固化装置，所述固化装置包括与所述出料端相连接的初步固化装置、对经初步固化装置初步固化后的硅片进行二次固化的固化室以及将硅片自初步固化装置移动至固化室内的机械手系统；所述初步固化装置包括支架、安装在所述支架上的传送部以及驱动所述传送部的驱动装置，所述硅片自所述传送部靠近所述出料端的一端运行至所述传送部远离所述出料端的一端后初步固化完成。2.如权利要求1所述的自动点胶固化装置，其特征在于：所述自动点胶固化装置包括多个并列设置的单晶硅自动粘接机，每一所述单晶硅自动粘接机的出料端均与所述传送部相连接。3.如权利要求2所述的自动点胶固化装置，其特征在于：所述传送部的延伸方向与所述出料端的延伸方向相垂直。4.如权利要求1所述的自动点胶固化装置，其特征在于：所述自动点胶固化装置还包括位于所述初步固化装置与所述固化室中间的过渡台，所述机械手系统与所述控制系统通讯连接且所述机械手系统包括拆除经初步固化后的硅片上的晶硅夹具并将拆除所述晶硅夹具后的硅片移动至过渡台上的第一机械手以及将拆除晶硅夹具后的硅片自过渡台移送至固化室内的第二机械手。5.如权利要求4所述的自动点胶固化装置，其特征在于：所述固化室内具有多个用以放置待二次固化的硅片的固化格，所述固化装置包括用以感测所述固化格是否处于空置状态的第一感测器，所述第一感测器与所述控制系统通讯连接，所述控制系统根据所述第一感测器感测到的固化格的状态控制所述第二机械手...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈皓然，
申请(专利权)人：苏州高登威科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32