用于将液体施加到表面上的定量给料头和定量给料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种用于将液体施加到表面上的定量给料头，用于将液体(8)施加到表面(9)特别是基片(10)的一个表面(9)上，包括接收来自一个液体容器(6)的液体(8)的一个分配通道(48)和将液体(8)施加到所述表面(9)上的多个计量套管(16)。还提供了具有前述的定量给料头(4)和容纳液体(8)的液体容器(6)的定量给料装置(2)，其还包括把液体(8)从液体容器(6)输送向所述定量给料头(4)的计量泵(18)。在一个实施例中，计量泵(18)是一个隔膜泵。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种用于把液体施加到表面上的定量给料头和定量给料装置。
技术介绍
在多种应用场合，需要把液体施加到表面上。例如，在半导体器件的制造中，需要把一种保护液体施加到基片的顶部上。以这种方式，可以在用处理介质对基片的底部进行处理之前，对基片的顶部进行防护，使之免受处理介质或来自处理介质的有害气体的影响。在这样的应用中经常希望的是，把液体精确定量地施加到表面上，以将其消耗保持在尽可能低的水平。这可能是因为例如液体是昂贵的、其必须精心制备、和/或它们难以弃置。在半导体器件的制造中，尤其要避免的是，如果较多的保护液被施加到基片上，基片上的一部分保护液体会流动或滴落到处理介质中。如果，例如，使用水作为保护液体，这样的滴落会稀释处理介质，从而加大化学品的消耗。此外，确保恒定的处理条件从而保证处理的可靠性的工艺复杂性加大了，该恒定的处理条件例如是处理介质的恒定组成。如果使用其他的液体作为保护液体，可能会导致处理介质的污染，而产生类似的且经常甚至更复杂的不可控后果。
技术实现思路
基于这样的背景，本技术的目的是提供一种定量给料头，其允许精确定量地施加液体。根据本技术的定量给料头包括一个分配通道，用于从液体容器接收液体。此外，该定量给料头具有多个用于将液体施加到表面上的计量套管。在一个排放管下，设置有一个计量套管，其两端开口。优选地，计量套管由不锈钢制成。借助计量套管，可以精确地计量被施加到表面的液体的量。特别是，它能够使计量套管成本有效地以这样的方式把适量的液体加到表面上，即使得该表面大部分或完全被该液体所覆盖且液体的滴落或流下在很大程度上甚至完全被避免。计量套管的另一优点是，在对它们的计量端的液体供应被中断之后，可以防止从定量给料头的滴落。这特别是由于，在没有外力作用在计量套管中的液体上的情况下，毛细现象的作用保持了计量套管中的液体。因此，可以通过使用计量套管，减小覆盖表面特别是完全覆盖表面所需的液体的用量。此外，能够减小或完全避免由于液体的滴落造成的处理介质的稀释和/或污染。此外，借助计量套管，液体以这样的方式被施加到表面上，即使得表面的外边缘不被液体润湿。由此，可使该液体由于其表面张力而被保留在表面上，而不流下来。此外，它使计量套管能够以这样的方式施加液体，即表面的宽度为例如1到2毫米的边缘部分不被液体润湿或覆盖。定量给料头包括连通到分配通道的多个支管，支管用于把液体从分配通道输送到计量套管。此外，液体经过支管而被提供到计量套管是有利的。此外，分配通道可以作为计量套管的公共液体贮存器。以这种方式，可以实现均匀的液体供给，从而实现液体在表面上的均匀施加。优选地，为每个计量套管设置有支管，该支管与相应的分配通道连通。支管因而可把液体导向计量套管。因此，由于毛细作用力，使得液体滴流能够有效地得到防止；有利的是，计量套管具有小于1毫米的内径。计量套管的内径优选为0.4毫米。为了尽可能均匀地把液体施加到表面上，进一步有利的是，大多数计量套管彼此等距离地布置。还有利的是，绝大部分计量套管彼此平行。此外，这些计量套管中的至少一个具有弯曲部分，尤其是为了在表面的边缘附近的区域均匀施加液体。有利的是，计量套管被布置成一行。例如，那些被设置在行的一端的计量套管每一个都具有一个弯曲部。计量套管的该弯曲部可以是弯向其他计量套管或弯离其他计量套管。此外，该弯曲部分可以被弯向表面的边缘。或者，计量套管的弯曲部分可以从该边缘弯离。此外，被设置在行的一端的计量套管与相邻的计量套管的间距比其余的计量套管的彼此间距要小。这使得能够例如在表面边缘区域施加比远离表面边缘的区域更多的液体。此外，支管可以垂直于分配通道。此外，有利的是，分支通道的横截面积不超过分配通道的横截面积的10％。这使得从分配通道向各个分支通道的液体排放缓慢，从而，单位时间内分支通道的液体流量大体相同。在此，通道的横截面面积可被理解为与通道的纵向方向相垂直的截面的面积。在本技术的优选实施例中，定量给料头包括多个收集腔。有利的是，至少两个且优选三个分支通道连通到每个收集腔。各收集腔使得单位时间里引入各分支通道的液体量相同。收集腔与分支通道也可被设置为其它角度。在本技术的一个优选实施例中，所述定量给料头包括多个输出通道。优选地，每个收集腔与至少两个且优选三个输出通道相连通。还有利的是，一个计量套管被设置在每个输出通道的截面中。具体地，一个流体入口端被设置在每个计量套管的输出通道中所述输出通道与相关联的收集腔相连接的区域中。此外，定量给料头可具有多个带螺纹的套筒。在本技术的一个有利的实施例中，带螺纹的套筒被拧在每个输出通道的截面范围中。另外，在每一个带螺纹的套筒的截面范围中焊接或粘接有一个计量套管。该带螺纹的套筒使得能够以成本有效的方式更换各个计量套管。此外，例如可以采用激光焊接法把计量套管焊接到带螺纹的套筒上。至少一个计量套管可以被设置成与一个带螺纹的套筒成一个角度。其中，可以理解的是，计量套管被倾斜布置，即不沿轴向平行于所述带螺纹的套筒的对称轴。通过转动带螺纹的套筒，可以改变该计量套管的朝向。此外，每个带螺纹的套筒可以具有一个领部。为了密封输出通道，可在各带螺纹的套筒的的领部上设置一个垫圈。在本技术的一个优选实施例中，定量给料头包括一个分配板。 有利的是，分配通道被布置在分配板中。还有利的是，分支通道被布置在所述分配板中。此外，定量给料头优选地包括一个盖板，特别是焊接或粘接到分配板的盖板。盖板具有用于引入液体到分支通道中的入口。有利的是，这两个板由塑料制成。这使得板的制造和/或处理有更好的成本效益。优选地，本技术涉及一种的定量给料头，以及包括该定量给料头的定量给料装置。优选地，所述定量给料装置包括一个液体容器。液体容器可盛放液体。还有利的是，定量给料装置包括一计量泵，用于从液体容器向定量给料头输送液体。在本技术的一个有利的实施例中，计量泵是隔膜泵。计量泵采用隔膜泵，与采用其他类型的泵相比，能使得输送到定量给料头的液体得到精确计量。在本技术的一个优选实施例中，水泵通过具有止回阀的管线与定量给料头相连通。借助该止回阀可以防止向计量泵的逆流。这又可以确保定量给料头的通道在泵不泵送液体时被液体所充满。止回阀还使得液体容器可被设置在相对于所述定量给料头的任意的高度。具体地，液体容器可被设置在例如定量给料头的下方。从而能够避免重力导致的进流。此外，该定量给料装置可以包括一个传感器单元，用于确定位置。使用从传感器单元检测到的位置信息，能够在表面达到相对于定量给料头的一个预定位置时开始向表面施加液体。在施加液体到表面的一个优选方法中，液体被从流体容器传送到定量给料头的分配通道。优选地，在所述方法中，液体是由多个计量套管施加到表面上。该表面尤其可以是一个基片的表面。进一步地，液体从定量给料的收集腔的几个分支通道送出。此外，该方法中，液体从分支通道流到计量套管。有利的是，液体从多个收集腔中的分支通道通过。还有利的是，液体被从收集室流到计量套管。以这种方式，由相同的收集腔供流的那些 计量套管单位时间内被提供的液体的量是相同的。这进而可以有利地使施加到液体的表面上的液体涂层变得均匀。适当地，液体被计量泵从流体容器输送到定量给料头。为了确保预定本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于将液体(8)施加到表面(9)上的定量给料头(4)，包括接收来自一个液体容器(6)的液体(8)的一个分配通道(48)和将液体(8)施加到所述表面(9)上的多个计量套管(16)。

【技术特征摘要】
2014.11.14 DE 202014105494.41.用于将液体(8)施加到表面(9)上的定量给料头(4)，包括接收来自一个液体容器(6)的液体(8)的一个分配通道(48)和将液体(8)施加到所述表面(9)上的多个计量套管(16)。2.根据权利要求1所述的用于将液体(8)施加到表面(9)上的定量给料头(4)，其特征在于连接到分配通道(48)的多个分支通道(50)，用于从分配通道(48)向计量套管(16)输送液体(8)。3.根据权利要求1或2所述的用于将液体(8)施加到表面(9)上的定量给料头(4)，其特征在于为每个计量套管(16)设置有与该计量套管(16)相连接的分支通道(50)。4.根据权利要求1所述的用于将液体(8)施加到表面(9)上的定量给料头(4)，其特征在于计量套管(16)具有小于1毫米的内径。5.根据权利要求1所述的用于将液体(8)施加到表面(9)上的定量给料头(4)，其特征在于大部分计量套管(16)彼此等距地设置。6.根据权利要求1所述的用于将液体(8)施加到表面(9)上的定量给料头(4)，其特征在于大多数计量套管(16)彼此平行地设置。7.根据权利要求1所述的用于将液体(8)施加到表面(9)上的定量给料头(4)，其特征在于至少一个计量套管(16)具有弯曲部(66，68)。8.根据权利要求1所述的用于将液体(8)施加到表面(9)上的定量给料头(4)，其特征在于计量套管(16)被设置成一行(46)。9.根据权利要求8所述的用于将液体(8)施加到表面(9)上的定量给料头(4)，其特征在于设置在行(46)的一端的每一个计量套管(16)都具有弯曲部(66，68)。10.根据权利要求8或9所述的用于将液体(8)施加到表面(9)上的定量给料头(4)，其特征在于设置在行(46)的一端的计量套管(16)与相邻的计量套管(16)的距离小于其他计量套管(16)彼此之间的距离。11.根据权利要求2和4至9中的任一项所述的用于将液体(8)施加到表面(9)上的定量给料头(4)，其特征在于分支通道(50)垂直于所述分配通道(48)。12.根据权利要求2和4至9中的任一项所述的用于将液体(8)施加到表面(9)上的定量给料头(4)，其特征在于分支通道(50)的横截面积不超过分配通道(48)的横截面积的10％。13.根据权利要求2和4至9中的任一项所述的用于将液体(8)施加到表面(9)上的定量给料头(4)，其特征在于每个收集腔(52)与至少两个分支通道(50)相连通。14.根据权利要求13所述的用于将液体(8)施加到表面(9)上的定量给料头(4)，其特征在于收集腔(52)与分支通道(50)相垂直。15.根据权利要求13所述的用于将液体(8)施加到表面(9)上的定量给料头(4)，其特征在于多个输出通道(54)中的至少两个输出通道(54)与一个收集腔(52)相连通。16.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：马库斯·尤赫伦，佛罗瑞安·考滕巴赫，托马斯·赫尔特，
申请(专利权)人：雷纳有限公司，
类型：新型
国别省市：德国;DE