【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及机械自动化领域,具体地,涉及一种PE扩散自动上下料装置。
技术介绍
太阳能电池片生产中硅片表面腐蚀制绒后再需扩散制结和PE(聚乙烯)镀膜,扩散制结是将硅片放在管式扩散炉的石英容器内,该过程需将每片硅片放入石英舟的载体上;PE镀膜是将硅片在等离子化学气相沉积设备(缩称PECVD)通入适量气体,气体经一系列化学反应和等离子体反应,在硅片表面形成固态薄膜。这二个过程中需对硅片多次转入不同载体。现有生产线由人工插片、卸片后进入下道工序,随着晶片尺寸的增大和工艺改进后单舟装载晶片数量的增加,生产过程需大量人员操作,工人劳动强度增大。
技术实现思路
本专利技术的目的在于针对上述现有技术的不足,提供了一种PE扩散自动上下料装置。为实现上述目的,本专利技术采用了如下技术方案:一种PE扩散自动上下料装置,该PE扩散自动上下料装置包括工作台,所述工作台上设置有传输轨道,所述传输轨的一端设置有定位装置,所述定位装置上方非接触地安装有支架,升降杆与所述支架垂直相连接,所述升降杆的上表面安装有机械臂,所述升降杆的底部安装有与所述支架相平行的水平轨道。进一步,所述传输轨道有三条, ...
【技术保护点】
一种PE扩散自动上下料装置,其特征在于:该PE扩散自动上下料装置包括工作台,所述工作台上设置有传输轨道,所述传输轨的一端设置有定位装置,所述定位装置上方非接触地安装有支架,升降杆与所述支架垂直相连接,所述升降杆的上表面安装有机械臂,所述升降杆的底部安装有与所述支架相平行的水平轨道。
【技术特征摘要】
1.一种PE扩散自动上下料装置,其特征在于:该PE扩散自动上下料装置包括工作台,所述工作台上设置有传输轨道,所述传输轨的一端设置有定位装置,所述定位装置上方非接触地安装有支架,升降杆与所述支架垂直相连接,所述升降杆的上表面安装有机械臂,所述升降杆的底部安装有与所述支架相平行的水平轨道。2.根据权利要求1所述的PE扩散自动上下料装置,其特征在于:所述传输轨道有三条,且每条所述传输轨道相互平行。3.根据权利要求2所述的PE扩散自动上下料装置,其特征在于:所述定位装置为三个,分别固定在三条传输轨道上;其中每个所述定位装置包括前夹臂、后夹臂和定位框,所述前夹臂和所述后夹臂安装在每条所述传输轨道的两侧,所述定位框安装在每条所述传输轨道上。4.根据权利要求1所述的PE扩散自动上下料装置,其特征在于:所述升降杆为两个,且所述两个升降杆在支架的长度方向上相互平行设置,所述机械臂为两个,每个所述升降杆上各安装有一个所述机械臂。5.根据权利要求1所述的PE扩散自动上下料装置,其特征在于:每个所述机械臂包括底座,所述底座的垂直下端依次安装有连接件和抓臂,所述底座和所述连接件安装有气管。6.根据权利要求5所述的PE扩散自动上下料装置,其特征在于:所述抓臂上安装有多个平行排列的梳齿,所述多个梳齿垂直地与所述连接件相连接。7.根据权利要求6所述的PE扩散自动上下料装置,其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员:毛国清,陆佳佳,
申请(专利权)人:昊诚光电太仓有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。