【技术实现步骤摘要】
本技术涉及连续式真空磁控溅射镀膜玻璃生产线,具体涉及一种连续式真空磁控溅射镀膜玻璃生产线的边部气体隔离组件。
技术介绍
连续式真空磁控溅射镀膜玻璃生产线包括多级镀膜室,相邻镀膜室之间的气体隔离是非常重要的结构,一方面是为了防止镀膜区气压不均而造成气流窜动,另一方面是为阻止相邻阴极位工艺镀膜时工艺气体和溅射物的互窜而造成污染。边部气体隔离组件是气体隔离的一种,它安装在相邻镀膜室之间的隔板上的基板通道处。现有的边部气体隔离装置包括一边部隔离板,该边部隔离板是通过角钢与隔板固定连接的,此种结构角钢和边部隔离板的高度不好调节、安装困难,同时隔板上要加工很多螺纹孔,加工量较大。
技术实现思路
本技术目的是提供一种结构简单安装方便的真空镀膜玻璃生产线的边部气体隔离组件。为达到上述目的,本技术采用的技术方案是:一种真空镀膜玻璃生产线的边部气体隔离组件,包括一边部隔离板以及位于边部隔离板下的两支撑件,所述支撑件是一薄板折弯形成的长条体,其截面包括一水平横向部以及由水平横向部一侧向下折弯延伸的竖向部;所述两支撑件左右对称设置,其水平横向部与边部隔离板固定连接,而两支撑件的竖向部之间的空间供容纳夹持真空镀膜玻璃生产线的相邻镀膜室之间的隔板;并且,所述边部隔离板的中部设有沉孔,该沉孔内螺纹连接有一调节螺钉,该调节螺钉的底端用于抵压接触于隔板上的基板通道的底面上。上述方案中,所述支撑件的水平横向部与边部隔离板通过螺栓与螺母固定连接。上述方案中,所述支撑件的竖向部的底端折弯出一斜角,以使两支撑件之间的空间的底端形成一喇叭口。由于上述技术方案的应用,本技术具有以下优点:本技术结构简单, ...
【技术保护点】
一种真空镀膜玻璃生产线的边部气体隔离组件,包括一边部隔离板(1)以及位于边部隔离板(1)下的两支撑件(2),其特征在于:所述支撑件(2)是一薄板折弯形成的长条体,其截面包括一水平横向部(21)以及由水平横向部(21)一侧向下折弯延伸的竖向部(22);所述两支撑件(2)左右对称设置,其水平横向部(21)与边部隔离板(1)固定连接,而两支撑件(2)的竖向部(22)之间的空间供容纳夹持真空镀膜玻璃生产线的相邻镀膜室之间的隔板(6);并且,所述边部隔离板(1)的中部设有沉孔,该沉孔内螺纹连接有一调节螺钉(3),该调节螺钉(3)的底端用于抵压接触于隔板(6)上的基板通道(61)的底面上。
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜玻璃生产线的边部气体隔离组件,包括一边部隔离板(1)以及位于边部隔离板(1)下的两支撑件(2),其特征在于:所述支撑件(2)是一薄板折弯形成的长条体,其截面包括一水平横向部(21)以及由水平横向部(21)一侧向下折弯延伸的竖向部(22);所述两支撑件(2)左右对称设置,其水平横向部(21)与边部隔离板(1)固定连接,而两支撑件(2)的竖向部(22)之间的空间供容纳夹持真空镀膜玻璃生产线的相邻镀膜室之间的隔板(6);并且,所述边部隔离板(1)...
【专利技术属性】
技术研发人员:臧晓良,李险峰,罗雨潇,刘宇,张山山,邱宏,
申请(专利权)人:中建材光电装备太仓有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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