一种电泳机用超声槽制造技术

本实用新型专利技术提供了一种电泳机用超声槽，包括外槽，所述外槽内部设置有内槽，所述内槽的底部外壁上设置有若干个均匀布置的超声振子，所述内槽内部设置有若干个石英杯底座，所述内槽壁上设置有进水口和内槽出水口，所述进水口与外部水源连通，所述内槽出水口通向外槽内，所述外槽壁上设置有溢流排水口，所述溢流排水口通向外槽外部。本实用新型专利技术所述的电泳机用超声槽可使超声振子对电泳混合液进行震动，使得玻璃粒子尽可能的悬浮在石英杯中，有效避免了玻璃粒子下沉堆积的现象，另外进水口和溢流排水口的配合可实现水质循环，避免了水质因震动产生的温度升高。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于半导体设备制造领域，尤其是涉及一种电泳机用超声槽。
技术介绍
目前，国内电泳液的配比为：采用丙酮液作为悬蚀介质，采用硝酸或氨水作为电解质，这种电泳液在电泳过程中，玻璃粉主要受两个力作用，一个玻璃粉自身向下的重力，一个电场的作用产生的电场力这样合成力是倾斜向下，使玻璃微粒迅速下滑，堆积在下部，影响玻璃粉的整体均匀性。
技术实现思路
有鉴于此，本技术旨在提出一种电泳机用超声槽，以解决玻璃粉不能实现整体均匀性的问题。为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的：一种电泳机用超声槽，包括外槽，所述外槽内部设置有内槽，所述内槽的底部外壁上设置有若干个均匀布置的超声振子，所述内槽内部设置有若干个石英杯底座，所述内槽壁上设置有进水口和内槽出水口，所述进水口与外部水源连通，所述内槽出水口通向外槽内，所述外槽壁上设置有溢流排水口，所述溢流排水口通向外槽外部。进一步的，所述超声振子的个数为13个，分三列均匀固定在内槽底部外壁上。进一步的，所述进水口设置于所述内槽的侧壁上，所述内槽出水口设置于所述内槽的底面上。进一步的，所述外槽底部设置有若干个地脚支撑。进一步的，所述外槽内部设置有支撑所述内槽的内槽固定件。进一步的，所述外槽壁上设置有出线孔。相对于现有技术，本技术所述的电泳机用超声槽具有以下优势：通过采用上述技术方案，可使超声振子对电泳混合液进行震动，使得玻璃粒子尽可能的悬浮在石英杯中，有效避免了玻璃粒子下沉堆积的现象，另外进水口和溢流排水口的配合可实现水质循环，避免了水质因震动产生的温度升高。附图说明构成本技术的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：图1为本技术的主视图；图2为本技术的侧视图；图3为本技术的俯视图。附图标记说明：1-外槽，2-内槽，3-超声振子，4-进水口，5-内槽出水口，6-溢流排水口，7-内槽固定件，8-石英杯底座，9-地脚支撑，10-出线孔。具体实施方式需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水
平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。如图1-3所示，一种电泳机用超声槽，包括外槽1，所述外槽1内部设置有内槽2，进一步的，所述外槽1内部设置有支撑所述内槽2的内槽固定件7；所述内槽2的底部外壁上设置有若干个均匀布置的超声振子3，进一步的，所述超声振子3的个数为13个，分三列均匀固定在内槽2底部外壁上；所述内槽2内部设置有若干个石英杯底座8，用来放置石英杯，石英杯中盛放调和液，所述内槽壁上设置有进水口4和内槽出水口5，所述进水口4与外部水源连通，所述内槽出水口5通向外槽内，所述外槽壁上设置有溢流排水口6，所述溢流排水口6通向外槽外部，进一步的，所述进水口4设
置于所述内槽2的侧壁上，所述内槽出水口5设置于所述内槽2的底面上；进一步的，所述外槽1底部设置有若干个地脚支撑9，所述外槽壁上设置有出线孔10，可用作线的进出口；本实例的工作过程：首先选择一定的超声功率，在进行超声之前，需要水泵提供水源作为介质的流动，超声开始后，超声振子3震动专用石英烧杯中的调和液，使得玻璃粒子尽可能的悬浮在石英杯中，避免玻璃粒子的下沉堆积，在超声过程中，由于超声振子3的作用，水介质的温度会升高，在此需要一个水的循环，内槽2提供放置石英杯，外槽1用来内槽2外溢水的排放，通过进水口4、内槽排水口5和溢流排水口6的配合，达到水介质的循环，可使水介质的温度降下来。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电泳机用超声槽，其特征在于：包括外槽(1)，所述外槽(1)内部设置有内槽(2)，所述内槽(2)的底部外壁上设置有若干个均匀布置的超声振子(3)，所述内槽(2)内部设置有若干个石英杯底座(8)，所述内槽壁上设置有进水口(4)和内槽出水口(5)，所述进水口(4)与外部水源连通，所述内槽出水口(5)通向外槽内，所述外槽壁上设置有溢流排水口(6)，所述溢流排水口(6)通向外槽外部。

【技术特征摘要】
1.一种电泳机用超声槽，其特征在于：包括外槽(1)，所述外槽(1)内部设置有内槽(2)，所述内槽(2)的底部外壁上设置有若干个均匀布置的超声振子(3)，所述内槽(2)内部设置有若干个石英杯底座(8)，所述内槽壁上设置有进水口(4)和内槽出水口(5)，所述进水口(4)与外部水源连通，所述内槽出水口(5)通向外槽内，所述外槽壁上设置有溢流排水口(6)，所述溢流排水口(6)通向外槽外部。2.根据权利要求1所述的电泳机用超声槽，其特征在于：所述超声振子(3)的个数为13个，分三列...

【专利技术属性】
技术研发人员：靳立辉，张学强，王国瑞，高树良，赵晓光，韩璐，
申请(专利权)人：天津中环半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12