【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种用于多晶硅还原系统的接地检测柜。
技术介绍
在采用西门子法进行还原多晶硅时,由于硅棒为带电体,炉体为金属物质,因此炉体要和硅棒进行绝缘。而在多晶硅生长的过程中,可能会接触到还原炉壁,从而使绝缘体上附着一层多晶硅粉末,由于多晶硅为半导体,电阻率会随着温度的升高急剧降低,因此对绝缘有破坏作用。而温度又决定了多晶硅生长快慢,直接影响到多晶硅生产厂商的经济利益,所述依靠传统的人工测量已经无法满足生产的需要。因此,研制出一种检测速度快,检测精度高的接地检测柜,便成为业内人士亟需解决的问题。
技术实现思路
针对相关技术中的上述技术问题,本技术提出了一种用于多晶硅还原系统的接地检测柜,解决了上述技术问题。为实现上述技术目的,本技术的技术方案是这样实现的:一种用于多晶硅还原系统的接地检测柜,包括柜体,所述柜体内设置有检测电阻,所述检测电阻的一端通过线束与多晶硅硅棒相连接,且该检测电阻的另一端接地,所述检测电阻通过互感应线圈连接有互感器,所述互感器通过线束连接有检测电路。进一步地,所述检测电路通过线束连接人机交互系统。本技术的有益效果:将漏电参数记录上传给人机交互系统,避免了繁琐的测量,降低了人工成本;系统智能化,自动甄别漏电类型,并将存在隐患的问题以报警形式进行提示,如果该问题继续恶化并且达到了极限值,系统会切断电源以保护人身和设备的安全。因此在系统操作上大大的进行了简化;该设备可以辅助化工工艺人员查找工艺问题,补缺工艺漏洞,因此提高了生产效率。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下 ...
【技术保护点】
一种用于多晶硅还原系统的接地检测柜,包括柜体,其特征在于,所述柜体内设置有检测电阻(1),所述检测电阻(1)的一端通过线束与多晶硅硅棒相连接,且该检测电阻(1)的另一端接地,所述检测电阻(1)通过互感应线圈连接有互感器(2),所述互感器(2)通过线束连接有检测电路(3)。
【技术特征摘要】
1. 一种用于多晶硅还原系统的接地检测柜,包括柜体,其特征在于,所述柜体内设置有检测电阻(1),所述检测电阻(1)的一端通过线束与多晶硅硅棒相连接,且该检测电阻(1)的另一端接地,所述检测电阻(1)通...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴小鸣,罗宇,
申请(专利权)人:北京三义锦程电气科技有限责任公司,
类型:新型
国别省市:北京;11
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