连续式成膜装置的成膜准备方法和连续式成膜装置以及搬运器制造方法及图纸
本发明专利技术提供一种可缩短成膜准备所需的作业时间的低成本的连续式成膜装置的成膜制备方法，其在排列设置多个蒸发源(21、22、23)的真空室(11)内，沿各蒸发源排列设置的方向传送基板(S)，在基板上形成多层膜之前，在基板上形成由各蒸发源提供的蒸发材料的单层膜，制备测量用试样。基板安装在搬运器(SC1)上，从与上游侧的蒸发源相对的位置开始连续或间断地传送到与下游侧的蒸发源相对的位置，使用包括可有选择地分别遮挡基板的一面的规定范围的多个遮挡装置(341、342、343)的装置作为搬运器，在通过搬运器从上游侧向下游侧传送基板时，依次改变各遮挡装置各自遮挡的规定范围，在单个基板的面内分别形成各蒸发源蒸发的蒸发材料的单层膜。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】201480067225
【技术保护点】
一种连续式成膜装置的成膜准备方法，其包含：在排列设置多个蒸发源的真空室内，沿各蒸发源排列设置的方向传送待处理基板，在基板上形成多层膜之前，在基板上形成由各蒸发源提供的蒸发材料的单层膜并制备测量用试样的工序，所述成膜准备方法的特征在于：基板安装在搬运器上，从与上游侧的蒸发源相对的位置开始连续或间断地传送到与下游侧的蒸发源相对的位置，使用包括可有选择地分别遮挡基板的一面的规定范围的多个遮挡装置的装置作为搬运器，在通过搬运器从上游侧向下游侧传送基板时，依次改变各遮挡装置各自遮挡的规定范围，在单个基板的面内分别形成由各蒸发源提供的蒸发材料的单层膜。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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