具有旋转气体喷头的旋转卡盘制造技术

本发明专利技术涉及具有旋转气体喷头的旋转卡盘。一种用于处理晶片状物件的装置包括：旋转卡盘，其用于将晶片状物件保持在预定的方位；和旋转喷头，其用于在晶片状物件由所述旋转卡盘保持时供给处理气体至晶片状物件的表面上。所述旋转喷头包括出口板，所述出口板具有在其中心区域和外围区域中的每一个中形成的多个开口。提供处理气体馈送源以供给处理气体到气体分配室。所述气体分配室与形成在所述喷头中的多个开口流体连通。

【技术实现步骤摘要】
201610074534

【技术保护点】
一种用于处理晶片状物件的装置，其包括：旋转卡盘，其用于将晶片状物件保持在预定的方位，旋转喷头，其用于在晶片状物件由所述旋转卡盘保持时供给处理气体至该晶片状物件的表面上，所述旋转喷头包括出口板，所述出口板具有在其中心区域和外围区域中的每一个中形成的多个开口，以及处理气体馈送源，其用于供给处理气体到气体分配室，所述气体分配室与形成在所述喷头中的多个开口流体连通。

【技术特征摘要】
2015.02.05 US 14/615,0991.一种用于处理晶片状物件的装置，其包括：旋转卡盘，其用于将晶片状物件保持在预定的方位，旋转喷头，其用于在晶片状物件由所述旋转卡盘保持时供给处理气体至该晶片状物件的表面上，所述旋转喷头包括出口板，所述出口板具有在其中心区域和外围区域中的每一个中形成的多个开口，以及处理气体馈送源，其用于供给处理气体到气体分配室，所述气体分配室与形成在所述喷头中的多个开口流体连通。2.根据权利要求1所述的装置，其中所述出口板被固定到所述旋转卡盘，并覆盖其中心区域。3.根据权利要求1所述的装置，其中所述出口板与所述旋转卡盘的至少环状部分形成为一体。4.根据权利要求1所述的装置，其中所述多个开口中的每一个具有范围从0.3至2.0平方毫米，优选从0.5至1.5平方毫米，更优选从0.7至1.2平方毫米的横截面面积。5.根据权利要求1所述的装置，其中所述多个开口包括至少50个所述开口，并且优选至少80个所述开口。6.根据权利要求1所述的装置，其中所述多个开口是倾斜的，以便将从所述气体分配室通过所述多个开口输送的流体径向地朝所述旋转卡盘的外部引导。7.根据权利要求1所述的装置，其中所述出口板是圆顶形的，使得在晶片状物件定位于所述旋转卡盘上时，所述出口板的中心区域相比于其外围区域更远离晶片状物件。8.根据权利要求1所述的装置，其中所述出口板由陶瓷材料形成。9.根据权利要求1所述的装置，其中所述旋转卡盘布置在室内。10.根据权利要求8所述的装置，其中所述室是封闭的室。11.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：安德烈亚斯·格雷森纳，马库斯·容克，巴斯卡尔·班达拉普，
申请(专利权)人：朗姆研究公司AG，
类型：发明
国别省市：奥地利;AT