一种LIBS光谱探测及显微成像的多功能系统技术方案

本发明专利技术涉及一种LIBS光谱探测及显微成像的多功能系统，其主要特征在于：将一片施密特校正板插入主镜与被测物体的光路中，施密特校正板的一面设计成高次非球面，施密特校正板最主要的作用是校正主次镜产生的球差，其不仅使得激光聚焦光斑直径变得更小，还可以使得该LIBS系统具有光谱探测和显微成像的双重功能。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种LIBS光谱探测及显微成像的多功能系统，包括：激光器(1)，扩束模块(2)，反射式显微系统，像差校正板(7)，耦合透镜组(9)，光纤探测模块(11)，成像探测器(12),其特征在于：激光器(1)发射出1064nm的激光，经扩束模块(2)扩束后，由反射镜(3)和偏置于主镜(5)和次镜(6)之间的第一分色片(4)进入反射式显微系统，之后经像差校正板(7)聚焦到被测物体(8)上，被测物体(8)受到激光照射后产生等离子体光谱，等离子体光谱经主镜(5)、次镜(6)及第一分色片(4)进入耦合透镜组(9)，通过耦合透镜组(9)之后到达偏置于耦合透镜组(9)之后的第二分色片(10)，第二分色片(10)将光束分成两路，一路光进入光谱探测模块(11)进行光谱探测，另一路光进入成像探测器(12)进行显微成像。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：姜守望，王欣，万金龙，何志平，舒嵘，王建宇，
申请(专利权)人：中国科学院上海技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：上海;31