一种用于SiCl4蒸汽输送的管道结构制造技术

本发明专利技术创造提供了一种用于SiCl4蒸汽输送的管道结构，包括输送管、以及输送管外部缠绕有电阻丝的管状支架、以及管状支架外侧套装的波纹管；所述波纹管与所述管状支架之间、以及所述管状支架与所述输送管之间都填充有硅油，所述管状支架上设有若干供硅油流动的通孔；所述波纹管外侧设有保温层，在该保温层外侧设有保护层。所述管状支架采用表面均匀分布有若干所述通孔的四氟乙烯管。所述管状支架的内径比所述输送管的外径大1-5mm。将电阻丝缠绕在管状支架上，与输送管有效隔离，避免电阻丝直接与金属管道接触，同时在波纹管与输送管之间填充硅油，以油浴的形式对输送管进行加热，使得输送管温度分布均匀性大幅提升，使用寿命更长。

【技术实现步骤摘要】
201610224841

【技术保护点】
一种用于SiCl4蒸汽输送的管道结构，其特征在于：包括输送管、以及输送管外部缠绕有电阻丝的管状支架、以及管状支架外侧套装的波纹管；所述波纹管与所述管状支架之间、以及所述管状支架与所述输送管之间都填充有硅油，所述管状支架上设有若干供硅油流动的通孔；所述波纹管外侧设有保温层，在该保温层外侧设有保护层。

【技术特征摘要】
1.一种用于SiCl4蒸汽输送的管道结构，其特征在于：包括输送管、以
及输送管外部缠绕有电阻丝的管状支架、以及管状支架外侧套装的波纹管；
所述波纹管与所述管状支架之间、以及所述管状支架与所述输送管之间都填
充有硅油，所述管状支架上设有若干供硅油流动的通孔；所述波纹管外侧设
有保温层，在该保温层外侧设有保护层。
2.根据权利要求1所述的一种用于SiCl4蒸汽输送的管道结构，其特征
在于：所述管状支架采用表面均匀分布有若干所述通孔的四氟乙烯管。
3.根据权利要求1或2所述的一种用于SiCl4蒸汽输送的管道结构，其
特征在于：所述管状支架的内径比所述输送管的外径大1-5mm。
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【专利技术属性】
技术研发人员：沈小平，钱昆，向德成，田锦成，何炳，徐震玥，满小忠，
申请(专利权)人：江苏通鼎光棒有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32