一种基于卷曲薄膜的光学氢气检测器及其制备方法技术

本发明专利技术属于微纳器件技术领域，具体为一种基于卷曲薄膜的光学氢气检测器及其制备方法。本发明专利技术制备方法包括：在干净基片上光刻图形；沉积具有内应力的金属薄膜和氢气体积膨胀效应的金属薄膜；选择性腐蚀薄膜与基片间的牺牲层得到卷曲薄膜。本发明专利技术的光学氢气检测器利用通入氢气后薄膜卷曲的曲率半径增加或由卷曲形态转变为平展状态引起肉眼可见的颜色变化，实现对氢气的检测功能。本发明专利技术在检测过程中没有电流传输，更加安全，能够不附加能源及设备对氢气进行实时监测并将结果直观反映出来；制备方法较为简单，可适用于工业生产中，具有实际应用意义。

【技术实现步骤摘要】
201610128635

【技术保护点】
一种基于卷曲薄膜的光学氢气检测器的制备方法，其特征在于具体步骤如下：(1)清洗基片；(2)在基片上光刻图形；(3)使用薄膜沉积方法在基片上沉积具有内应力的金属薄膜；(4)使用薄膜沉积方法在基片上沉积具有氢气体积膨胀效应的金属薄膜；(5)选择性腐蚀光刻胶得到卷曲薄膜。

【技术特征摘要】
1.一种基于卷曲薄膜的光学氢气检测器的制备方法，其特征在于具体步骤如下：
(1)清洗基片；
(2)在基片上光刻图形；
(3)使用薄膜沉积方法在基片上沉积具有内应力的金属薄膜；
(4)使用薄膜沉积方法在基片上沉积具有氢气体积膨胀效应的金属薄膜；
(5)选择性腐蚀光刻胶得到卷曲薄膜。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于步骤(1)中所用的基片为硅片、玻璃片
或石英片的其中一种。
3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于步骤(3)中所用的具有内应力的金
属为钛、铬、铁、钴、镍、铜、铝的单一组...

【专利技术属性】
技术研发人员：梅永丰，胥博瑞，
申请(专利权)人：复旦大学，
类型：发明
国别省市：上海;31