【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光谱采集，特别涉及测量光室的压力自动控制的真空紫外光谱的采集装置。
技术介绍
真空紫外波段的光谱(波长200nm以下)在空气中传播时，会被空气中的氧气、水蒸气等物质吸收而无法传播，其采集、测量必须在真空系统或惰性气体环境下进行。采用真空系统的方式对光谱进行采集、测量，需要将系统抽真空，这就使得光谱仪必须具有很高的结构强度，且还会带来功耗、噪音等诸多不便之处。若采用惰性气体环境，一般采用吹扫或循环的方式，吹扫是在光谱仪工作过程中一直用惰性气体吹扫光路空间，此方式需要大量的惰性气体，浪费多、成本高，吹扫时间长，启动慢；循环是在光室内部充满惰性气体并使之循环，但此方式容易引起压力变化，进而引起折射率的变化，导致仪器光谱漂移严重，稳定性降低，测量结果准确性降低。为解决仪器内部压力变化问题，一般采用压力补偿方式，即当内部压力下降时，补充外部气源；当内部压强升高时，打开泄压阀，排出多余气体。此种方式受制于外部气源且外所述外部气源极易受到污染。
【技术保护点】
一种真空紫外光谱采集装置，包括测量光室，其特征在于：所述光谱采集装置进一步包括：循环单元，所述循环单元与测量光室相连通，并与所述测量光室构成循环气路；气路选择单元，所述气路选择单元设置在所述循环气路上，使所述测量光室选择性地连通循环气路和/或恒压单元；恒压单元，所述恒压单元设置在与所述循环气路相连的气体支路上；压力传感器，所述压力传感器用于监测测量光室的压力；控制单元，所述控制单元根据所述测量光室的压力变化调节所述气路选择单元。
【技术特征摘要】
1.一种真空紫外光谱采集装置，包括测量光室，其特征在于：所述光谱采
集装置进一步包括：
循环单元，所述循环单元与测量光室相连通，并与所述测量光室构成循环
气路；
气路选择单元，所述气路选择单元设置在所述循环气路上，使所述测量光
室选择性地连通循环气路和/或恒压单元；
恒压单元，所述恒压单元设置在与所述循环气路相连的气体支路上；
压力传感器，所述压力传感器用于监测测量光室的压力；
控制单元，所述控制单元根据所述测量光室的压力变化调节所述气路选择
单元。
2.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：王庆祥，吕全超，洪波，吴锋明，俞晓峰，胡建坤，喻正宁，韩双来，
申请(专利权)人：聚光科技杭州股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33
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