一种冷却水循环系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种冷却水循环系统，用于对光刻机内部的冷却系统提供循环冷却水，包括进水阀、管接在进水阀一端的流量计、管接在流量计另一端的过滤器和管接在过滤器另一端的出水阀，还包括电磁阀，所述电磁阀管接在所述进水阀的另一端。本实用新型专利技术的冷却水循环系统正常工作时，冷却水依次经过电磁阀、进水阀、流量计、过滤器、泄压阀和出水阀，形成整个冷却水循环，当该系统中任何一处发生漏水时，便触发漏水检知继电器，进而关闭电磁阀，切断系统的水源，该系统能够有效及时的切断水源，避免漏水越积越多，进而损坏设备情况的发生，大大提高了设备的安全性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及水循环
，尤其是一种冷却水循环系统。
技术介绍
在半导体处理工厂内，光刻机内部需保持精确的恒温状态，它是通过冷却水的空调系统来实现的。现有的冷却水循环系统主要包括进水阀、流量计、过滤器和出水阀等组成，整套管路中任何一个环节出现漏水，都会触发空调内部的漏水检知继电器，从而切断空调电源，使空调停止工作，但是漏水点可能会继续漏水，若发现不及时，随着积水越来越多，空调内部诸如压缩机、变压器等重要元器件将受到损坏，设备安全性得不到保障，造成巨大损失。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是:为了克服上述缺陷，本技术提供一种能够有效防止系统内部漏水、避免损失及提高安全性的冷却水循环系统。本技术解决其技术问题所要采用的技术方案是:一种冷却水循环系统，用于对光刻机内部的冷却系统提供循环冷却水，包括进水阀、管接在进水阀一端的流量计、管接在流量计另一端的过滤器和管接在过滤器另一端的出水阀，还包括电磁阀，所述电磁阀管接在所述进水阀的另一端。进一步地，该系统还包括与电磁阀电连接的漏水检知继电器，当系统的管道中任何一处发生漏水都会触发漏水检知继电器，从而切断电磁阀的电源。进一步地，该系统还包括旁通阀，所述旁通阀的一端管接在电磁阀的出水口，旁通阀的另一端管接在出水阀的出水口。进一步地，所述过滤器和出水阀之间还管接有泄压阀，所述泄压阀可释放管道压力，便于更换过滤器。本技术的有益效果是:本技术提供的一种冷却水循环系统，工作时，冷却水依次经过电磁阀、进水阀、流量计、过滤器、泄压阀和出水阀，形成整个冷却水循环，当该系统中任何一处发生漏水时，便触发漏水检知继电器，进而关闭电磁阀，切断系统的水源。本技术的冷却水循环系统在发生漏水时，能够有效及时的切断水源，避免漏水越积越多，进而损坏设备情况的发生，大大提高了设备的安全性。【附图说明】下面结合附图和实施例对本技术作进一步说明。图1是本技术的一种冷却水的循环系统的实施例一中的结构示意图；图2是本技术的一种冷却水的循环系统的实施例二中的结构示意图。图中:1、进水阀，2、流量计，3、过滤器，4、出水阀，5、电磁阀，6、旁通阀，7、漏水检知继电器，8、泄压阀。【具体实施方式】现在结合附图对本技术作详细的说明。此图为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。实施例一请参照图1所示，本技术的一种冷却水的循环系统，用于对光刻机内部的冷却系统提供循环冷却水，包括进水阀1、管接在进水阀I 一端的流量计2、管接在流量计2另一端的过滤器3和管接在过滤器3另一端的出水阀4，还包括电磁阀5，所述电磁阀5管接在所述进水阀I的另一端。该系统还包括与电磁阀5电连接的漏水检知继电器7，当系统的管道中任何一处发生漏水都会触发漏水检知继电器7，从而关闭电磁阀5的电源，切断水源。下面结合图1说明本技术的一种冷却水的循环系统的工作过程:当该系统中没有发生漏水情况时，电磁阀5、进水阀I和出水阀4为常开状态，此时，冷却水依次通过电磁阀5、进水阀1、流量计2、过滤器3和出水阀4，最终到达空调的冷却系统，形成该系统的水循环过程；当该系统中的任何一处发生漏水时，此时漏水检知继电器便会被触发，关闭电磁阀5的电源，进而切断进入该系统中的水源，保证设备不被漏水破坏。当过滤器3发生故障需要更换，又不能停止设备运行的时候，此时旁通阀6开启，进水阀I关闭，冷却水从旁通阀6进入空调的冷却系统。实施例二请参照图2所示，本实施例与实施例一的主要区别就在于，为了释放管道压力，便于更换过滤器3，所述过滤器3和出水阀4之间还管接有泄压阀8，具体的，通过泄压阀8释放管道内的压力，从而更换过滤器3。该系统还包括旁通阀6，所述旁通阀6的一端管接在电磁阀5的出水口，旁通阀6的另一端管接在出水阀4的出水口。当过滤器3发生故障需要更换，又不能停止设备运行的时候，此时旁通阀6开启，进水阀I关闭，冷却水从旁通阀6进入空调的冷却系统。根据上述工作过程，本技术的一种冷却水循环系统，在发生漏水时，能够有效及时的切断水源，避免漏水越积越多，进而损坏设备情况的发生，大大提高了设备的安全性。以上述依据本技术的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关的工作人员完全可以在不偏离本技术的范围内，进行多样的变更以及修改。本项技术的技术范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。【主权项】1.一种冷却水循环系统，用于对光刻机内部的冷却系统提供循环冷却水，包括进水阀(I)、管接在进水阀(I) 一端的流量计(2)、管接在流量计(2)另一端的过滤器(3)和管接在过滤器(3)另一端的出水阀(4)，其特征在于:还包括电磁阀(5)，所述电磁阀(5)管接在所述进水阀(I)的另一端。2.如权利要求1所述的一种冷却水循环系统，其特征在于:该系统还包括与电磁阀(5)电连接的漏水检知继电器(7)，当系统的管道中任何一处发生漏水都会触发漏水检知继电器(7)，从而切断电磁阀(5)的电源。3.如权利要求2所述的一种冷却水循环系统，其特征在于:该系统还包括旁通阀(6)，所述旁通阀(6)的一端管接在电磁阀(5)的出水口，旁通阀(6)的另一端管接在出水阀(4)的出水口。4.如权利要求3所述的一种冷却水循环系统，其特征在于:所述过滤器(3)和出水阀(4)之间还管接有泄压阀(8)，所述泄压阀(8)可释放管道压力，便于更换过滤器(3)。【专利摘要】本技术提供一种冷却水循环系统，用于对光刻机内部的冷却系统提供循环冷却水，包括进水阀、管接在进水阀一端的流量计、管接在流量计另一端的过滤器和管接在过滤器另一端的出水阀，还包括电磁阀，所述电磁阀管接在所述进水阀的另一端。本技术的冷却水循环系统正常工作时，冷却水依次经过电磁阀、进水阀、流量计、过滤器、泄压阀和出水阀，形成整个冷却水循环，当该系统中任何一处发生漏水时，便触发漏水检知继电器，进而关闭电磁阀，切断系统的水源，该系统能够有效及时的切断水源，避免漏水越积越多，进而损坏设备情况的发生，大大提高了设备的安全性。【IPC分类】G03F7/20【公开号】CN205247061【申请号】CN201521099531【专利技术人】徐惠懂 【申请人】苏州同冠微电子有限公司【公开日】2016年5月18日【申请日】2015年12月24日本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种冷却水循环系统，用于对光刻机内部的冷却系统提供循环冷却水，包括进水阀(1)、管接在进水阀(1)一端的流量计(2)、管接在流量计(2)另一端的过滤器(3)和管接在过滤器(3)另一端的出水阀(4)，其特征在于：还包括电磁阀(5)，所述电磁阀(5)管接在所述进水阀(1)的另一端。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：徐惠懂，
申请(专利权)人：苏州同冠微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32