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本实用新型提供一种冷却水循环系统，用于对光刻机内部的冷却系统提供循环冷却水，包括进水阀、管接在进水阀一端的流量计、管接在流量计另一端的过滤器和管接在过滤器另一端的出水阀，还包括电磁阀，所述电磁阀管接在所述进水阀的另一端。本实用新型的冷却水循...
该专利属于苏州同冠微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州同冠微电子有限公司授权不得商用。

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