药液回收设备及其系统与方法技术方案

本发明专利技术公开了一种药液回收设备及其系统与方法，用于回收药液，药液回收设备包括：一药液槽，用于容纳药液；一回收路径，包含药液集中槽与回流管路，药液集中槽连通回流管路，药液集中槽设于药液槽旁，用以导引一外流药液，外流药液为由药液槽外流的至少部份药液；一回收容器，通过回收路径导引外流药液进入回收容器；一冷却管路，热接触药液槽，并提供冷却流体在冷却管路中流动；以及一冷却机，与冷却管路连通，降温冷却管路内的冷却流体，并驱动冷却流体流动。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术与一种提供基板进行化学制程的技术有关，尤指一种于化学制程进行中，所使用药液的回收设备及其系统与方法。
技术介绍
按，现有的砸化铜铟镓(CIGS)太阳能薄膜制程中，都需要形成一缓冲薄膜，如硫化镉(CdS )、硫化锌(ZnS )、氢氧化铟(In (OH) 3)、硫化铟(In2S3)、砸化锌(ZnSe )、氧化锌(ZnO)、二氧化锡(SnO2),而现行制作缓冲薄膜的制造设备，都是采用化学水浴沉积(CBD)方式制造，不过传统的化学水浴沉积制程都是采用先加热化学药液，再将药液喷洒在可挠性基板上以进行生成缓冲层的反应。由于药液经过加热后会使酸碱值产生变化，不易进行回收利用，故对于环境以及生产成本都是不利，此一问题有待改善。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本专利技术的主要目的，在于可提供一种，俾借由冷却方式避免药液产生非预期的化学反应，并提升化学药液的回收效率，故可有效降低生产成本。为了达成上述的目的，本专利技术提供一种药液回收设备，用于回收与一基材进行化学制程的药液，包括一药液槽、一回收路径、一回收容器、一冷却管路、以及一冷却机；其中，药液槽用于容纳药液，且药液槽具有一开口，开口提供基材与药液槽内的药液进行化学制程；回收路径包含药液集中槽与回流管路，药液集中槽连通回流管路，药液集中槽设于药液槽旁，用以导引一外流药液，该外流药液为由该药液槽外流的至少部份药液；回收容器通过回收路径导引外流药液进入回收容器；冷却管路热接触药液槽，并提供冷却流体在冷却管路中流动；冷却机与冷却管路连通，降温冷却管路内的冷却流体，并驱动冷却流体流动。作为优选技术方案，该药液槽的开口周缘外设有围绕该开口的溢流槽，该溢流槽连通该回流管路，用以导引所述外流药液。作为优选技术方案，该冷却管路贴接于该药液槽底部。作为优选技术方案，该冷却管路局部设于该药液槽内。作为优选技术方案，部分该冷却管路形成于一上盖与一下座之间。作为优选技术方案，该冷却管路包含一冷却盘管，该冷却盘管设于该药液集中槽内。作为优选技术方案，该冷却盘管呈迂回状而分布于该药液集中槽内。 作为优选技术方案，该回收容器内设有一二次冷却模块。作为优选技术方案，该回收容器内设有一过滤网，用以过滤结晶物或杂质。作为优选技术方案，该回流管路局部设于该药液槽内。作为优选技术方案，该回流管路连通该药液槽，用以将回收的药液输送至该药液槽。作为优选技术方案，该回流管路内设有一检测单元而检测回收的药液是否符合一默认值。作为优选技术方案，上述的药液回收设备还包括一排弃管路，用于排弃回收的药液。作为优选技术方案，上述的药液回收设备还包括一切换阀，用于依据该检测单元的检测结果，决定是否将回收的药液排入该排弃管路。本专利技术还提供一种药液回收系统，用于回收与一基材进行化学制程的药液，包括一药液槽、一回收路径、一回收容器、一冷却管路、一冷却机、一卷入单元、以及一卷出单元；其中，药液槽用于容纳药液，且药液槽具有一开口，开口提供基材与药液槽内的药液进行化学制程；回收路径包含药液集中槽与回流管路，药液集中槽连通回流管路，药液集中槽设于药液槽旁，用以导引药液由药液槽外流而出的外流药液；回收容器通过回收路径导引外流药液进入回收容器；冷却管路热接触药液槽，并提供冷却流体在冷却管路中流动；冷却机与冷却管路连通，降温冷却管路内的冷却流体，并驱动冷却流体流动；卷入单元与卷出单元用以卷动输送基板。作为优选技术方案，该回流管路连通该药液槽，用以将回收的药液输送至该药液槽。作为优选技术方案，该药液槽对应该卷入单元的一侧处上设有与该回流管路相连通的喷嘴，以对所述基板喷洒所述药液。本专利技术还提供一种药液回收方法，所述药液容纳于一药液槽内，而回收方法之步骤如下: a)导引一外流药液，该外流药液为由药液槽外流的至少部份药液； b)冷却外流药液；以及 c)将冷却后的外流药液回收并进行化学制程。作为优选技术方案，步骤c)进一步对所述外流药液进行二次冷却。作为优选技术方案，步骤c)进一步对所述外流药液进行过滤。作为优选技术方案，步骤c)进一步对所述外流药液进行一预测值的检测，并依照检测的结果决定是否排出所述外流药液。作为优选技术方案，上述的药液回收方法还包括步骤d)将符合该默认值的所述外流药液回流至该药液槽。本专利技术的药液回收设备及方法，其冷却方式可避免药液产生非预期的化学反应，并提升化学药液的回收效率，故可有效降低生产成本。【附图说明】图1是本专利技术药液回收系统第一实施例的平面示意图。图2是本专利技术药液回收设备第一实施例的平面示意图。图3是本专利技术的部分冷却管路的平面示意图。图4是根据图3的4-4断面剖视图。图5是本专利技术药液回收系统第二实施例的平面示意图。图6是本专利技术药液回收系统第二实施例的断面剖视图。图7是本专利技术药液回收设备第二实施例的立体示意图。附图标记说明: 药液回收设备I ; 药液槽10 ； 开口100; 溢流槽101; 回收路径11 ; 药液集中槽110 ; 回流管路111; 回收容器12 ； 二次冷却模块120 ; 过滤网121 ； 检测单元122 ； 排弃管路123 ; 切换阀124 ； 冷却管路13 ; 上盖130 ； 下座131 ； 冷却盘管132 ； 冷却机14 ; 卷入单元15 ； 喷嘴150 ; 卷出单元16 ； 基材2; 药液3 ； 外流药液3’。【具体实施方式】下面结合附图和具体实施例对本专利技术作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好的理解本专利技术并能予以实施，但所举实施例不作为对本专利技术的限定。请参阅图1及图2，分别为本专利技术药液回收系统第一实施例的平面示意图及药液回收设备第一实施例的平面示意图。本专利技术提供一种，该药液回收设备I用于回收与一基材2进行化学制程的药液3，包括一药液槽10、一回收路径11、一回收容器12、一冷却管路13、以及一冷却机14 ;其中: 该药液槽10用于容纳前述与基材2进行化学制程的药液3。且该药液槽10具有一开口 100，该开口 100提供基材2通过后，即能与药液槽10内的药液3进行化学制程。该回收路径11包含药液集中槽110与回流管路111，该药液集中槽110连通回流管路111，且该药液集中槽110设于上述药液槽10旁，如药液槽10外的任一侧或周围处等，用以导引前述药液3由药液槽10外流而出后，外流药液3’即能通往回流管路111，便于后续的回收作业。该回收容器12通过上述回收路径11，以便将外流药液3’导引进入该回收容器12内。此外，该回收容器12内可进一步设有一二次冷却模块120，用以对被导引进入至回收容器12内的外流药液3’提供第二次冷却效果、或是维持其冷却温度。该冷却管路13可热接触上述药液槽10，并提供冷却流体在该冷却管路13中流动。如图3及图4所示，该药液回收设备I可进一步包含相互组合的一上盖130与一下座131，其中，部分该冷却管路13形成于该上盖13当前第1页1 2 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种药液回收设备，用于回收与一基材进行化学制程的药液，其特征在于，该回收设备包括：一药液槽，用于容纳所述药液，且该药液槽具有一开口，该开口提供所述基材与该药液槽内的所述药液进行化学制程；一回收路径，包含药液集中槽与回流管路，该药液集中槽连通该回流管路，该药液集中槽设于该药液槽旁，用以导引一外流药液，该外流药液为由该药液槽外流的至少部份所述药液；一回收容器，通过该回收路径导引所述外流药液进入该回收容器；一冷却管路，热接触该药液槽，并提供冷却流体在该冷却管路中流动；以及一冷却机，与该冷却管路连通，降温该冷却管路内的冷却流体，并驱动所述冷却流体流动。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：王春雅，陈传宜，蓝受龙，陈立凯，
申请(专利权)人：亚智科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71