喷嘴设备制造技术

提供一种微机电设备，包括：一个液体腔和具有一个孔的侧壁。一个制动器臂通过该孔延伸进入该腔，用于在该液体腔中横向移动。一个从该制动器臂横向延伸的凸缘结构位于该孔内。该凸缘结构具有周围边缘，该周围边缘的形状为限制该侧壁和该周围边缘之间的任何间隙，以便所述液体的表面张力维持液封以防止从所述液体腔泄漏。当致动器臂移动时，该凸缘结构相对于该孔的边缘移动，并且在该间隙中形成弯月形部分，它在第二壁与腔壁的边缘部分之间形成密封。从而克服了以往的密封件所产生的问题，并提供了高度柔性的、可自身形成的密封。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微机电(MEM)设备中的密封。本专利技术可应用于一种类型的喷嘴中，制造这种类型的喷嘴时将可应用于微机电系统(MEM)和金属氧化物半导体(“CMOS”)集成电路中的技术结合起来，以及今后在该应用的上下文中描述本专利技术。然而，应该理解，本专利技术能够更广泛地应用于其他类型的MEM设备内的密封。共同未决的专利申请在下面共同未决的专利申请中公开了与本专利技术相关的各种方法，系统与设备，这些共同未决的专利申请是本专利技术的申请人或者受让人与本专利技术申请同时递交申请的PCT/AU00/00518，PCT/AU00/00519，PCT/AU00/00520，PCT/AU00/00521，PCT/AU00/00522，PCT/AU00/00523，PCT/AU00/00524，PCT/AU00/00525，PCT/AU00/00526，PCT/AU00/00527，PCT/AU00/00528，PCT/AU00/00529，PCT/AU00/00530，PCT/AU00/00531，PCT/AU00/00532，PCT/AU00/00533，PCT/AU00/00534，PC本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微机电设备，包括：一个液体腔，用于盛放液体，该液体腔至少具有一侧壁，该侧壁用于限定一个孔；一个固定在该液体腔外部的一个点上的致动器臂，该制动器臂通过该孔延伸进入该腔，用于在该液体腔中横向移动；形成在该制动器臂上的 凸缘结构，其横向延伸到该制动器臂并位于该孔内；其中，该凸缘结构具有周围边缘，该周围边缘的形状为限制该侧壁和该周围边缘之间的任何间隙，以便所述液体的表面张力维持液封以防止从所述液体腔泄露。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：卡西尔弗布鲁克，
申请(专利权)人：西尔弗布鲁克研究股份有限公司，
类型：发明
国别省市：AU[澳大利亚]