温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
提供一种微机电设备,包括:一个液体腔和具有一个孔的侧壁。一个制动器臂通过该孔延伸进入该腔,用于在该液体腔中横向移动。一个从该制动器臂横向延伸的凸缘结构位于该孔内。该凸缘结构具有周围边缘,该周围边缘的形状为限制该侧壁和该周围边缘之间的任何间隙...该专利属于西尔弗布鲁克研究股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西尔弗布鲁克研究股份有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
提供一种微机电设备,包括:一个液体腔和具有一个孔的侧壁。一个制动器臂通过该孔延伸进入该腔,用于在该液体腔中横向移动。一个从该制动器臂横向延伸的凸缘结构位于该孔内。该凸缘结构具有周围边缘,该周围边缘的形状为限制该侧壁和该周围边缘之间的任何间隙...