【技术实现步骤摘要】
本技术属于太阳能电池生产设备
,更具体地说,涉及一种快速冷却的太阳能电池PECVD石墨舟冷却房。
技术介绍
随着石油、天然气等不可再生能源的日益短缺,太阳能、风能、潮汐能等可再生能源的开发、利用越来越受到国内外研究者的关注。其中,太阳能光伏发电以其无枯竭危险、无污染、不受资源分布地域的限制、可在用电处就近发电、能源质量高、使用者从感情上容易接受、获取能源花费的时间短和供电系统工作可靠等优点赢得了较好的市场前景,我国太阳能光伏电池生产也进入了高速发展的时代。在光伏电池硅片生产过程中通常需要采用等离子体增强型化学气相沉积工艺(PECVD)对经过制绒及扩散等工艺处理后的太阳能电池表面进行氮化硅减反膜沉积处理,从而减少光的反射,增加电池对光线的吸收。目前,现有技术中对太阳能电池进行氮化硅减反膜沉积处理时通常是使用石墨舟作为电池片的承载工具,但由于经减反射膜沉积完成之后石墨舟的温度过高,需要将其快速冷却至35_50°C。现有技术中通常是通过石墨舟载车将石墨舟推至石墨舟冷却房,通过冷却风机进行冷却。但由于现有技术中石墨舟冷却房的设计不合理,造成冷却房内冷却风循 ...
【技术保护点】
一种快速冷却的太阳能电池PECVD石墨舟冷却房,包括冷却房房体(1)和冷却平台(5),所述的冷却平台(5)设置于冷却房房体(1)内且位于待冷却石墨舟(3)的下方,在上述冷却平台(5)上设有排风口(501),该排风口(501)与冷却风机相连,其特征在于:在所述的冷却房房体(1)的顶部中间及两侧各设有一个热排口,这三个热排口分别与热排管(4)相连。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:华重庆,柯贵军,朱钰,
申请(专利权)人:安徽银阳光伏科技有限公司,
类型:新型
国别省市:安徽;34
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