本发明专利技术公开了用于储存和分配化学试剂和组合物，例如用于制造微电子器件产品的高纯液体试剂和化学机械抛光剂的流体供应系统，该流体供应系统具有在分配操作期间在所容纳的液体处于或接近耗尽时检测空或接近空的情形的能力。本发明专利技术描述了采用空检测检测布置的流体递送系统，其包括压力传感器，用于监控在供料包装和液压伺服分配泵中间分配的材料，或监控在周期进度表上被补充的分配器中的分配室补充次数，以将材料从分配器流到利用所分配的材料的下游设备。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于储存与分配化学试剂和组合物，例如用于制造 微电子器件产品的高纯液体试剂和化学机械抛光组合物(抛光剂) 的基于衬里的液体容纳系统，其具有在分配操作期间在所容纳的液 体处于或4妄近肆4尽时的空^企测的能力。
技术介绍
在许多工业应用中，化学试剂和组合物都需要以高纯状态供 应，并且已经开发了专用包装，以确保所供应的材料在整个包装填 充、储存、运输和最后的分配操作中维持纯的和合适的形式。在微电子器件制造领域，对于各种各样的液体和含液体组合物 尤其迫切需要合适的包装，因为在所包装的材料中的任何污染物， 和/或任何环境污染物进入到包装内容纳(容纳)的材料中，可有害得樣i电子器件产品产生缺陷或甚至对其所计划的用途变得无用。出于这些因素的考虑，许多类型的高纯包装已经开发出来，用 于微电子器件制造中所用的液体和含液体组合物，如光刻胶、蚀刻剂、化学气相沉积剂、容剂、晶片和i殳备清洗制剂、4匕学积4成4炮光剂等。已进入这样的应用的高纯包装的一种类型包括，包含在柔性衬 里或袋中容纳液体或液体-基组合物的刚性外包装，该衬里或袋通过 保留结构(retaining structure )如盖子或^1盖物:故固定在刚性外包装 的适当位置。这种包装通常称之为"盒套袋(bag-in-box)"包装。 该包装的刚性外包装，例如可以由高密度聚乙烯或其他聚合物或金 属形成，而衬里可以作为聚合物膜材料如聚四氟乙烯(PTFE)、低密度聚乙烯、PTFE-基多层结构、聚氨酯等的预清洁的、消毒的可呈惰'1"生。这种类型的包装可以以商才示NOWPAK 乂人ATMI Inc. (Danbury， CT, USA)商购获得。在涉及这样的液体和液体-基组合物的衬里包装的分配#:作中， 通过将包括汲耳又管的分配组件连4妄至该衬里的端口 ，其中汲取管浸 没在所容纳的液体中，液体就,人^于里进4亍分配。在分配组件如此连 接于衬里之后，流体压力就施加到衬里的外表面，使得衬里逐渐收 缩并迫<吏液体通过用于释方文到相关流^各的分配组件而流到最终4吏 用位置。已经i正明，釆用的坤于里包装中的顶空(容器中液面上空间，head space)最小，并且优选为零顶空是有利的，以l更抑制该液体或液体 基组合物中的颗粒和微气泡的产生。另外，在^诸存与分配来自4十里包装中的液体和液体基组4、物 中，期望控制分配操作，以便检测所分配材料的耗尽或接近耗尽的 情况，以便能够及时实施下游操作的终止，或者新材料包的替换。 因此，在结束阶段监控分配操作的可靠性，尤其是空状况(空条件， empty condition )或接近空状况的检测使得能够最大利用衬里包装， 并且这是这样的包装的布置和实现的期望目标。
技术实现思路
本专利技术涉及用于4渚存与分配液体和液体-基组合物(liquid-based composition)的包装i殳备详口方;^。在一个方面，本专利技术涉及一种流体储存和分配系统，包括 具有内部容积的容器；在所述内部容积中的衬里，布置用于以零或接近零的顶空构造 容纳液体介质；适于配合所述容器的分配组件，用于在分配才喿作期间将液体介质/人一十里耳又出；和集成流量计，布置用于监控在分配操作期间从衬里取出的液体 介质，并用于在出现空或接近空的状况时产生空或接近空的状况相 关的输出。在另一方面，本专利技术涉及一种衬里包装分配系统，包括具有内部容积的容器；在所述内部容积中的衬里，布置用于以零或接近零的顶空构造容纳液体介质；适于配合所述容器的分配组件，用于在分配操作期间从村里取 出(或递送)液体介质；与分配组件连接并布置用于在分配操作期间液体介质通过其 5荒动的；^j5各；这样的流路包括干线(in-line)部分和可选的支线部分；布置用于分配的液体介质的第二容积，以4吏第二容积的分配直 到液体介质的主容积已被完全分配后才进行，其中所迷主容积包括 一于里中的至少一部分液体介质，而第二容积由以下中的一个或多个 构成(ii)在流》各的干线部》和(iii)在流-各的支线部《和空才全测器(empty detector),布置用于监控所述分配操作，以 及用于在主容积液体介质已一皮分配后，在所述第二容积分配开始时 由于空或4妻近空的状况而产生空^r测U全空，empty detect)车叙出。本专利技术的进一步方面涉及一种衬里包装分配系统，包括 具有内部容积的容器；在所述内部容积中的衬里，布置用于容纳由顶空覆盖的液体介质；储罐，用气压计与顶空和衬里中的液体介质以流体联通地连 接，并布置用于容纳由气体覆盖的液体介质以确定储罐中的液位； 和空检测器，布置用于监控储罐中的液位并在储罐中的液位由于 衬里的空或接近空的状况而发生改变时产生空4全测输出。本专利技术的另一方面涉及一种衬里包装分配系统，包括 具有内部容积的容器；在所述内部容积内的衬里，布置用于容纳由顶空覆盖的液体介质；相分离器；分配管线，以流体联通地连接衬里与相分离器；液体介质流动管线，与相分离器连接以从其中释放液体介质；储罐，位于相分离器之上，布置用于容纳确定储罐中液体介质 液位的液体介质；高架管线(overhead line ),以流体联通地连接相分离器与储罐；第 一液位传感器，布置用于检测储罐中的第 一液体介质液位，在该液位处储罐容纳预定量的储备液体介质；在所述高架管线中的第二液位传感器，布置用于在所述储备液体介质分配期间检测高架管线中的第二液体介质液位；在所述高架管线中的第 一流量控制阀，在所述第二液位传感器填充4渚罐，以及用于在第一液位传感器一企测到第一液体介质液位时 关闭；在分配管线中的压力检测致动器，操作性地布置用于在关闭高 架管线中的第 一 流量控制阀后检测衬里的空或4姿近空的状况，并且 在^r测到衬里的空或4妄近空的状况时打开第 一 流量控制阀，以通过 相分离器和液体介质流动管线分配储备液体介质。本专利技术的进一步方面涉及一种衬里包装分配系统，包括 具有内部容积的容器；在该内部容积中的衬里，布置用于容纳由顶空覆盖的液体介质；储罐，布置用于容纳确定储罐中的液体介质液位的液体介质；分配管线，以流体耳关通地连接衬里与储罐；与储罐连接并从其中排放液体介质的液体介质流动管线；第 一液位传感器，布置用于才企测储罐中的第 一液体介质液位；第二液位传感器，布置用于4企测储罐中的第二液体介质液位， 其中储罐中的所述第二介质液位高于储罐中的所述第 一介质液位；气体联通管线，用于将储罐与以下进行连接(i)储罐的周围 环境，通过放空管线，该放空管线以流体联通地连接气体联通管线 与该周围环境，以及，可选地，(ii)加压气体源，操作性地布置用于压力辅助分配来自储罐的储备液体介质，通过以流体联通地连接 气体联通管线与加压气体源的加压管线，该i文空管线具有在其中的 第 一 流体联通控制阀，而第二加压管线具有在其中的第二流体联通 流量控制阀，其中第 一流体联通控制阀操作性地连接于第二液位传 感器，以打开并调节储罐至第二液体介质液位的填充，以及在达到 第二液体介质液位时关闭，在分配操作期间，用于随后来自衬里的液体介质通过分配管线和储罐分配到液体介质流动管线；和在分配管线中的压力才全测致动器，才喿作性地布置用于4全测衬里 的空或接近空的状况，并在检测到衬里的所述空或接近空的状本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种流体储存和分配的系统，包括： 具有内部容积的容器； 在所述内部容积中的衬里，布置用于在零或近零顶空构造中容纳液体介质； 适于与所述容器配合的分配组件，用于在分配操作期间将液体介质从所述衬里中排出；以及 集成流量计，布置用于监控在分配操作期间从所述衬里排出的所述液体介质，以及用于产生在出现空检测状况时的与空检测状况相关联的输出。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：明娜霍维宁，约翰R金格里，格伦M汤姆，凯文T奥多尔蒂，柯克米克尔森，唐纳德D韦尔，彼得C范巴斯柯克，
申请(专利权)人：高级技术材料公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]
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