具有改进加料能力的制造多晶锭的系统技术方案

本发明专利技术公开了一种制造多晶锭的系统，包括：上炉体；下炉体；坩埚，所述坩埚设置在炉体空间内并被构造成容纳给料；至少一个加热器，所述加热器用于加热坩埚并熔化容纳在坩埚中的给料；坩埚保持器，所述坩埚保持器用于保持所述坩埚；隔热部件；盖板，所述盖板用于在坩埚被加热时盖住坩埚的开口端；其中所述坩埚保持器和盖板之一上形成有至少两个导向件，所述盖板通过所述导向件相对于所述坩埚保持器沿着纵向可滑动。根据本发明专利技术的制造多晶锭的系统，可以将一次熔融的给料提高２０－３０％，提高了生产效率、降低了多晶锭的制造成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及多晶锭的生产设备，尤其是涉及一种改进加料能力的制造多晶锭的系 统。
技术介绍
在现有的制造多晶锭的设备或者系统中，由于用于生产多晶锭(例如多晶硅锭 等)的原料为块状或颗粒状，料块之间存在大量缝隙，导致装满石英坩埚的固态多晶给料 熔化后体积大幅缩小。为了实现多装料，可以考虑在加装多晶给料时，坩埚装满后继续加装 多晶给料，使多晶给料在坩埚的上部堆积，然后将盖板直接放置在多晶给料上。但是，在现 有的盖板及坩埚保持器的材质和结构条件下，可能带入碳成分沾污，更为重要的是也容易 造成盖板在化料过程中滑落或偏离。图1为现有技术的多晶炉装料时的结构示意图。现有技术的单晶炉包括上炉体 101'；与所述上炉体101'相配合的下炉体102'；设置在所述下炉体102'内的支撑装 置6'，设置于所述支撑装置6'上的石墨固定板5'和石墨固定板5'内设置的石英坩埚 2'；设置在石墨坩埚5'外周的加热器31' ,32'；设置在加热器31' ,32'外周的隔热部 件4'。在现有技术中，通常在坩埚2'之上设置盖板7'，从耐高温等方面考虑，盖板材 料多采用碳-碳复合材料。但是由此导致在装料的过程中，必须控本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制造多晶锭的系统，包括：　　上炉体；　　下炉体，所述下炉体与所述上炉体相配合以形成炉体空间；　　坩埚，所述坩埚设置在炉体空间内并被构造成容纳给料；　　至少一个加热器，所述加热器用于加热坩埚并熔化容纳在坩埚中的给料；　　坩埚保持器，所述坩埚保持器用于保持所述坩埚；　　隔热部件，所述隔热部件容纳在所述炉体空间内，并被构造成相对于所述坩埚纵向可移动，以控制所述坩埚内的多晶硅锭的定向凝固，　　盖板，所述盖板用于在坩埚被加热时盖住坩埚的开口端；其中　　所述坩埚保持器和盖板之一上形成有至少两个导向件，所述盖板通过所述导向件相对于所述坩埚保持器沿着纵向可滑动。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王敬，
申请(专利权)人：王敬，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]