大直径圆柱形真空钟罩的垂直升降与移动机构制造技术

一种大直径圆柱形真空钟罩的垂直升降与移动机构，它的桁架相对两侧有垂直的两直线导轨，钟罩１置于该两直线导轨之间；装在第一直线导轨上的滚珠滑块同第一连接板连接而该连接板又同钟罩一侧连接；第二直线导轨是Ｕ型导轨，第二连接板的一侧同钟罩１另一侧连接，Ａ支撑块的一端同第二连接板另一侧连接而该Ａ支撑块另一端装有可在第二直线导轨Ｕ型槽底滑动的滚珠轴承，Ｂ支撑块的一端同第二连接板另一侧连接而Ｂ支撑块的另一端装有可在第二直线导轨７的Ｕ型槽侧面滑动的滚珠轴承；由动力驱动且垂直安装在所述桁架上的丝杆上装有丝套，连接块同该丝套和第一连接板固定连接。桁架底部装有平移机构。它能使大型圆柱型真空室的上部钟罩升降并水平移动。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及应用于大型光学镜面离子束修形设备中，使大直径圆柱形钟 罩垂直升降和水平移动的机构。技术背景现有技术中，大型光学镜面离子束修形设备中的钟罩直径达1200mm，可加 工工件直径800mm，采用离子束源在真空室内移动扫描的方式对工件表面进行微 细加工；常规的方法是采用离子束源不动，工件移动的方式加工工件，钟罩移动 采用葫戶吊从钟罩中间起吊的方式，因而，高度上需留出葫芦吊的位置，增加了 设备的整体高度，对于需放在老式楼房中(高度只有2600mm)使用的用户，不能 采用葫芦吊升降的方式。钟罩吊装方式有悬臂吊和龙门吊等方式，悬臂吊时由于 钟罩直径大，重心偏移大，如不配重，起吊时翻转力矩很大，不利于钟罩升起 后的移动。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是，为了克服传统升降机构所需高度尺寸大， 运行不平稳的缺点，设计一种大直径圆柱形真空钟罩的垂直升降与移动机构， 该机构能实现大直径圆柱形真空钟罩的垂直升降与移动并节约高度空间，传动 平稳，方便设备场地高度不足的用户使用该类大型设备。还设有水平行走机构， 方便设备维修保养。本技术所采用的技术方案是，所述大直径圆柱形真空钟罩的垂直升降 与移动机构有一桁架，该桁架相对两侧分别有垂直设置的第一直线导轨和第二 直线导轨，钟罩置于该两直线导轨之间；第一直线导轨上装有滚珠滑块，该滚 珠滑块同第一连接板固定连接而该第一连接板又同钟罩一侧固定连接；第二直线导轨是横截面为U形的U型导轨，第二连接板的一侧同钟罩另一侧固定连接，A 支撑块的一端同第二连接板另一侧固定连接而该A支撑块的另一端装有可在所述U型导轨的U型槽底滑动的滚珠轴承，B支撑块的一端亦同第二连接板另一侧固 定连接而该B支撑块的另一端装有可在所述U型导轨的U型槽侧面滑动的滚珠轴承；由动力驱动且垂直安装在所述桁架上而只能作轴向转动的丝杆上装有丝套， 连接块分别同该丝套和第一连接板固定连接。 以下对本技术做出进一步说明。参见图l，本技术有一桁架2，该桁架2相对两侧分别有垂直设置的第一 直线导轨6和第二直线导轨7，钟罩1置于该两直线导轨6、 7之间；如图1和图3所 示，第一直线导轨6上装有滚珠滑块3，该滚珠滑块3同第一连接板8固定连接而 该第一连接板8又同钟罩1一侧固定连接；如图1和图4所示，第二直线导轨7是横 截面为U形的U型导轨，第二连接板9的一侧同钟罩1另一侧固定连接，A支撑块IO 的一端同第二连接板9另一侧固定连接而该A支撑块10的另一端装有可在所述第 二直线导轨7的U型槽底滑动的滚珠轴承11， B支撑块12的一端亦同第二连接板9 另一侧固定连接而该B支撑块12的另一端装有可在所述第二直线导轨7的U型槽 侧面滑动的滚珠轴承13;如图2和图5所示，由动力驱动且垂直安装在所述桁架2 上而只能作轴向转动的丝杆14上装有丝套15，连接块16分别同该丝套15和第一 连接板8固定连接。所述丝杆14的动力驱动机构可由涡轮蜗杆减速机与电动机组成，即丝杆14 的一端经联轴器同涡轮蜗杆减速机25的输出轴联接，而该涡轮蜗杆减速机25的 输入轴同电动机26的主轴联接(参见图2)。如图l、 2、 6所示，还可在所述桁架2底部两侧分别安装置于对应两条地面轨道17、 18上的行走轮19、 20，涡轮蜗杆减速机21装在桁架2上，主同步带 轮22装在涡轮蜗杆减速机21的输出轴上，电动机24主轴同涡轮蜗杆减速机21 的输入轴联接；从动轮20与一个行走轮19相连，主同步带轮22通过同步带23 与从动轮20连接；工作时，电动机24通过涡轮蜗杆减速机21带动主同步带轮 22转动，从动轮20随着转动，带动行走轮19转动，行走轮19、 20通过轴承与 桁架2相连，行走轮19、 20在地面导轨17、 18上转动，从而带动桁架2水平移 动。本技术的设计原理是，由装在钟罩1一侧的第一直线导轨6和滚珠滑块3 等组成主导向机构；由装在钟罩1另一侧的U型导轨一第二直线导轨7及第二连接 板9、 A支撑块IO、可在所述第二直线导轨7的U型槽底滑动的滚珠轴承11、 B支撑 块12、可在所述第二直线导轨7的U型槽侧面滑动的滚珠轴承13等组成辅助导向 机构，它与主导向机构在同一平面内，可限制钟罩l绕两个互相垂直轴转动的自 由度；升降机构采用滚珠丝杆副传动，钟罩1及升降机构装在桁架2上，桁架2采 用四轮双导轨结构，轮子内侧有凸檐，限制轮子向外移动。桁架2的移动采用同 步带传动，具有缓冲功能，避免气动时的冲击。移动的前后位置有限位开关定 位。该结构能使钟罩在空间高度不足时移动到最大高度。整机的工作过程为装取样品时，上段钟罩l上升，中段圆柱形真空室4及 下段底板不动。样品从前面送入内部工件架上。然后合上钟罩l对真空室抽真空， 当真空达到离子源工作条件后，通入工作气体，然后给离子源加电引出离子束， 开动工件转动，对工件进行离子束加工。加工完后，关掉离子源电源停止工件 转动，关闭真空抽气阀，对真空室充气，充气完成后，升起钟罩，将工件从前 方取出，到此完成一个工作周期。维修内部离子源运动系统时，将钟罩l升起后，整个桁架2向后移动，中段圆柱形真空室4及内部各部件均全部暴露在维修者面 前，使其有足够的维修空间。如果需要，还可将中段圆柱形真空室4移走。钟罩l运动过程中重心在主、辅导(支撑)向机构中间，升起后桁架移动时 很平稳。考虑安全性，可采用涡轮蜗杆减速器传动，利用其自锁特性使钟罩在 任意位置都能停稳。同时，可在上下到位处装有自停开关，到位后自动停止。 在上下到位开关外侧还可安装有极限开关，当限位开关失效时极限开关起作用， 钟罩碰到极限开关后仍将自动停止。极限开关将起到二次保护的作用。为防止 意外，在接近限位开关处还可安装到位提醒开关，钟罩经过此开关后将发出声 音提示，提醒操作者注意。 一旦发生意外，操作者可立刻切断电源。由以上可知，本技术为一种大直径圆柱形真空钟罩的垂直升降与移动 机构，它能使钟罩在空间高度不足时移动到最大高度，甚至与建筑物顶面接触， 升降机构不会增加工件升起后所在位置的空间高度，解决了圆柱形钟罩需升起的大型设备在高度有限的厂房中使用的难题；还使桁架移动具有缓冲功能，避免了启动时的冲击。附图说明图l是本技术一种实施例主视结构示意图(带有局部剖视)；图2是图1所示装置的右视结构示意图(带有局部剖视)； 图3是图1所示装置左侧主导向机构的局部放大结构示意图； 图4是图1所示装置右侧辅助导向机构的局部放大结构示意图； 图5是图2所示装置中升降传动机构的局部放大结构示意图； 图6是图2所示装置下部的行走机构放大图。 在上述附图中1 —-钟罩，2 —-桁架，3 —-滚珠滑块，4 —-下真空室，5 —-涡轮蜗杆减速机6 —-第一直线导轨，7—-第二直线导轨，8—-第一连接板，9—-第二连接板，10-一A支撑块，11-一滚珠轴承，12--B支撑块，13-一滚珠轴承，14-一丝杆，15-一丝套，16-一连接块，17-一地面轨道，18--地面轨道，19-一行走轮，20-—行走轮，21--涡轮蜗杆减速机22-一主同步带轮，23-—同步带，24--电动机，25-一涡轮蜗杆减速机，26-—电动机。具体实施方式如图1所示，本技术有一桁架2，该桁架2本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大直径圆柱形真空钟罩的垂直升降与移动机构，有一桁架（２），其特征是，该桁架（２）相对两侧分别有垂直设置的第一直线导轨（６）和第二直线导轨（７），钟罩（１）置于该两直线导轨（６、７）之间；第一直线导轨（６）上装有滚珠滑块（３），该滚珠滑块（３）同第一连接板８固定连接而该第一连接板（８）又同钟罩（１）一侧固定连接；第二直线导轨（７）是横截面为Ｕ形的Ｕ型导轨，第二连接板（９）的一侧同钟罩（１）另一侧固定连接，Ａ支撑块（１０）的一端同第二连接板（９）另一侧固定连接而该Ａ支撑块（１０）的另一端装有可在所述第二直线导轨（７）的Ｕ型槽底滑动的滚珠轴承（１１），Ｂ支撑块（１２）的一端亦同第二连接板（９）另一侧固定连接而该Ｂ支撑块（１２）的另一端装有可在所述第二直线导轨（７）的Ｕ型槽侧面滑动的滚珠轴承（１３）；由动力驱动且垂直安装在所述桁架（２）上而只能作轴向转动的丝杆（１４）上装有丝套（１５），连接块（１６）分别同该丝套（１５）和第一连接板（８）固定连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈特超，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十八研究所，
类型：实用新型
国别省市：43[中国|湖南]